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Fターム[2F065JJ26]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 受光部 (23,546) | 1つの受光部の素子数 (9,727) | 多数 (6,943) | 2次元状 (5,630)

Fターム[2F065JJ26]に分類される特許

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【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ50のビア孔51の検査方法は、有底のビア孔51が表面に形成されたウエハ50に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔51内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ50から離型させることでビア孔51がビア像71として転写されてなる被転写体70を形成する転写工程と、ビア像71の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像71の画像データに基づいてビア像71の形状を評価し、ビア孔51内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】被計測物を精度よく計測することができる3次元計測装置およびそれに用いられる照明装置を提供する。
【解決手段】3次元計測装置1は、被計測物8に円偏光を照射する照明手段2と、照明手段2を移動させる移動手段3とを備える。また、3次元計測装置1は、被計測物8の被照射面からの反射光を受けて上記被照射面を撮像する撮像手段4と、撮像手段4で撮像された撮像画像を用いて反射光の偏光状態を検出し、被計測物8の被照射面の向きを求める演算手段5とをさらに備える。照明手段2は、円偏光を被計測物8の一部に照射する。移動手段3は、被計測物8において被照射面の位置が変わるように照明手段2を移動させる。 (もっと読む)


【課題】部品の端子が接続されない基板上の半田の位置を取得することができる技術の提供。
【解決手段】基板上の半田の印刷位置を取得し、部品の端子が接続される前記基板上の半田の位置である接続位置を取得し、前記印刷位置から前記接続位置を除外した位置を前記部品の端子が接続されない基板上の半田の位置である非接続位置として取得する。 (もっと読む)


【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 (もっと読む)


【課題】2つの基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時にピントを合わせることができない場合であっても、それらの位置合わせを高精度に行うことを可能にする。
【解決手段】パターンを転写される基板に形成されるアライメントマークAM1は、正方形の中実図形であるアライメントパターンAP101〜AP109、AP111〜AP114を配列してなるものとする。一方、基板に転写すべきパターンを担持するブランケットには、アライメントマークAM2として、環状の中空矩形のアライメントパターンAP2をパターンと同じ材料で形成する。アライメントマークAM1は、低い空間周波数成分をアライメントパターンAP2よりも多く含むパターンにより構成されており、ピントが合わない状態で撮像された場合でも重心位置を精度よく検出することが可能である。 (もっと読む)


【課題】通常のカメラによっては鮮明な環境情報を取得することが困難な環境に無人走行体が投入された場合にも、無人走行体を正確、容易かつ高能率に遠隔操縦可能な遠隔操縦システムを提供する。
【解決手段】無線無人走行体5に、レーザ光走査式三次元測距装置106と、往路前方カメラ112と、メインカメラ113と、復路前方カメラ115と、俯瞰カメラ118とを搭載する。安全な場所に設置された表示装置に、レーザ光走査式三次元測距装置106により検出された三次元画像と、各カメラ112,113,118により撮影された映像を表示する。オペレータはこれらの三次元画像及びカメラ画像を参照しながら、無線無人走行体5の遠隔操縦を行う。 (もっと読む)


【課題】小型化の3次元形状データ取得装置の光学測定ヘッドを提供する。
【解決手段】投射光学系および撮像光学系は、プリズム型偏光ビームスプリッタ14と、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17と、プリズム型偏光ビームスプリッタ14とワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17との間に配置される結像光学系15とを有し、MEMS13と撮像手段16は、互いにプリズム型偏光ビームスプリッタ14の偏光分離面を挟み互いに交差する方向に配置され、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17は、MEMS13から出射され結像光学系15を透過した光を透過し、ミラー18により被測定物表面に投射され被測定物表面で反射された光は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17の偏光分離面で結像光学系15に向けて反射させる構成とし、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17の偏光分離面と、ミラー18の反射面とは互いに非平行とした。 (もっと読む)


【課題】真に最適なパラメータ群を得ることができ、精度の高い3次元計測を可能にするステレオ3次元計測装置を提供する。
【解決手段】ステレオ3次元計測装置1は、第1,第2のカメラ21,22で計測対象物の画像を複数取得する画像取得部2と、画像取得部2から複数の画像を受けて補正するステレオ平行化部32と、ステレオ平行化部32で補正された複数の画像同士の対応点を探索して、対応点に基づいて複数の画像の評価値を算出する対応点探索部33と、画像取得部2および対応点探索部33に、予め準備しておいた複数のパラメータ群を順次入力して、上記評価値に基づいて複数のパラメータ群の中から最適なパラメータ群を選択するパラメータ選択部4とを備える。 (もっと読む)


【課題】様々な位置姿勢や形状のワークに対応可能で、かつ、迅速に最大内接円を抽出可能な画像処理装置、画像処理方法及び画像処理プログラムを提供すること。
【解決手段】撮像部2によりワークWが撮像された元画像を取得する元画像抽出部31と、元画像抽出部31により取得された元画像を2値化して、元画像からワークWの概略領域を特定する領域特定部32と、領域特定部32手段により特定された概略領域を所定回数収縮処理する収縮処理部34と、元画像抽出部31により取得された元画像からワークWの輪郭線を抽出する輪郭線抽出部35と、輪郭線抽出部35により抽出されたワークWの輪郭線と収縮処理部34により収縮処理された収縮領域とを合成し、収縮領域の領域内で輪郭線に内接する最大内接円の中心点を探索して、中心点を中心としたワークWの内接円を抽出する最大内接円選定部36と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量^Aを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ(p)を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを|i>、|f>とするとき、式(1)の弱値Aが既知であり、A=<f|^A|i>/<f|i>…(1)、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンHが、測定器の運動量演算子^pおよび結合係数g(ただしg>0)を用いて式(2)で与えられ、H=g・δ(t−t)・^A・^p…(2)、^A=1のときに、測定器は、波動関数ξ(p)が運動量表示で実質的に式(3)となる。
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【課題】3次元形状の測定精度をより改善できる3次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の3次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第1方向にN回入射した後、測定対象物に格子イメージを第2方向にN’回入射する投影部と(N及びN’は2以上の自然数)、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の3次元状態を算出する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】積層ゴムの水平変位量及び回転量を同時に測定する。
【解決手段】上部部材と下部部材に固定され、水平方向に変位される積層ゴム10の外周部に周方向へ複数設けられたマーキングを異なる角度から同時に撮像する複数の撮像手段34A,34Bと、前記撮像手段34A,34Bによって撮像された画像上の前記マーキングの座標を算出する座標算出手段と、異なる撮像手段34A,34Bによって同時に撮像された複数の画像上の前記マーキングの移動量から、積層ゴム10の水平変位量及び中心軸周りの回転量を演算する演算手段46と、を有する。 (もっと読む)


【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】欠陥予備軍であっても発熱検査によって特定することができる配線欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る配線欠陥検査装置100は、半導体基板の配線経路に電圧を印加して、短絡欠陥に至っていない短絡予備軍を短絡させた後、電圧無印加状態を所定時間維持した後で、該半導体基板に印加して該短絡欠陥を含む配線もしくは配線間を発熱させ温度上昇させた後、該半導体基板を赤外線カメラで撮影する。 (もっと読む)


【課題】天候及び距離によらず好適に物体までの距離を算出する。
【解決手段】画像処理装置は、取得された第1の車両の前方の画像から、第1の車両の前方の第2の車両の画像を検出する車両検出部と、第1の車両と第2の車両との距離を算出するために必要な複数のパラメータのうち、第2の車両の画像と前方の画像とから取得できないパラメータを判定する状況判定部と、第2の車両の画像と前方の画像とからパラメータを取得し、取得されたパラメータによって第1の車両と第2の車両との距離を算出する少なくとも一つの距離測定部と、を備え、状況判定部が、取得できないパラメータを判定した場合、少なくとも一つの距離測定部は、状況判定部によって判定された取得できないパラメータ以外のパラメータを用いて第1の車両と第2の車両との距離を算出するため、第2の車両の画像と前方の画像とを取得する。 (もっと読む)


【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
20と、パターンで反射した照明光を検出する受光系30および撮像装置35と、撮像装
置35により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部42とを備えている。 (もっと読む)


【課題】対象物体上の外表面形状によらず、対象物体までの距離を利用した適正な制御や処理を実現することを課題とする。
【解決手段】自動車に搭載された2つのカメラ10A,10Bで自車両周囲の撮像領域を撮像して得られる複数の撮像画像を解析して対象物体までの距離を算出する際、撮像領域に向けて互いに異なる方向から非可視光を照射する2つの光照射部21,22の光照射時期が互いに重複しないように交互に非可視光を照射し、当該非可視光の照射によって対象物体の外表面に生じる非可視光の照射領域と非照射領域との境界線C1,C2上の同一の地点を映し出す対応点を光照射時期ごとにそれぞれ特定し、光照射時期ごとに、対応点のズレ量に基づいて距離を算出する。 (もっと読む)


【課題】対象物(被写体)の位置及び移動方向に限定されることなく、移動する対象物を撮像することによって、その対象物の移動距離を計測すること。
【解決手段】移動している被写体を撮像して、前記被写体の移動距離を計測する移動距離計測装置であって、撮像する位置から前記被写体までの距離に関する距離データを取得する測距手段と、撮像レンズを用いて、所定の時間間隔で前記被写体を撮像して、複数の画像を生成する画像生成手段と、前記距離データに基づいて前記複数の画像のうちの任意の2つの画像の前記被写体の位置に関する位置データを算出し、該位置データに基づいて前記撮像レンズの光軸の方向に対して垂直な平面に関する被写体の移動距離を算出する算出手段とを有することを特徴とする移動距離計測装置により上記の課題が達成される。 (もっと読む)


【課題】簡素且つ高精度に撮像対象の大きさを推定して、その大きさに応じて表示情報の制御を行うことのできる情報端末装置を提供する。
【解決手段】撮像部2と、撮像対象の大きさを推定する推定部3と、情報を表示する表示部6と、表示部6で表示する情報を記憶する記憶部5と、推定された大きさに関連する情報を記憶部5から読み出して制御する制御部4とを備え、推定部3が、撮像対象の一面上に設けられた大きさ及び形状が既知のタグを検出するタグ検出部と、タグの周囲に形成される撮像対象の領域を抽出する領域抽出部と、検出タグの配置とタグの所定配置との比較に基づいて、検出タグの撮像部2に対する姿勢を推定する姿勢推定部と、推定姿勢に基づいて抽出された撮像対象の一面の大きさと、その一面を除外した奥行き部分の大きさとを推定するサイズ推定部とを含むよう情報端末装置1を提供する。 (もっと読む)


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