【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、ＬＥＤの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】波長差に起因する計測誤差を低減して高精度な位置検出を行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】基準マークＳＭを利用して被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出装置であって、第１の波長帯域を有する計測光を用いて被検出体ＷＭを照明する第１の照明光学系５と、第２の波長帯域を有する基準光を用いて基準マークＳＭを照明する第２の照明光学系１３と、被検出体ＷＭからの光束および基準マークＳＭからの光束を検出する検出光学系１０と、検出光学系１０で検出された光束に基づいて被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出部４８とを有し、基準光の第２の波長帯域は、計測光の第１の波長帯域の上限と下限との間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像取得動作の連続ストリームが実行モード中に実行されるパートプログラムのマシンビジョンシステム編集環境を提供する。
【解決手段】画像取得動作の連続ストリームが実行モード中に実行されるパートプログラムのためのマシンビジョンシステム編集環境が提供される。一形態では、新しい共通シンタックス及び表現が利用され、２つのステージで実行されるパートプログラムを実行し、そのような連続画像取得動作が通常動作と同じ方法で記録される。最初のステージでは、画像取得の連続ストリームを持つパートプログラムの一部が画像取得動作のためにスキャンされ、画像取得プロセスが開始された後に、画像を取得するために最も効果的な命令が決定される。そして、第２のステージでは、画像取得プロセスが実行されている間に、パートプログラムの一部が再度スキャンされ、そして画像解析動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】単眼ステレオ視に基づく運動量推定を実施するに当たり、演算負荷を軽減しつつ、運動量及び三次元座標を高精度に算出する方法を提供する。
【解決手段】単眼カメラによって撮像された画像を用いるステレオ視に基づく運動量推定を行うに当たり、個々のオプティカルフローの向きを考慮して、異なる向きを有するオプティカルフローを形成する特徴点を効率的にサンプリングして基礎行列の算出に用いる。具体的には、基礎行列の算出に用いるオプティカルフローを形成する特徴点のサンプリングにおいて、サンプリングされた特徴点をオプティカルフローの向きに基づいて所定数のグループに振り分け、複数の特徴点が振り分けられたグループについては特徴点を１つに収束させ、特徴点が振り分けられなかったグループについては改めて特徴点を選択する処理を繰り返して、全てのグループに特徴点が１個ずつ属する状態とし、これらの特徴点に基づいて基礎行列を算出する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板２に対し縞状の光パターンを照射する照射装置４Ａ，４Ｂと、これを撮像するカメラ５と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置６とを備えている。制御装置６は、第１照射装置４Ａから第１光パターンを照射して得られた画像データを基に第１計測値を取得し、第２照射装置４Ｂから第２光パターンを照射して得られた画像データを基に第２計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 （もっと読む）

【課題】高精度な曲げ加工を可能にする。
【解決手段】１対のダイ４０１、４０２上に被加工物２２０を載置し、パンチ３０２の押し込み量に応じた負荷を被加工物２２０の複数の曲げ加工位置に加えることによって被加工物２２０を所定形状に曲げ加工する際に、被加工物２２０の形状に関連するデータを光学式測定装置本体１００で測定し、記憶部９１０に記憶した被加工物２２０の目標曲げ量を参照して、前記測定した形状に関連するデータに基づいて次回の曲げ加工におけるパンチ３０２の押し込み量を決定し、パンチ駆動部３が次回の曲げ加工においてパンチ３０２が前記押し込み量に対応する負荷を被加工物２２０へ加えるように処理部が制御する。 （もっと読む）

【課題】作業者が作業対象物から目を逸らすことなく、誘導画像を参照しながら作業対象位置を選別できるようにする。
【解決手段】作業時に、ポインティング部１１の先端が、作業面の予め既知の作業対象位置に向かうように誘導する場合に、カメラ部１３により作業面を撮影し、画面が透過する透明スクリーン部１５により、作業時に作業面を見えるようにしながら、誘導用の位置ナビゲーションマーク１５３及び直交する交差点が誘導中心のライン１５１，１５２を表示し、カメラ部１３で撮影された画像からポインティング部１１の先端の位置を算出し、既知の作業対象位置の位置情報と比較し、両者のずれ量及び方向に基づいて透明スクリーン部１５に誘導中心に対する位置ナビゲーションマークを表示し、位置ナビゲーションマークが誘導中心に向かうように移動方向を画面上に指示表示する。 （もっと読む）

【課題】保持部材の第１の方向のたわみを検出する。
【解決手段】第１のイメージセンサは、中間転写ベルトの裏面に形成されたラダーパターンチャートの濃度を測定する。記憶部は、第１のイメージセンサと中間転写ベルトの裏面との間の距離と、この第１のイメージセンサの測定に係るラダーパターンチャートのコントラストとの対応関係を示す第１の関数を記憶する。制御部は、第１のイメージセンサにより測定されたラダーパターンチャートの濃度を用いて、ラダーパターンチャートにおいて隣り合う白領域と黒領域とのコントラストを算出する。制御部は、記憶部に記憶された第１の関数を用いて、算出されたコントラストに対応する距離を特定し、特定した距離を上述した白領域及び黒領域と中間転写ベルトの裏面との間の距離として用いて、中間転写ベルトの幅方向のたわみを検出する。 （もっと読む）

【課題】マシンビジョンシステムのパートプログラム編集環境内で編集初期化ブロックを利用するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】パートプログラムの編集初期化ブロックを定義及び利用する方法が提供される。パートプログラムは、一部を測定するための複数のステップを備え、編集インタフェースに表示される。編集インタフェースに、編集初期化ブロックに含めるステップを選択する選択肢が提供される。パートプログラムが保存された後に、編集のためにパートプログラムが呼び出されると、追加のステップがパートプログラムに追加される前に編集初期化ブロックが実行され得る。編集初期化ブロックにない初期パートプログラムステップによって取得されたデータの少なくともいくつかは、編集初期化ブロックを実行して決定されたデータに関連する推定データに基づいてもよい（例えば、基づいて変更されてもよい）。 （もっと読む）

【課題】画像データに対する計測記録データを容易に作成することができる端末装置、画像処理方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】記憶部１４０は、画像データ内の第１座標範囲と、第１座標範囲に関する第１計測値データと、が関連付けられた第１画像データを保持する。制御部１５０は、第２画像データ内の第２座標範囲をユーザの指定に応じて取得する。解析部１６０は、第１座標範囲の画像パターンと第２座標範囲の画像パターンを比較し、比較結果及び第１計測値データに基づいて、第２座標範囲に関する第２計測値データを算出する。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムコンテキスト生成機能を含むマシンビジョンシステムプログラム編集環境を提供する。
【解決手段】編集に現実的なコンテキストを生成するために、パートプログラムのすべての先行命令の実行を必要とせずに、前に保存されたデータを使用する代理データ動作が、特定の命令セットの実行に取って代わる。代理データは、パートプログラムに記録される動作の実際の実行中に保存し得る。実行の編集モードは、そのデータを代理と置換して、そのデータを生成するであろう動作を実行する。コンテキスト生成で大量の時間節約を達成し得、それにより、編集は動作コンテキスト内で行うことができ、動作コンテキストは略リアルタイムで正確性のために繰り返しリフレッシュし得る。これは、マシンビジョンシステムの固有のユーザインタフェースを使用して、比較的未熟なユーザによる都合のよいプログラム変更をサポートする。 （もっと読む）

【課題】コークガイド車などの移動体の移動路に沿って設けられた目標体とコークス炉の位置関係に誤差が生じても移動機を簡易に目標とする位置にする。
【解決手段】コークガイド車１の移動路に沿って設けられた目標体９を検出し、目標体検出装置４で目標体９を検出したときのコークガイド車１の規定位置に対し、目標位置検出装置５で目標位置を検出しながら規定位置から目標位置までコークガイド車１を移動し、検出された目標位置と規定位置との位置誤差を記憶し、以降、目標体９を検出した位置から記憶された位置誤差分だけ移動してコークガイド車１を目標位置にすることにより、目標体９とコークス炉７の位置関係に誤差が生じても、一度、目標体９を検出したときの規定位置と目標位置との位置誤差を記憶してしまえば、以降はコークガイド車１を簡易に目標とする位置にすることができる。 （もっと読む）

【課題】計測精度を向上する。
【解決手段】形状測定装置は、光源からの光に照らされている被検物を撮像する撮像素子と、撮像素子の受光面（Ａ１７）と共役な共役面（Ａ０）を受光面と非平行になるように形成する結像光学系と、撮像素子による撮像の結果から光に照らされている部分の像の位置を検出することにより、被検物の形状に関する情報を取得する形状情報取得部と、を備える。結像光学系は、像を形成する光束が通る範囲において、受光面を含む面と共役面を含む面との交線に直交する直交面上の像面の略中心と物体面の略中心とを直線で結んだときの軸に関して断面形状が非対称であり、かつ交線から最も遠い部分と、交線から最も近い部分とについて、遠い部分から近い部分に向うにつれて直交面上の断面形状の寸法が縮小又は拡大するレンズ要素（５２、５３）を含むレンズ群（５０）を有する。 （もっと読む）

【課題】光沢が含まれる画像部分が形状生成に用いられず有効利用されない。
【解決手段】多視点で撮影した画像データから多視点画像間での対応領域を検出して被写体の三次元形状データを生成する。そして、対応領域のうち光沢のある光沢画像領域を示す光沢領域データを生成して、多視点画像データの光源の特性データを生成する。 （もっと読む）

【課題】非球面形状を有する被検面を高精度に計測するのに有利な非球面形状計測装置を提供する。
【解決手段】光源１から射出された光を非球面形状を有する被検面１４に照射する照明光学系７と、前記被検面に照射する光の一部を遮光する遮光板６と、前記照明光学系及び前記遮光板を介して光が照射された前記被検面の一部の領域から反射される光束を計測するセンサ１０を有する撮像系と、前記センサにより計測されたデータから前記被検面の形状を算出する算出手段と、を有し、前記遮光板は、光軸に対し前記被検面の一部の領域の反対側が遮光されるように構成され、前記被検面の一部の領域から反射される光束と光軸との交点を複数の計測光交点とした場合、前記複数の計測光交点のうち前記被検面に最も近い計測光交点１６と前記被検面との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】金属コイルを固縛するバンドに跨って印字することなく、固縛後の金属コイルの表面に対して、印字レイアウトの制約を遵守しつつ情報を的確に印字できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる印字装置１は、バンド１６によって固縛された金属コイル１５に印字する装置であり、検出部２および印字レイアウト決定部８を備える。検出部２は、金属コイル１５の印字対象領域の中から、バンド１６の位置等を含む印字不可領域と、この印字不可領域以外の印字可能領域とを検出する。印字レイアウト決定部８は、指示された制約を加味した印字レイアウトと印字可能領域との適合度を所定の評価関数によって評価して、この制約を遵守しつつ印字可能領域に文字群を印字できる印字レイアウトの候補を複数選出し、選出した複数の候補のうち、文字群の印字面積が最大となる候補を印字レイアウトとして決定する。 （もっと読む）

【課題】フレーム画像上の対象画像領域を代表する代表３次元座標の精度を向上させる。
【解決手段】３次元座標算出装置は、フレーム画像に撮像されている物体を含む対象画像領域内の前記物体の特徴点である複数の候補３次元点の３次元座標から、各候補３次元点に対するスコアを算出するスコア算出部と、前記候補３次元点の３次元座標と、該３次元座標に対する前記スコアとに対する統計処理を用いて前記対象画像領域を代表する点の３次元座標である代表３次元座標を算出する代表３次元座標算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像装置や現実物体に装着された姿勢センサの校正を、簡便かつ正確に行う為の技術を提供する。
【解決手段】姿勢計測値取得部１４５は、撮像装置１２０に装着された姿勢センサ１１０による姿勢計測値、現実物体１２５に装着されたセンサ１１５による姿勢計測値を取得する。画像処理部１３５は、現実物体１２５上に配置された指標の撮像画像上における画像座標を取得する。校正部１６０は、撮像装置１２０に対するセンサ１１０の配置情報、現実物体１２５に対するセンサ１１５の配置情報、のうち少なくとも１つを、上記２つの姿勢計測値、画像座標を用いて求める。 （もっと読む）