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Fターム[2F065LL04]の内容

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【課題】所定領域内の状況を適切に把握することが可能な電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器は、第1の所定領域にある第1物体を撮像する第1撮像部130又は30と、前記第1撮像部が撮像した前記第1物体の面積に関する量を検出する検出部42とを備え、前記第1物体の面積に関する量に基づいて第1の所定領域内の状況を把握する。さらに、第2の所定領域にある第2の物体を撮像する第2撮像部30又は130とを備え、前記検出部は前記第2撮像部が撮像した前記第2物体の面積に関する量を検出する。 (もっと読む)


【課題】ノイズ光が入射した場合に誤った計測が行われるのを防止して、計測の精度を確保する。
【解決手段】検出用の光を投光する投光部101と、投光された光に対する反射光を受光する受光部102と、変位を計測する計測処理部として機能するCPU10とを具備するセンサ1のCPU10に、受光量の変化を表すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段の機能を付与する。CPU10は、判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別した場合には、計測処理を行って結果を出力するが、判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱すると判別した場合には、計測結果が出力されないように制御する。 (もっと読む)


【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 (もっと読む)


【課題】より広範囲かつ高速に対象を検出することが可能な対象検出装置および対象検出方法を提供する。
【解決手段】対象検出装置101は、検出対象の物性に応じて予め選択された複数の波長帯について、2次元画像を撮像するための撮像部11と、2次元画像の各画素における物質を検出するための検出部12とを備え、撮像部11は、設定されたラインごとに2次元画像を撮像する。 (もっと読む)


【課題】小型化の3次元形状データ取得装置の光学測定ヘッドを提供する。
【解決手段】投射光学系および撮像光学系は、プリズム型偏光ビームスプリッタ14と、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17と、プリズム型偏光ビームスプリッタ14とワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17との間に配置される結像光学系15とを有し、MEMS13と撮像手段16は、互いにプリズム型偏光ビームスプリッタ14の偏光分離面を挟み互いに交差する方向に配置され、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17は、MEMS13から出射され結像光学系15を透過した光を透過し、ミラー18により被測定物表面に投射され被測定物表面で反射された光は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17の偏光分離面で結像光学系15に向けて反射させる構成とし、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ17の偏光分離面と、ミラー18の反射面とは互いに非平行とした。 (もっと読む)


【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±90度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を90度(直交位相)異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、90度異なる2つの干渉出力値i1、i2を得て、その参照光と計測光の値r、sとから、参照光と計測光の位相差をθとして、2つの余弦値cosθ1、cosθ2を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ1、θ2を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、1周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±90度(半波長)を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 (もっと読む)


【課題】物体の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことのできる部品実装装置を提供する。
【解決手段】撮像部10と、輝度変化光を斜めから照射する照射部20と、対象物および基準点42を撮像部および照射部に対し第二方向に相対的に移動させて、対象物および基準点を撮像対象領域に対して通過させる移動部40と、基準点データと対象物データとを取得するデータ取得部と、それぞれの撮像のタイミングT1〜T4での基準点位置と基準点基位置との位置ずれを導出する位置ずれ導出部と、それぞれの撮像のタイミングの対象物基位置に対して、導出された位置ずれを加算して得られた対象物の測定部位の位置に対応する輝度値を取得する輝度値取得部と、取得された輝度値に基づいて、位相シフト法による波形を作成する波形作成部とを備える。 (もっと読む)


【課題】特異な輝度を持つ画素に影響されない重心位置算出を行い、変位測定の精度を向上する変位測定方法および変位測定装置を得る。
【解決手段】計測対象1にスリット光3を照射するスリット光照射装置2と、スリット光3を計測対象1に照射することによって生成される光切断線4を撮影するカメラ5と、カメラ5により得られた光切断線像から計測対象1の変位を求める画像処理装置7と、を備え、画像処理装置7は、カメラ5により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から光切断線像の重心位置を算出して計測対象1の変位を求める。 (もっと読む)


【課題】回路規模および演算時間の増大を招くことなくキャリブレーションずれを再補正する。
【解決手段】キャリブレーションによって補正された左右のカメラステレオ平行化後画像間のずれ量を、キャリブレーションずれ再補正部15を含む対応点探索部9による対応点の探索処理中において、キャリブレーションずれ再補正部15によるキャリブレーションずれ再補正処理で得られるデータを用いて再補正する。こうして、距離計測装置1における内部ハードウェアの回路規模および演算時間を増大させることなく計測精度を高めることができる。また、上記右カメラステレオ平行化後画像を上下にずらして、左右のカメラステレオ平行化後画像の上下方向のずれを再補正する。こうして、問題になり易い上下方向のキャリブレーションずれを低減することができる。その際に、対応点の探索を行う際の右カメラステレオ平行化後画像の最適位置を確実に見出すことができる。 (もっと読む)


【課題】透明な平板状の物体の一方主面を、他方主面側から該物体を介して撮像する技術において、特に対象物が薄い場合でも支障なく撮像を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】ブランケットBLを吸着保持する吸着ステージ51の上面510と、アライメントパターンAP2を下方から撮像するための石英窓52aの上面520とを同一平面とせず、石英窓52aの上面520を下方に後退させて配置する。ブランケットBLと石英窓52aとが部分的に接触することにより生じる干渉縞が画像に写り込むのを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】基板表面の高さレベルを決定する際のより多くの融通性及び/又は効率的レベルセンサ技術を提供する。
【解決手段】基板W表面の高さレベルを決定するように構成されたレベルセンサであって、基板W上の反射後に測定ビームを受光するように配置された検出ユニットを備え、検出ユニットは、各検出素子が測定エリア81、82、83、84の測定サブエリア8a上に反射した測定ビームの一部を受光するように配置された検出素子のアレイを備え、それぞれの検出素子によって受光された測定ビームの部分に基づいて測定信号を提供するように構成され、処理ユニットは、測定サブエリア8aでの選択された解像度に応じて、測定サブエリア8aの高さレベルを計算し、又は複数の測定サブエリア8aの組合せの高さレベルを計算するように構成された、レベルセンサを提供する。 (もっと読む)


【課題】位相シフト法を利用した三次元計測を行うにあたり、より高精度な計測を実現することのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞状の光パターンを照射する照射装置4A,4Bと、これを撮像するカメラ5と、撮像された画像データを基に三次元計測を行う制御装置6とを備えている。制御装置6は、第1照射装置4Aから第1光パターンを照射して得られた画像データを基に第1計測値を取得し、第2照射装置4Bから第2光パターンを照射して得られた画像データを基に第2計測値を取得する。そして、両光パターンが照射される全照射領域に関しては、両計測値から特定される値を当該領域の高さデータとし、いずれか一方のみ照射される一部照射領域に関しては、前記全照射領域の高さデータから算出した補完データを基に当該領域に係る計測値の縞次数を特定し、当該領域に係る高さデータを取得する。 (もっと読む)


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