【課題】下水圧送管路内に走行させて堆積物等を除去する洗浄用ピグの走行位置を検出する場合、管路途中でピグが停止した場合は、その位置を正確に検出することが出来なかった。
【解決手段】下水圧送管路１の内壁面に、管路内を走行する洗浄用ピグ７が接触するようにセンサ用光ファイバ２を配設し、光学式温度センサ本体３からセンサ用光ファイバ２にパルス光を入射させ、センサ用光ファイバから出射される後方散乱光を測定系に導いてセンサ用光ファイバの長手方向の温度を測定し、ディスプレイ装置５に測定した温度情報を監視画面６として表示する。走行する洗浄用ピグ７がセンサ用光ファイバ２に接触して生じる摩擦により発生した熱の温度を光学式温度センサ本体で測定することにより、洗浄用ピグ７の走行位置を監視する。 （もっと読む）

【課題】より広範囲かつ高速に対象を検出することが可能な対象検出装置および対象検出方法を提供する。
【解決手段】対象検出装置１０１は、検出対象の物性に応じて予め選択された複数の波長帯について、２次元画像を撮像するための撮像部１１と、２次元画像の各画素における物質を検出するための検出部１２とを備え、撮像部１１は、設定されたラインごとに２次元画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】波長差に起因する計測誤差を低減して高精度な位置検出を行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】基準マークＳＭを利用して被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出装置であって、第１の波長帯域を有する計測光を用いて被検出体ＷＭを照明する第１の照明光学系５と、第２の波長帯域を有する基準光を用いて基準マークＳＭを照明する第２の照明光学系１３と、被検出体ＷＭからの光束および基準マークＳＭからの光束を検出する検出光学系１０と、検出光学系１０で検出された光束に基づいて被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出部４８とを有し、基準光の第２の波長帯域は、計測光の第１の波長帯域の上限と下限との間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】被写体までの距離とともに、被写体の肌領域を精度良く算出する。
【解決手段】第１のLEDは、被写体に対して、第１の波長の光を照射し、第２のLEDは、被写体に対して、第１の波長とは異なる第２の波長の光を照射し、距離画像センサは、被写体からの反射光を受光する。そして、肌検出部は、被写体からの反射光として第１の波長の光が受光されることにより得られる第１の画像と、被写体からの反射光として第２の波長の光が受光されることにより得られる第２の画像に基づいて、被写体の肌を表す肌領域を検出し、距離画像センサは、第１の波長の光が被写体に照射されたときから、被写体からの反射光として受光されるまでの第１の往復時間を算出し、算出した第１の往復時間に基づいて、被写体までの距離を算出する。本開示は、例えば、被写体の撮像により、距離画像を生成する撮像装置等に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１００の表面の欠陥を検査する表面検査装置３００と、この表面検査装置３００に対するウェハ１００の搬送路に設けたウェハステージ２１０と、このウェハステージ２１０上のウェハ１００のエッジ部を検査するエッジ検査部５３０と、このエッジ検査部５３０を当該エッジ検査部５３０の光軸に沿って移動させる移動装置６５０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】赤熱状態にある測定対象物においても複数の評価点の変位を同時に計測できる変位計測手法を提供すること
【解決手段】画像成分決定手段３ｂにより、赤熱前後の測定対象物１をデジタルカメラ２で撮影した画像データをそれぞれＲＧＢ成分に分離して、赤熱前後で赤熱領域の輝度値の変化が最も小さい成分を決定し、画像変換手段３ｃにより、変形前後の測定対象物１をデジタルカメラ２で撮影した画像データを、画像成分決定手段３ｂにより決定された成分の画像データに変換し、この変換された変形前後の測定対象物の画像データを使用して、変位演算手段３により、パターンマッチング処理を行い、変位を演算する。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラにより取得されるステレオ画像を利用して、階段等の段差部の踏面の先端側エッジの空間的な位置及び方向を含む該段差部を配置位置を精度良く認識することができる装置を提供する。
【解決手段】カメラ３Ｒ，３Ｌのうちの基準画像に、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)を設定すると共に、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)のそれぞれにおける実エッジ投影線Ｌ52rの複数の候補位置ｖ(k1)を設定し、各演算処理領域毎に、各候補位置の実エッジ投影線（段差部の先端側エッジの投影線）の位置に対する適合度を表す評価関数の値を射影変換を利用して算出する。実エッジ投影線を推定してなる推定エッジ投影線を、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)のそれぞれにおける推定エッジ投影線の位置の適合度を合成してなる合成適合度が最も高くなるように決定する。推定エッジ投影線と段差部の踏面の平面パラメータとに基づいて段差部の空間的な配置を認識する。 （もっと読む）

【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板９上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット２と、ガラス基板９を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット２は、光照射部２１および受光部２３を有し、光照射部２１により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部２３のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部２３を回転することにより受光部２３の光軸Ｊ２とガラス基板９の法線Ｎとのなす検出角θ２が変更される。撮像ユニット２は、光軸Ｊ２に沿って受光部２３を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ２の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸Ｊ２上においてラインセンサの受光面と共役な位置Ｐがガラス基板９の表面に配置される。これにより、受光部２３のフォーカス調整が容易に行われる。 （もっと読む）

【課題】対象物が太陽に直接照らされていても、対象物が遠くに位置していても、対象物を撮像して得た画像において、対象物の位置を識別できるようにする。
【解決手段】第１の波長域の光を吸収し、かつ、第２の波長域の光を反射する光学特性部３を、対象物１に取り付ける。第１の波長域の光を第１撮像部５ａに入射させ、かつ、第２の波長域の光を、第１撮像部以外の位置へ反らし、または、吸収する第１光学系６と、第２の波長域の光を第２撮像部５ｂに入射させる第２光学系８と、を用意する。第１撮像部５ａにより、第１光学系６を介して、対象物１を含む領域を撮像して第１画像を生成するとともに、第２撮像部５ｂにより、第２光学系８を介して、対象物１を含む領域を撮像して第２画像を生成する。第１画像の各画素の輝度Ａと、対応する第２画像の画素の輝度Ｂとの比率Ｂ／Ａを求め、この比率に基づいて、光学特性部３の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】検査方法は、測定対象物を撮影して測定対象物のピクセル別にイメージデータを取得し、測定対象物のピクセル別に高さデータを取得し、測定対象物のピクセル別にビジビリティデータを取得し、取得されたイメージデータと、ピクセル別の高さデータ、及びビジビリティデータのうちの少なくとも１つとを乗算して結果値を算出し、算出された結果値を利用してターミナル領域を設定すること、を含む。よって、より正確にターミナル領域を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】コントラストの高いパターン画像の表示を低コストにて実現する。
【解決手段】パターン画像表示装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、表示対象であるガラス基板９を移動する移動機構を備える。光照射部１３１からは、ガラス基板９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン画像表示装置では、予め画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてコントラストの高い画像をラインセンサ１３２により取得し、ディスプレイに表示することができ、パターン画像表示装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】パターンのムラ欠陥の生じない描画条件を導出し、製品の歩留まりを向上する。
【解決手段】基板上に描画するパターンのムラ欠陥が発生しない描画条件を導出する方法であって、基板上に形成するパターンを生成するパターン情報生成工程Ｓ１と、パターンに対して、複数の描画項目の組み合わせによる、２通り以上の描画条件を設定する描画条件設定工程Ｓ２と、前記生成されたパターンを抜き取り、補助基板上に、前記各描画条件のもとに、矩形領域をなす補助パターンを形成する補助パターン描画工程Ｓ３と、補助基板に対して照明光を入射し、補助パターンから生じる回折光を光電変換素子にて画像として取得し、ムラ欠陥に関するムラ評価値とムラ発生周期とを求めことにより、複数の描画条件の中からムラ欠陥が生じない描画条件を導出する描画条件判定工程Ｓ４とを含むパターンの描画条件導出方法である。 （もっと読む）

【課題】足型測定器において、撮像手段により足の側方を撮影する場合、撮像手段と足の距離を正確に測定できないことから足背部の高さの正確な測定ができないという不都合を解決し、足背高の正確な測定を含む足型測定器を提供すること。
【解決手段】足型測定器の撮像手段で取得した足裏画像において、第２足指の先端と踵の最後端を結ぶ線上の各点と撮像手段の光学的中心との距離を測ることにより、撮像手段と足との間の距離を特定できる。撮像装置と種々の距離での既知高の物体の画素単位での測定値と物体の実寸法との関係から変換式を事前に求めておくことにより、足の側方画像から求めた画素単位での足背高を実寸法に変換することができる。この手法により、足背高の測定を含む足型測定器を提供する。 （もっと読む）

【課題】複合構造物の健全性を監視するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】複合構造物１０は、複合材料及び複合材料内に配置された光ファイバー１６を含む。光ファイバー１６は、光ファイバー１６の非線形光学特性を高める複数の量子ドット１８を含む。量子ドット１８はコア内、金属被覆内、及び／又は光ファイバー１６の表面上に配置することができる。光ファイバー１６は、信号の伝播を支援し、複合材料内の欠陥を検出するように構成されている。量子ドット１８は、複合材料内の欠陥に応じて、二次効果などの非線形効果を引き起こす。量子ドット１８によってもたらされる非線形効果を含む信号の検出及び解析に基づいて、複合材料内の欠陥が検出されうる。 （もっと読む）

【課題】ステージを正確に２次元駆動する。
【解決手段】 ＸエンコーダとＹエンコーダとを少なくとも各１つ含む３つのエンコーダを用いて、ステージＷＳＴの移動面内の位置情報を計測する。ステージＷＳＴの位置計測値に基づいて、位置計測に用いるエンコーダを、エンコーダＥｎｃ１，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３から、エンコーダＥｎｃ４，Ｅｎｃ２及びＥｎｃ３に切り換える。切り換えの際、座標つなぎ法又は位相つなぎ法を適宜切り換えて適用して、新たに使用するエンコーダＥｎｃ４の初期値を設定する。それにより、ステージＷＳＴの位置計測に用いるエンコーダが逐次切り換えられるにもかかわらず、切り換えの前後でステージの位置計測値が保存され、ステージを正確に２次元駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】貼合わせウェハ全体について厚さを測定できる装置の提供。
【解決手段】貼合わせウェハ１の厚さ測定光学系及び観察光学系と、測定光学系から出力される信号を用いて貼合わせウェハ１の厚さを算出する信号処理装置とを具え、測定光学系は、第１の波長域の測定用光源３０と、この測定光を投射して光スポットを形成する対物レンズ１７と、その反射光の光検出手段４０とを有し、観察光学系は、前記第１の波長域とは異なる第２の波長域の観察用照明光を放出する照明光源４１と、照明光を投射する対物レンズ１７と、その反射光を受光して２次元画像を撮像する撮像装置４８とを有する。これらで共通の対物レンズ１７と測定光源及び観察光源との間の光路中には、前記測定光学系と観察光学系とを光学的に結合する波長選択性を有するカップリング素子３４を配置する。撮像装置４８は、前記測定光により形成された光スポットの像が重畳された像を撮像する。 （もっと読む）