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Fターム[2F065LL30]の内容

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Fターム[2F065LL30]に分類される特許

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【課題】3次元形状の測定精度をより改善できる3次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の3次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第1方向にN回入射した後、測定対象物に格子イメージを第2方向にN’回入射する投影部と(N及びN’は2以上の自然数)、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の3次元状態を算出する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】非球面形状を有する被検面を高精度に計測するのに有利な非球面形状計測装置を提供する。
【解決手段】光源1から射出された光を非球面形状を有する被検面14に照射する照明光学系7と、前記被検面に照射する光の一部を遮光する遮光板6と、前記照明光学系及び前記遮光板を介して光が照射された前記被検面の一部の領域から反射される光束を計測するセンサ10を有する撮像系と、前記センサにより計測されたデータから前記被検面の形状を算出する算出手段と、を有し、前記遮光板は、光軸に対し前記被検面の一部の領域の反対側が遮光されるように構成され、前記被検面の一部の領域から反射される光束と光軸との交点を複数の計測光交点とした場合、前記複数の計測光交点のうち前記被検面に最も近い計測光交点16と前記被検面との間に配置される。 (もっと読む)


【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】作業者に負担をかけることなく、比較的安価な構成で透明で且つ膜厚が薄い紙材料からなる印刷物の膜厚測定を正確に行うことができる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置1は、大略、光源2、受光サンサ3及び受光センサ3と電気的に接続された演算処理部4を備えてなり、紙材料からなる基材6上に形成された塗布膜8の表面に所定波長の光を出射し、該塗布膜8から反射した反射光の光量、すなわち電圧を測定し、塗布膜8の厚みに対応する電圧と塗布材の膜厚とが関連付けられた検量線に基づき膜厚を演算する。光源2として波長が570nm〜592nmにピークを有する光を用いると共に、塗布膜8に入射する入射光と該入射光の入射点における塗布膜8に垂直な仮想垂線14とでなす角度を0度〜10度としたので、透明で且つ膜厚が0.5μm〜2.0μm以下の印刷物を測定した場合でも、正確な膜厚の値を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板212は、レーザ光源231から出射され、ワーク102の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ233は、拡散反射板212により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク102の加工面で反射された第1の反射光、レーザ光源231から出射されたプローブ光がワーク102の加工面で拡散反射された第2の反射光を受光する。信号処理部234は、第1の反射光によりプローブ光がワーク102の加工面を介して拡散反射板212に入射するまでの第1の距離を検出するか、または、第2の反射光によりプローブ光がワーク102の加工面に入射するまでの第2の距離を検出する。 (もっと読む)


【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源1からの出発ビーム2を測定ビーム3と第1の参照ビーム4aとに分割するビームスプリッタ5aと、光の重ね合わせ手段と、第1の検出器8aとを備える。重ね合わせ手段と第1の検出器8aとは互いに連携する。物体7によって反射された測定ビームと第1の参照ビームとが第1の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ5aは、出発ビーム2を測定ビーム3と、第1の参照ビーム4aと、少なくとも第2の参照ビーム4bとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第2の検出器8bが備えられ、物体7によって散乱させられた第1の受信ビーム4b’としての測定ビームと第2の参照ビーム4bとが第2の検出器8bの検出面で重ね合わされる。 (もっと読む)


【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ2を装着部50に装着し、光源部60から照明光を照射して、撮像素子10の受光面の像を撮像する。光源部60から受光面10Aに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部80に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の3次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 (もっと読む)


【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ100の表面の欠陥を検査する表面検査装置300と、この表面検査装置300に対するウェハ100の搬送路に設けたウェハステージ210と、このウェハステージ210上のウェハ100のエッジ部を検査するエッジ検査部530と、このエッジ検査部530を当該エッジ検査部530の光軸に沿って移動させる移動装置650とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】参照面と被検面との間の距離の計測において、計測範囲の広範囲化の技術を提供する。
【解決手段】光源からの第1光を参照面に入射させ第2光を被検面に入射させる分割素子と、前記参照面で反射された前記第1光と前記被検面で反射された前記第2光との干渉光の位相をシフトさせる位相シフト部と、前記干渉光の強度を検出する検出部と、前記光源からの光の周波数を連続的に3つ以上の周波数に設定し前記3つ以上の周波数のそれぞれについて前記干渉光の位相をシフトさせながら前記干渉光の強度を検出するように前記検出部を制御し検出される前記干渉光の強度及び前記位相シフト部による前記干渉光の位相のシフト量に基づいて、前記参照面と前記被検面との間の光路長に相当する位相を特定し前記参照面と前記被検面との距離を求める処理部と前記処理部は前記3つ以上の周波数のそれぞれの間の周波数差が互いに異なるように前記3つ以上の周波数を設定する。 (もっと読む)


【課題】生地などのシート体の縁部を正確に検出することができる。
【解決手段】当接部材20と、当接部材20に面当接しているシート体Wへ向けて検出光を投光する投光部2と、投光部2が投光した検出光を受光する受光部3と、受光部3の受光量を基にシート体Wを検出する検出部35とを備え、投光部2は、シート体Wとその縁部Waから外れた外領域とにわたって検出光を投光できるように並設された複数の投光口2aを有し、受光部3は投光口2aに個別に対応する受光口3aを有し、検出部35は受光口3aに個別に対応する判断部を有している。 (もっと読む)


【課題】高感度の分光散乱計を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上の回折構造体からの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜の膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 (もっと読む)


【課題】正確に調整可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第1の光を発する第1の発光部11、及び第2の光を発する第2の発光部12と、第1の光及び第2の光を受ける格子3と、平坦な基板が配置されるステージ14と、格子3を透過した第1の光を第1の入射角で基板表面に入射させ、格子3を透過した第2の光を第2の入射角で基板表面に入射させる投影光学系5と、第1の光による基板表面の格子3の第1の変形像、及び第2の光による基板表面の格子3の第2の変形像に基づき、基板表面の高さ方向の位置を算出する高さ算出部と、基板表面の高さ方向の位置が投影光学系5の焦点位置と一致するよう、ステージ14を移動させる移動装置15と、を備える、形状計測装置。 (もっと読む)


【課題】コヒーレンス走査干渉計及びこのコヒーレンス走査干渉計を用いた物体の高さ形状測定するための方法に対して、測定精度や測定特性の再現性に関する改良を行なうことである。
【解決手段】光源2と、干渉計と、経路長変更ユニットと、検出面を有するカメラ3とが備えられている。経路長変更ユニットは、測定ビームと基準ビームの光路長を変更するように構成されている。経路長変更ユニットは、経路目盛11と経路検出器12とを有しており、経路目盛11と経路検出器12とは、経路長変更ユニットによる測定ビームの光路長変更または基準ビームの光路長変更あるいはその両方の光路長変更の際に、経路検出器12の同期的な動きが経路目盛11に対して相対的に行なわれるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】低いコストで、広い高さ範囲を高精度に計測可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第1の光を発する第1の発光部11、及び第2の光を発する第2の発光部12と、第1の光及び第2の光を受ける格子3と、測定物4が配置されるステージ14と、格子3を透過した第1の光、及び格子3を透過した第2の光の両方が透過する投影光学系5であって、第1の光を第1の入射角で測定物4表面に入射させ、第2の光を第2の入射角で測定物4表面に入射させる投影光学系5と、第1の光による測定物4表面の格子3の第1の変形像、及び第2の光による測定物4表面の格子3の第2の変形像に基づき、測定物4表面の高さの分布を算出する高さ分布算出部と、を備える、形状計測装置。 (もっと読む)


【課題】屈折率が未知の誘電体薄膜の膜厚を正確に測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、第1の反射干渉光および第2の反射干渉光のそれぞれについて第1の波長分布および第2の波長分布を生成する波長分布生成部72と、第1の波長分布および第2の波長分布にもとづいて、それぞれ第1の入射角に対応する第1の光路差および第2の入射角に対応する第2の光路差を求める光路差算出部73と、入射角、膜厚および屈折率を変数とした関数として光路差を表した式を用いて、第1の入射角および第2の入射角ならびに光路差算出部73に算出された第1の光路差および第2の光路差を式に代入することにより、薄膜の膜厚および屈折率を求める膜厚屈折率算出部74と、を備える。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の表面の平面度を精度良く求めることができる平面度測定方法を提供する。
【解決手段】平面度測定方法は、レーザ変位計を含むレーザ測定装置が、レーザ光を走査しながら、複数の位置における前記測定対象物の表面と測定基準面とする液面との間の、前記レーザ光の照射方向における距離の情報を測定して取り込む。この後、前記レーザ変位計が測定した複数の位置における前記距離の情報と、前記レーザ変位計が走査した前記複数の位置の位置情報をコンピュータが取り込む。前記コンピュータは、測定した前記位置それぞれにおける前記位置情報と前記距離の情報を座標として表した測定データを、座標空間上の点で表したとき、前記点すべてが2つの平行平面の間に挟まれ、かつ前記2つの平行平面の間の距離が最小となる目標平行平面を、前記2つの平行平面の傾きを変えながら探索することにより、前記平面度を算出する。 (もっと読む)


【課題】サーチ動作又はボンディング前のボンディング点の高さ測定を行うことなしに、高速でボンディングが可能なボンディング装置を提供すること。
【解決手段】上下方向に揺動可能なボンディングアームに搭載されて、被ボンディング部品の表面に位置するボンディング点の合焦点の検出を行う共焦点光学系と、前記ボンディングアームと一体に可動してボンディングを行うボンディングツールと、前記ボンディングツールの位置を検出する位置検出手段と、を有し、ボンディングツールのボンディング点への下降中に、共焦点光学系による合焦点検出により位置検出手段で検出したボンディングツールの位置から、前もって設定したボンディング点までの所定の距離(合焦点基準下降量)をボンディングツールが下降して、ボンディング点上で停止するように制御する。 (もっと読む)


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