穴の内部寸法を計測するための装置は、穴の内部に配置されるようになされた工具（１）を備える。工具は、穴の内部寸法と相関する応答をもたらす光学式センサを備えた光学式カリパー（３１２）を備える。光学式センサは、光ファイバ（３１１Ａ）に連結されている。
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【課題】従来の３次元計測方法とその計測装置は、基準となるパラメータや平面が実際の平面サンプルとは異なっていたり、カメラノイズやコントラストのバラツキの存在によって精度が低くなったり、ハードウェアが複雑になるという問題がある。
【解決手段】本発明の位相シフト法による３次元計測方法は、測定前に基準サンプルを使用し全計測点について、基準サンプルにおける位相を測定し、前記基準サンプルにおける位相の位相接続処理を行い、その結果を誤差最小化処理し、得られた全計測点の位相を基準位相として求め、測定時測定対象物について算出した位相から基準位相を差し引くことによって測定対象物の高さを得る３次元計測方法とその計測装置である。 （もっと読む）

【課題】 ストライプパターンのストライプ幅を小さくしなくてもその幅方向の解像度を改善させる。
【解決手段】 ストライプパターンを初期設定にリセットし（Ｓ１０）、プロジェクタ１０から初期設定のストライプパターン（Ａ）を被写体５０に投影し（Ｓ１１）、２台のカメラ２０、３０で撮影する（Ｓ１２）。得られた画像から、ストライプエッジ上のポイントにおける距離情報が算出される（Ｓ１３）。次にストライプパターンを２ピクセルシフトさせつつ同様に距離情報を算出する（Ｓ１４、Ｓ１５）。（Ｂ）〜（Ｄ）と繰り返して撮像を行いそれぞれのポイントにおいて距離情報算出を行う。最後にそれぞれ算出された距離情報（点群データ）を合成して最終的な出力を得る（Ｓ１６）。 （もっと読む）

【課題】 安価な３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 ３次元形状測定装置は、被検体７に投影するパターンをＧＵＩ画像１１としてＰＣモニタ２上に表示する、アプリケーションソフトウェア４を実行するＰＣ本体１によって制御される。プロジェクタ装置５は、ＰＣモニタ２の表示を投影する、市販の投影機であり、３次元形状測定装置として動作する場合、アプリケーションソフトウェア４によってＰＣモニタ２上に表示されたパターンをそのまま被検体７に投影する。アプリケーションソフトウェア４は、ＰＣのモニタ画面２上にパターンを表示させるだけのものでよく、プロジェクタ装置５もＰＣのモニタ画面上の表示を投影する市販のものでよい。撮像装置６で、被検体７に投影されたパターンを撮像し、ＰＣ本体１で処理することによって、３次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】特定の波長（もしくは小帯域波長範囲）のみを有する放射線ソースを用いて、変形したおそれのあるアライメントマーカを使用する場合に、アライメントの質を向上させるアライメントシステムを提供する。
【解決手段】基板上のマーカ構造はラインエレメントとトレンチエレメントを含み、ラインエレメントとトレンチエレメントの各々は第一方向に長さを有し、かつ、第一方向に垂直な第二方向にて交互に反復配列して配置され、反復配列はシーケンス長を有し、マーカ構造は少なくとも１つのピッチ値を有し、ラインエレメント及びトレンチエレメントの幅は、マーカ構造のシーケンス長にわたって最少ライン幅値と最大ライン幅値の間で変わる。ラインエレメントおよびその隣接するトレンチエレメントのペアのデューティサイクルはマーカ構造のシーケンス長にわたりほぼ一定とし、ピッチ値はシーケンス長にわたり最少ピッチ値から最大ピッチ値まで変動する。 （もっと読む）

【課題】大きな被測定物であっても誤差の累積がなく、精度よく光学的に３次元測定できる３次元形状測定方法を得る。
【解決手段】カメラ４により被測定物１を撮像して、カメラ４の撮像領域Ｓ内の被測定物１の３次元形状を測定する。その際、被測定物１に沿って配置され複数のマークＭが設けられた長尺状のリファレンスバー１４，１６と、カメラ４を移動可能に支持する移動機構１８とを設ける。そして、移動機構１８に支持されたカメラ４を移動して、異なる箇所で少なくとも２つのマークＭを含む被測定物１を撮像した撮像領域Ｓのそれぞれの測定値をマークＭに基づいて同一座標系に変換して、被測定物１の３次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で測定精度の高い光学式物理量測定装置とすることができる。
【解決手段】 光源１１からの光をスラント型グレーティング１３で受光して波長が長くなるのに応じて傾斜波長範囲内で透過光強度が傾斜状に変化するようにし、スラント型グレーティング１３からの光をブラッググレーティング１５で受光して傾斜波長範囲内で所定波長幅の透過特性が１つある光を透過させ、ブラッググレーティング１５からの光を受光部１７で受光して受光強度に変換することで、ブラッググレーティング１５に加わる物理量の変動を受光部１７により受光強度に変換する。 （もっと読む）

【課題】 タイヤの固体部分に生じている歪みを直接検出し、かつ回転系非回転系間の電力・信号伝達が不要なタイヤ歪み検出用センサシステムを提供する。
【解決手段】 歪みに応じて反射波長が変化するＦＢＧを形成した光ファイバ１をタイヤ２の内層３に埋め込み、この光ファイバ１とタイヤ外部との間で光伝送を行うためのカプラ４をタイヤ２の側部に設けた。タイヤ２の内層３の変形に応じてＦＢＧの反射波長が変化する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 正反射を起こす面を有する粗面物体の機能的表面性状を定量的に、かつ簡易に測定する。
【解決手段】 粗面物体の表面性状を測定する方法において、主として正反射を起こす面を有する粗面物体の表面に基準パターンを投影して該基準パターンの反射像のゆらぎを結像し、該反射像のゆらぎをＣＣＤカメラで撮影し、該ＣＣＤカメラの映像信号を画像処理することにより前記反射像のゆらぎの輝度分布および該反射像のゆらぎの大きさを算出し、その値から粗面物体の表面性状を求める。反射像のゆらぎの大きさとして、輝度の振幅の標準偏差を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 １若しくは複数の方向パラメータ及び特に先端が接点で表面に接触している長寸の物体の第２及び第３のオイラー角θ，ψを決定するためのステレオ視の原理を利用した装置及び方法を提供する。
【解決手段】 装置は、第１の視点から既知のパターンでプローブ放射線により表面を照明するための長寸の物体上に取り付けられた投光器と、第２の視点から表面から長寸の物体に戻るプローブ放射線の散乱部分を検出するための長寸の物体上に取り付けられた検出器とを有する。方向パラメータは、投射されたプローブ放射線によって生成される特徴部の形状と検出器によって検出される特徴部の形状との差などの、投射されたプローブ放射線と検出されたプローブ放射線の差から決定される。プローブ放射線のパターンは、１若しくは複数の方向パラメータの決定のための情報を供給するように選択され、線、楕円、矩形、多角形などの非対称パターン、または円、正方形、正多角形を含む対称の場合を含むことができる。パターンを生成するために、投光器は、ホログラフィック素子、回折素子、屈折素子、または反射素子及びこれらの任意の組合せなどの構造化された光学部品、または走査装置を用いることができる。本発明の装置は、ペン、鉛筆、またはスタイラスなどの筆記具の方向を決定するのに適している。 （もっと読む）

本発明に従う測定ヘッド（４）は、好ましくは回折レンズであるゾーンレンズ（２６）と半球レンズ（２３）又はＧＲＩＮレンズ（３３）の組み合わせを有する。これは、高い開口数を有する非常に細い測定ヘッド（４）になる小型化の可能なコンセプトを表し、従って、ベストな解像能力をもたらす。このような測定ヘッドは、測定ヘッドの測定すべき表面への指向に関する角度誤差又は測定ヘッドの光軸に対する面の斜めの位置決めに対して反応しない。
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【課題】
【解決手段】本発明は、オーバレイマークと、オーバレイ誤差を決定する方法とに関する。本発明の一態様は、連続的に変化するオフセットマークに関する。連続的に変化するオフセットマークは、位置の関数として変化するオフセットを有する周期構造を重ね合わせた１つのマークである。例えば、周期構造は、ピッチなどの格子特性に関する値が異なる格子に対応してよい。本発明の別の態様は、連続的に変化するオフセットマークからオーバレイ誤差を決定する方法に関する。その方法は、一般に、連続的に変化するオフセットマークの対称中心を決定する工程と、それをマークの幾何学的中心と比較する工程と、を備える。オーバレイがゼロである場合には、対称中心は、マークの幾何学的中心と一致する傾向がある。オーバレイがゼロでない場合（例えば、２つの層間にずれがある場合）には、対称中心は、マークの幾何学的中心からずれる。その位置ずれを、連続的に変化するマークの予め設定されたゲインと組み合わせて用いることで、オーバレイ誤差を算出する。 （もっと読む）

少なくとも一つの波長を有する光を分析するための装置であって、光を偏向して光の少なくとも一つの波長に相当する少なくとも一つの波長依存角度を特徴とする偏向された光ビームを与える偏光器（１２）と、偏向された光ビームを符号化して少なくとも一つの波長依存角度に相当する少なくとも一つの角度依存偏向状態を特徴とする符号化された光ビームを与えることができる符号器（２０）と、符号化された光ビームを復号して光の少なくとも一つのスペクトル成分を決定するための復号器（２４）とを含む。 （もっと読む）