【課題】リソグラフィ装置で使用するために、基板の厚さ及び平坦さの通常の変動より大きい高さ範囲で確実な測定結果を提供するレベルセンサを提供する。
【解決手段】基板の高さレベルを決定するように構成され、周期的な光強度を有する測定ビームを基板に投影する投影ユニットと、基板で反射した測定ビームを受ける検出ユニットとを備える。検出ユニットが、反射した測定ビームを受けるように配置された検出格子１１を備え、検出格子１１が投影される前記投影ビームの周期の長さと実質的に等しい長さを有する３つ以上のセグメント１３ａ、１３ｂ、１３ｃを備え、反射した測定ビーム１４を３つ以上の反射測定ビーム部分１４ａ、１４ｂ、１４ｃに分割するように構成され、３つ以上の検出器がそれぞれ測定ビーム部分のうちの１つを受けるように配置され、さらに、検出器が受けた測定ビーム部分に基づいて高さレベルを計算する処理ユニットを備える。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物、鋼構造物、土構造物、または岩盤、地盤に発生したひびわれ、亀裂、目地などを対象とし、離れた地点から画像撮影することで高い精度を確保し、安全、簡単かつ迅速な計測を可能とするモアレ縞を利用した変位計測方法を提供する。
【解決手段】モアレ縞を利用して２地点間の微小な相対変位を計測するモアレ縞を使った変位計測方法であって、計測対象に沿うように設置され相互に重ねられた２枚の板状の部品からなる計測装置１０の２枚の板状の部品のそれぞれに、空間的に周期構造をもつ格子を表示し、格子同士の光学的な干渉により生じるモアレ縞の移動量を読み取ることで計測対象の変位を計測する。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィ装置で使用するために、自身の測定ビームの焦点高さによる影響を受け難いことが好ましい代替レベルセンサを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板の高さレベルを測定するように構成されたレベルセンサを提供し、レベルセンサは、測定ビームを基板に投影する投影ユニットと、基板で反射した後に測定ビームを受ける検出ユニットと、検出ユニットが受けた反射測定ビームに基づいて高さレベルを計算する処理ユニットとを備え、レベルセンサは、傾斜測定デバイスをさらに備え、傾斜測定デバイスは、反射測定ビームの少なくとも一部を受けるように配置され、公称平面に対する基板の傾斜を表すチルト信号を提供するように構成される。 （もっと読む）

【課題】
被写体の三次元計測時に用いる投影パターンをより高い密度で投影できるようにした技術を提供する。
【解決手段】
情報処理装置は、複数の計測線パターンと、当該複数の計測線パターンに対して複数の交点を有するとともに交点間の形状が特徴付けられる基準線パターンとを含むパターンデータを生成し、当該生成されたパターンデータに基づく投影パターン光が投影された被写体を撮像した撮像画像を入力し、当該撮像画像から交点を抽出し、撮像画像における基準線パターン上の交点間に特徴付けられた形状の一次元的又は二次元的な配置を示す情報を同定情報として取得し、当該同定情報に基づいてパターンデータにおける基準線パターンと撮像画像における基準線パターンとを対応付け、当該対応付け結果に基づいてパターンデータにおける計測線パターンと撮像画像における計測線パターンとを対応付ける。 （もっと読む）

【課題】光干渉断層画像診断を精度よく行うのに好適な基準格子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る基準格子１００は、光干渉断層画像の診断に用いられる基準格子であって、光を透過する部材から構成され、当該部材に複数のグリッド線１１０を備え、複数のグリッド線１１０は、光干渉断層画像に表示される。そして、基準格子１００を対象物に固定し、基準格子１００及び対象物に低干渉光を照射し、当該基準格子１００及び当該対象物により当該低干渉光が反射された反射光に基づいて、当該基準格子１００及び当該対象物を測定し、基準格子１００が備えるグリッド線１１０間の測定寸法と当該グリッド線１１０間の実寸法との差に基づいて、測定された対象物の測定寸法に含まれる誤差を特定する。 （もっと読む）

検査精密度を向上させることのできる基板検査装置を提供する。基板検査装置は少なくとも一つの照明モジュール、結像レンズ、第１ビームスプリッタ、第１カメラ及び第２カメラを含む。照明モジュールは検査基板に光を提供し、結像レンズは検査基板から反射された光を透過させる。第１ビームスプリッタは結像レンズを透過した光のうち一部を透過させ残りを反射させる。第１カメラは第１ビームスプリッタを透過した光の印加を受けて撮像し、第２カメラは第１ビームスプリッタから反射された光の印加を受けて撮像する。このように、一つの結像レンズを用いて検査基板を検査することによって、従来の結像レンズ間の光軸または倍率偏差に起因した検査精密度の低下を防止することができる。
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オブジェクトと別のオブジェクトとの相互アライメントに用いる特定のアライメント構成を備えたオブジェクトが開示される。アライメント構成は、実質的に規則的な格子の形態の第１の微細アライメントマークと、第１のアライメントマークと同じエリア内に位置する第２の粗アライメントマークとを含む。 （もっと読む）

【課題】 連続移動する測定対象物の三次元形状を、位相シフト法により高速に測定すると共に、垂直解像度や深度を柔軟に設定できる構成とする。
【解決手段】
被測定対象物に対して斜め上方から、投影方向に沿って光の強度が正弦波状に変化する格子縞を投影する格子縞投影器１と、鉛直上方に位置しエリアセンサ６を備えたカメラ２と、被測定対象物を一定方向へ移動させるステージ３とを備え、格子縞は位相が互いにπ／２ずつシフトした４つの帯状領域に分かれており、エリアセンサ６上の各帯状領域につき一本の水平ライン、計４本から画像を読出し、位相シフト法の原理を用いて位相を算出して高さに変換し、被測定対象物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定値がばらつき、エッチング加工される精密部品の母材に要求される形状精度を保障可能な測定精度を確保する。
【解決手段】板材形状測定範囲内での等間隔の棒状光源配置と位相変化測定板材上方に棒状光源を配置して、板材表面に観察される棒状光源の鏡像をカメラにて撮影した画像に基づき板材の形状を測定する板材の光学式形状測定方法において、
複数の棒状光源を板材形状測定範囲にわたって等間隔に配置し、カメラにて撮影した画像上の棒状光源の配列方向に垂直な方向の周期的な輝度分布波形を得て、
フラットな基準平面測定時の周期的な輝度分布波形に対する位相変化量を測定することにより、板材表面の角度分布を求めることにより、板材の光学式形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】高い精度を有して良好に操作でき且つ安定な長さ測定装置を創作すること。
【解決手段】長さ測定装置は、支持体（１２）とその支持体に摩擦の乏しく固定された物差し（１１）とを包含する構成ユニット（１）を有する。支持体（１２）は位置測定するために、測定すべき物体（１３）に固定式に固定できる。さらに、保持体（３）が設けられていて、この保持体により物差し（１１）が固定点（Ｐ）に支持体（１２）を避けて測定すべき物体（１３）に固定できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、対象物の三次元形状を精度良く測定する三次元測定装置を提案する。
【解決手段】 三次元測定装置（１００）は、試料（Ｔ）の表面からの反射光を結像する結像光学系（１０）と、結像光学系を介して試料の表面を撮像する撮像部（１５）と、結像光学系の焦点位置と試料の位置とを結像光学系の光軸方向に相対的に変化させながら撮像部で撮像して得た複数の画像に基づいて試料の三次元形状を算出する三次元算出部（１７）と、を備える。そして結像光学系は、ｆ＊θ＜ｈ＜ｆ＊ｔａｎθの関係を満たす。
ここで、ｆ：結像光学系の焦点距離、ｈ：結像光学系の光軸から試料の任意の点までの距離、θ：結像光学系の光軸と結像光学系から試料への主光線とのなす角とする。 （もっと読む）

【目的】光損失の小さい1550nm付近の帯域光を使用するBOTDRといわゆるＣバンド帯域の波長分割多重化方式FBGとを組み合わせて測定することによって、最大10kmに及ぶ範囲のひずみ測定を高精度に行うことができる、ひずみ・変形の計測監視装置を提供する。
【構成】ＦＢＧ光測定器とＢＯＴＤＲ光測定器と、両測定器の使用を切り替える光スイッチと、光スイッチを介して両測定器に接続された光ファイバと複数個のＦＢＧセンサとにより構成された測定部とを備え、複数個のＦＢＧセンサに略１５５０ｎｍ付近の波長光を検出するＦＢＧセンサを使用してなり、光スイッチによりＦＢＧ光測定器とＢＯＴＤＲ光測定器とを切り替え、両測定器による測定が時間をずらして同一の前記測定部で行える、ことを特徴とする。 （もっと読む）

軸Ｙ及びＺと共に空間の正規直交座標を定める軸Ｘの実質的に平面の軌道に沿って移動する基体（１）のＸＹ平面に対して実質的に平行な表面（２）に対するトポグラフィ装置であって、装置は、基体（１）の移動中に表面（２）のトポグラフィを測定するために表面（２）によって後方散乱される照明を測定するための手段（２０）と協動することができる表面（２）の構造化照明のための手段（１０）を含み、構造化照明のための手段（１０）は、表面（２）上に入射角「ａ」で光ビーム（Ｆ）を投影し、そこに各光筋（Ｓ）がＸ軸と角度「ｂ」を構成する複数の「ｎ」本の光筋（Ｓ１，Ｓ２．．．Ｓｎ）を形成することができ、この装置において、測定手段（２０）は、平面ＸＹ及び平面ＸＺと交差する平面Ｐに位置する線形カメラで構成され、平面Ｐと平面ＸＹとの交差は、Ｙ軸との角度「ｃ」を形成し、平面ＰとＸＺ平面との交差は、Ｚ軸との角度「ｅ」を形成し、この装置において、入射角「ａ」は、３０°と７０°の間にあり、角度「ｂ」は、−４５°と＋４５°の間にあり、角度「ｃ」は、−３０°と＋３０°の間にあり、角度「ｅ」は、−４５°と＋４５°の間にある。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、３次元形状測定装置は容易に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】 外乱光の影響による三次元形状の測定の誤差を抑制する手段を提供する。
【解決手段】 三次元形状測定装置は、投影部と、補助照明部と、検出部と、照度制御部とを備える。投影部は、測定対象物に対して一定照度のパターン光を照射する。補助照明部は、パターン光の照射された測定対象物を照明する。検出部は、パターン光の成分と補助照明部による照明の成分とを含む測定対象物の表面の明るさを検出する。照度制御部は、補助照明部による照明強度を、検出部によって検出される明るさが一定となるように制御する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状測定方法および装置において、例えば、ハレーション等の被測定物の表面の反射特性による反射光のノイズ成分を低減し、被測定物の表面の測定不能域を低減することができるようにする。
【解決手段】三次元形状測定装置１００は、被測定物１にパターン光１２ｂを投影するプロジェクタ２と、パターン光１２ｂが投影された被測定物１を撮像して、被測定物１の表面からの反射光画像を取得するＣＣＤカメラ３と、反射光画像から被測定物１の三次元形状を算出する演算部４と、被測定物１とＣＣＤカメラ３との間に配置された偏光フィルタ９と、プロジェクタ２と被測定物１との間に配置された偏光フィルタ７とを備え、偏光フィルタ７、９は、透過軸の方向を調整可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ウエハテーブルの位置計測を高精度に行う。
【解決手段】エンコーダ本体（１６Ｙａ，１６Ｙｂ等）から射出されるレーザ光（Ｌｙ１，Ｌｙ２等）は、ウエハテーブルＷＴＢにＰＢＳ１８を介して外部から入射し、露光領域ＩＡの直下に位置する点ＩＡａにて、グレーティング２４に到達し、該グレーティングで回折される。そして、グレーティングから戻ってきた第１の偏光成分と、ＰＢＳで反射された第２の偏光成分との干渉光を受光することにより、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。従って、ＰＢＳを透過した第１の偏光成分が、第２の偏光成分と再度合成されるまでの間は、ウエハテーブル内を通過し、外部雰囲気中を進行することが無いので、測長ビームがウエハテーブルの周辺雰囲気の揺らぎの影響を受けることなく、高精度なウエハテーブルの位置計測を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】全空間テーブル化手法を適用した計測装置の測定速度及び精度を向上させるためのメモリボードを提供する。
【解決手段】メモリボード１０は、コンピュータと通信可能とする制御手段と、コンピュータに接続された撮影装置１５が撮影した画像のそれぞれの画素毎から得られる値Ａと前記値Ａ毎に決まる少なくとも１つの計測値Ｂとが１対１で対応付けられた変換テーブルを、コンピュータから取得して格納するメモリと、テーブルを参照して少なくとも１つの計測値Ｂを求めてコンピュータに出力する手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】第１の光源から光を受けたときに輪郭干渉縞投影パターンを有し、第２の光源から光を受けたときに実質的に一様な照明場を有する照明光線を形成する照明場発生器を有する口腔内撮像装置を提供する。
【解決手段】照明光線の経路内の偏光子１４は、第１の偏光透過軸を有する。投影レンズ１６は、偏光された照明光線を歯表面に向け、結像レンズ２２は、歯表面からの光の少なくとも一部を検出経路に沿わせる。検出経路に沿って配置された偏光選択的要素は、第２の偏光透過軸を有する。少なくとも１つの検出器３０は、偏光選択的要素を通じて供給される光から画像データを取得する。制御論理プロセッサ３４は、第１の光源と第２の光源とに順次、電力を交互に供給し、輪郭干渉縞投影データおよびカラー画像データの両方を取得するためのプログラムされた命令に応答する。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象基板を支持するワークステージと、光源、格子イメージを生成するために光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、前記測定対象基板の測定対象物で反射される格子イメージを撮像する撮像部と、ワークステージ、パターン投影部および撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して測定対象物を検査する制御部と、を含む。したがって、測定精度を向上させる。 （もっと読む）