【課題】本発明は３次元形状の測定の際、影を除去すると共に測定物体の表面で正反射される光を測定することができる３次元形状測定装置に関するものである。
【解決手段】本発明の３次元形状測定装置は光を発生させる投影部（１０）と、光を感知する結像部（２０）と、投影部（１０）と結像部（２０）の間に設置されるプリズム部（３０）と、プリズム部（３０）の両側にそれぞれ設置される第１及び第２ミラー部（４０，５０）とを具備し、プリズム部（３０）は投影部（１０）で発生された光を第１及び第２ミラー部（４０，５０）に選択的に入射させて測定物体（１）の表面に入射させて、測定物体（１）の表面で反射された光が第１及び第２ミラー部（４０，５０）に選択的に入射されて正反射されるとその光を結像部（２０）に入射させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 ポインティング入力装置によって指し示されるポインティング地点の動きに応じて、ディスプレイ領域に存在するマウスポインタの動きを提供するポインティング入力装置、ポインタ制御装置、映像パターン発生装置、ポインティング入力方法、ポインタ制御方法および映像パターン発生方法を提供する。
【解決手段】 認識された大きさのディスプレイ領域上に表示された所定の映像パターンを捕らえて前記映像パターンの範囲を感知する映像受信部と、前記映像パターンの中心を基準として、前記ディスプレイ領域内においてポインティングされた地点の座標を抽出する座標抽出部、および前記抽出された座標を送信する送信部を含むポインティング入力装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被写体の形状や大きさに適した範囲に、検出範囲を制限することで、検出に要する時間やコストを低減する３次元形状検出装置を提供する。
【解決手段】被写体ＫＡを載置する基台と、明と暗とを交互に並べたパターン光を被写体ＫＡに投影する投影手段と、パターン光が投影されている被写体ＫＡを撮像する撮像手段と、撮像手段により撮像された撮像画像に含まれるパターン光境界を検出して被写体ＫＡの３次元形状を算出する算出手段と、被写体ＫＡの概略寸法を測定する測定手段と、概略寸法に基づいて、撮像画像に含まれるパターン光境界を検出する検出範囲を限定する検出範囲限定手段を備える （もっと読む）

本願のマッピング方法は、形状が共通的特性を共有しつつ、パターン内のスポットの位置が無相関状態となるように、個々の位置及び個々の形状を有する複数のスポット（５２、５４、８０、８２）のパターンを物体（２８）上に投射する段階を含む。上記物体上のスポットの画像は、キャプチャされ、及び上記物体の三次元（３Ｄ）マップを導出するように処理される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物がノーマル検査モードではない場合、ベアボード情報を検索し、ベアボード情報がない供給業体で供給されたボードである場合、ベアボード学習を通じてボードのターゲット対象物の３次元形状を測定する方法に関する。
【解決手段】第１照明源の明るさを測定する段階と、位相を高さに変換したファクターを測定する段階と、ノーマル検査モードによるボードの３次元形状を測定する段階と、ベアボード情報がない場合にベアボード学習を実施する段階と、ベアボード情報があるか又はベアボード学習情報が発生されると学習検査モードによるボードのターゲット対象物の３次元形状を測定する段階と、３次元形状情報を用いてボードが正常か否かを分析する段階と、から構成され、ボードのターゲット対象物の３次元形状測定作業をより容易に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードのような通常の光源を用いることができる情報媒体を得ること。
【解決手段】トラックに識別マーク（２０）が設けられ、この識別マークは、光源から放射される中心波長（λ）の光、すなわち角度（Θ_i）で情報媒体（１０）に入射する当該光によって検出することができ、これらの識別マークから情報媒体（１０）のポジションを導き出すことができる。この際、前記識別マーク（２０）が、格子周期が（Λ）である少なくとも第１のパターン（２２）でパターン化された領域（２５）によって形成されており、これらの領域は、金属膜（４０）の下面（４０ｂ）および／または金属膜（４０）の表面（４０ａ）に配置されている。この際、第１のパターン（２２）の格子周期（Λ）が、数式Λ＝λ／（ｎ_P^★−ｓｉｎ（Θ_i））、またはΛ＝λ／（ｎ_P^★＋ｓｉｎ（Θ_i））を満足する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）

【課題】
格子パターンの繰り返しピッチを自在に変更することで多種の被測定対象に対応でき、、また、繰り返しピッチが異なる複数の格子パターンによるコントラストの検出結果を利用して、精度が高い距離検出が可能な三次元形状計測装置および三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】
液晶ストライプ格子の開口を制御して空間上での繰り返しパターンを形成でき、かつ繰り返しパターンの繰り返しピッチを変更できる制御部を備えた液晶装置１１と、液晶ストライプ格子を介して被測定対象に前記繰り返しパターンを投影する光源装置１２と、被測定対象上に投影された前記繰り返しパターンにかかる画像を取得する撮影装置１３と、撮影装置により撮影された画像のコントラスト値を検出し、基準位置から前記被測定対象までの距離を測定する距離測定装置１３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】投影リソグラフィで使用するための、投影システムの倍率を決めるための改良された方法を提供する。
【解決手段】投影システムにより投影された空間像を検知できるイメージセンサを有するリソグラフィ投影装置の投影システムの倍率を計測する方法であって、該方法が、二成分マーカの一成分の像を投影するステップであって、該二成分マーカはその二つの成分のプリント間のオーバーレイ誤差に対して感度を有するステップと投影された像における二成分マーカの該成分の位置をイメージセンサにより計測するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】手振れによる影響を低減する手持ち可能な３次元計測装置を提供する。
【解決手段】この３次元計測装置１は、測定すべき対象物体２に所定角度ずつ位相をずらした１組の縞パターンを投影する投影部４と、物体２上の１組の縞パターンの画像を撮影して各々の画素について１組の輝度値を得る撮影部５と、各々の画素について１組の輝度値から復元位相値を算出する位相復元手段６１、及び復元位相値から絶対位相値を求める位相接続手段６２、を有する画像処理部６と、を備えることによって物体２の表面形状を計測するものにおいて、投影部４は、１個の画像の撮影のために撮影部５が必要とする露光時間を複数回分割して得られるスライス時間ごとに１組の縞パターンの各々を順次切り換えて繰り返し投影し、撮影部５は、スライス時間ごとに１組の縞パターンの各々の画像を１組の受光素子５１、５２、５３に順次取り込んでそれを繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 駆動ベルトを位置エンコーダとして用いる方法および装置を開示する。
【解決手段】 位置制御装置は機構に接合されたベルトを備え、ベルトは機械可読位置指標を有し、機構を運搬する。位置制御方法は、機構を運搬するベルトから位置指標を読み取ることと、位置指標を用いて機構の位置を特定することとを含む。 （もっと読む）

【課題】光源と撮像センサとを含む光測定システムを使用して物体を検査する方法を提供すること。
【解決手段】光源（２２）および撮像センサ（２４）を含む光測定システム（１０）を使用して物体（１２）を検査する方法。この方法に、光源から光を発することと、光源から発した光を回折パターンと干渉パターンとのうちの１つに分散させることと、レンズ（３８）を使用してパターン付きの光を物体上に撮像することとが含まれる。 （もっと読む）

本発明は、２つの座標系の間の相対的な空間パラメータを決定するシステム及び方法を特徴としており、この２つの座標系は、モールドと、パターンを生成するようにモールドが利用される基板の領域であってよい。このために、複数のポイントにおける２つの座標系の間の相対的なアライメントを検知し、それらの間の相対的な空間パラメータを決定する。相対的な空間パラメータは、相対的なエリアと相対的な形状を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 被測定物による影を安価に低減させることができるとともに、測定の精度の向上を可能にした格子パターン投影法による３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 光源装置８からの光が照射される格子パターン６０４を有する光学変調素子６０５により形成される格子パターン像を標本３に対し所定角度傾けて投影するとともに、投影角度切換え部６１５により格子パターン像の傾き角度を変更可能にした。 （もっと読む）

本発明は、物体（２）の運動を検出するシステム（１）に係る。当該システムは、物体に対して結合される第１の細長い格子ストリップ（４）、及び、第１の細長い格子ストリップに交差する、別個の実質的に固定された第２の細長い格子ストリップ（５）を有する。当該システムは更に、物体の運動を検出するよう、第１及び第２の細長い格子ストリップにおいて回折される１つ又はそれより多い光ビームを受けるよう配置される光学検出手段（６）を有する。本発明は更に、物体（２）の運動を検出する方法、及び物体加工又は検査システムに係る。
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【課題】 小型軽量に構成し、かつ、レンズの移動距離を正確に検出できる機構を備えたカメラモジュールとそのカメラモジュールを備えた携帯端末を提供することが課題である。
【解決手段】 レンズ保持部１０に駆動側軸部材２１とガイド軸部材２２とを挿通し、レンズ保持部１０を光軸方向に移動可能に構成したカメラモジュール２０において、モアレ縞でレンズ保持部１０の移動量を検出する検出部を設け、その検出部を、検出部と駆動側軸部材２１までの距離がガイド軸部材２２までの距離より小である位置に設置し、かつ、カメラモジュール本体側スケール部材２の収容部周辺の少なくとも一部を、レンズ保持部側スケール部材１側に突出させて、レンズ保持部側スケール部材１が当接してスケール部材同士の間隔を一定とできるようにする間隔設定手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】平滑平面状に形成された被検面の形状測定を実施するために、結像系の光軸と照明系の光軸とが、基準格子の格子面の法線に対して互いに略対称となるように配置される場合でも、コントラストの高い等高線モアレ縞を得ることができるようにする。
【解決手段】基準格子１に照射された照明光が格子面１１で反射されて生じる回折光の、結像系３内において集光する位置に、遮光手段３３を配置する。基準格子１に照明光が照射された際に格子面１１で反射されて生じる回折光のうち、０次や±１次等の比較的強度の大きい回折光が平行光束として結像系３内に入射し、結像系３内の所定の位置に集光する。遮光手段３３は、この集光位置に配されており、結像系３内に入射した回折光が撮像面３４へ入射することを抑制するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】視覚的に明白な３次元スポーツシーンが映し出されるディスプレイ面を有する飛翔体追跡装置を提供する。
【解決手段】ディスプレイ面に向けて飛翔体追跡領域を移動する発射後の飛翔体を検出するために該飛翔体追跡領域の画像をとらえる。飛翔体追跡領域を移動する飛翔体の３次元位置、速度、加速度及び回転を決定するためにカメラ装置から受信したデータに反応する。３次元位置、速度、加速度及び回転は、３次元スポーツシーン中に飛翔体の軌道を算出するために該処理ステージによって使用される。算出された軌道に追随する３次元スポーツシーンに飛翔体のシミュレーションを含む更新された画像データが、少なくとも1つの処理ステージにより生成する。該処理ステージと連結した投影ユニットは、該処理ステージから画像データを受信し、ディスプレイ面にシミュレーションを含む３次元スポーツシーンを映し出す。 （もっと読む）

本発明は、物体２の表面部１の表面トポロジを再構成する方法に関する。表面プロファイルの勾配を表す測定値（勾配値）を取得する方法又は干渉法のような従来の方法は、ウエハのような広く平坦な物体の場合、限定された高さ解像度しか示さない。この問題を解消するために、物体の表面部がより小さな領域に細分化され、各々の領域から最適な装置パラメータで勾配値が得られる。それから、領域はともにつなぎ合わされ、３Ｄトポグラフィが再構成される。
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【課題】温度特性の良い反射型光ギャップセンサを実現する。
【解決手段】発光ダイオード１からの射出光は、第１格子１１で等ピッチの線状光線に変換され、反射面５を照射する。反射面５からの反射光は、第２格子１２で制限され、第３格子上１３に像を形成する。検出部６と反射面５間のギャップが変化すると像ピッチが変化する。第３格子１３を通して像ピッチの変化に伴う位相変化を検出する。 （もっと読む）