【課題】測定システムにおける非理想性の作用に対する補償をサポートするために、較正の方法を提供すること。
【解決手段】一実施例による較正の方法は、テーブルを複数の露光位置に移動するステップを含む。各位置で、測定システムの第１の部分が、平面内の２つの直交軸のそれぞれに沿ってテーブルの位置を測定し、マークが基板上に露光される。各マークについて、また、基板の２つの異なる向きについて、測定システムの第２の部分が、マークに対応するテーブルの測定位置を測定する。測定された位置に基づいて、直交軸の双方に沿った位置の関数として、直交軸の１つに沿った測定システムの位置測定誤差の特徴付けが得られる。 （もっと読む）

【課題】従来のシステムより計測点数が多く、リアルタイムな計測ができる光ファイバセンシングシステムを提供する
【解決手段】光源と、受光部と、歪みを受け屈曲すると透過光が減衰する光ファイバセンサとを備えた光ファイバセンシングシステムにおいて、前記光ファイバの両端にそれぞれ異なる波長帯域の光を透過または反射する光学フィルタを備え、これら光学フィルタの透過光または反射光の光量の差分を光ファイバに掛かる歪み量として計測する。 （もっと読む）

【課題】 温度補正の精度が高いＦＢＧセンサ用光ケーブルを提供する。
【解決手段】 測定対象物に沿って布設されるセンサ用光ファイバ４２に、測定対象物の変位を検出するためのセンサ用ＦＢＧ４４を書き込んだＦＢＧセンサ用光ケーブル１において、センサ用光ファイバ４２に沿って温度補正用光ファイバ２を設け、その温度補正用光ファイバ２に、センサ用ＦＢＧ４４を温度補正するための温度補正用ＦＢＧ３を、センサ用ＦＢＧ４４と同じ位置に書き込んだものである。 （もっと読む）

光ファイバブラッグ格子ＦＢＧセンサが各固定体に回転可能に設けられた回転軸により支持される回転体に設けられる。ＦＢＧセンサは回転軸に沿って延長され、一端は回転軸の一端の中心に配置される。光ファイバが固定体に設けられ、一端がＦＢＧセンサから離れてＦＢＧセンサの端部と対向するように配置される。多波長の光源から放射された光は光ファイバを通じて光ファイバとＦＢＧセンサ間の間隙を横切ってＦＢＧセンサに伝達される。ＦＢＧセンサは回転体の変形に対応する周波数の光を反射する。データ処理ユニットが反射された光を受けて、それに基づいて回転体の変形を算出する。
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第１に、光ファイバを備える鉄道監視システムである。光ファイバの第１の部分は、レールの軌道の組の１つに取り付け可能であり、ファイバの第１の部分の特徴は、ファイバの第１の部分が取り付けられる前述の１つの軌道の特性の変化に応じて可変である点である。システムはまた、光信号をファイバの中に放射するためのファイバに接続された光信号放射器を含み、ファイバは少なくとも第１の変更された光信号を生成し、この信号はファイバの一部の特性の変化に関係する情報を含む。システムは更に、第１変更された光信号に含まれる情報に基づいた、１つの軌道の特性の変化を確認するために、ファイバに接続されて第１の変更された光信号を受信して解析するための光信号アナライザを含む。
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特定の形状からの物体３、１１、１６、１８、２２、２６の形状の逸脱を示す装置が記載される。装置は、放射の入射ビーム４を物体に向ける放射手段、および前記物体による透過または前記物体からの反射の後の最終ビームを検査する検査手段５を備える。装置は、物体が特定の形状を有する場合、最終ビームが実質的に平面波面を有するように構成され、検査手段５が、平面性からの最終ビームの波面のいかなる逸脱をも判定するように構成される。一実施形態において、検査手段は、たとえば回折格子６またはホログラムなどのビーム分割手段、およびＣＣＤカメラ８などの検出器手段を備える。ビーム分割手段は、次に最終ビームを２つ以上のビームに分割し、２つ以上のビームを検出手段で横方向に変位された位置に向けるように構成される。
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【課題】 イン・ラインの測定および制御ツール、テスト・パターンおよび評価方法を含む統合された測定システムを提供する。
【解決手段】 基板上で寸法を測定するための方法を記載する。ターゲット・パターンは、主周期ピッチＰで反復する公称特徴寸法を備え、主方向に直交する所定の変動を有する。基板上に形成されたターゲット・パターンは、少なくとも１つの非ゼロ次回折が検出されるように照射する。公称寸法に対する転写された特徴寸法の変動に対する非ゼロ次回折の応答を用いて、基板上で限界寸法またはオーバーレイ等の対象の寸法を求める。本発明の方法を実行するための装置は、照射源と、非ゼロ次回折を検出するための検出器と、ターゲットからの１つ以上の非ゼロ次回折を検出器において検出するようにターゲットに対して照射源を位置付けるための手段と、を含む。 （もっと読む）

位相感知分光的符号化撮像を使用する、三次元表面測定値を得るための方法および装置が記述される。横方向および深度の両者についての情報は、単一モード光ファイバを介して送信され、本手法を小型プローブへの組み込むことが可能となる。
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この発明は、測定対象（１２；１５；１８）の特性を光学的に測定するための測定装置（６）に関し、この測定装置は、ある有効光学空洞長さを有する空洞（７）を形成する、第１および第２反射端（１、２）を有する主共振器（１１）、この第１および第２反射端（１、２）の間の光ビーム経路に沿って進む光を発生するための光学ゲイン素子（３）、並びにこの光学ゲイン素子（３）とこの第２反射端（２）の間のこの光ビーム経路に沿って配置してある分散集束共振器素子（５）を含み、それでこの測定対象が少なくとも部分的にこの主共振器（１１）のこの光ビーム経路内にあるように配置してあり、およびそれでこの測定装置（６）が更にこの主共振器から出た光の特性を検出するための検出手段（８）を含み、この検出した特性の値がこの測定対象の特性の尺度である。
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材料の中の歪みの測定のための装置。この装置は、受動的な光ファイバのリングと、予め決められて形状をもち、前記のリングと一列に配置され、基板に組み合わされる、少なくとも１つのセンサと、(i)放射源により放出された放射の一部を前記の受動的な光ファイバのリングの中に導入し、そして、(ii)受動的な光ファイバのリングにおいて共鳴する放射の一部を受け取る、結合手段と、結合手段により受け取られた放射のレベルを検出し、それに対応した信号を生成する検出器と、検出器に結合され、受動的な光ファイバのリングにおける放射の減衰の割合に基づいて、基板に誘起された歪みのレベルを決定するプロセッサとからなる。
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基板及び被覆膜を有するオブジェクト及びフォトリソグラフィ装置の一部分の互いに対する位置を決める装置は、フォトリソグラフィ・システムと、ポジショナーと、光学システムと、プロセッサと、を備える。フォトリソグラフィ・システムは、オブジェクトの一部分を第１光パターンで照射するように構成され、かつ基準表面を含む。ポジショナーは、フォトリソグラフィ・システムとオブジェクトとの間の相対位置を変えることができる。光投影装置は、第２光パターンをオブジェクトの被覆薄膜に投影するように構成されている。光学システムは、基板によって拡散散乱される第２光パターンの光を撮像する。プロセッサは、オブジェクトの空間特性を拡散散乱光に基づいて求め、かつポジショナーを動作させてフォトリソグラフィ・システムとオブジェクトとの間の相対位置を変えさせるように構成されている。
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【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】 シェアリング干渉計測において処理領域を高速に設定する方法を提供する。
【解決手段】 レンズから出射された光を回折し干渉させてシェアリング干渉像を得る。次に、回折光の位相を変化させ、位相変化により時間的に強度変化する複数の画像データ（座標、強度）を記憶装置に取り込む。また、複数の画像データにおいて、各画素における強度データの変化の大きさ（強度変化量）を算出する。そして、画像データ領域の略中央を通ってシェアリング軸と平行な線分と、シェアリング軸と直交する線分とによって、画像データの領域を４つの小領域に分割する。最後に、各小領域において、シェアリング軸に平行な複数ラインを設け、強度変化量があるしきい値を越える画素がただ一つであるラインエッジ点を決定する。 （もっと読む）