【課題】測定対象物の移動機構を使用せずに高さ方向のダイナミックレンジを拡大可能とする。
【解決手段】本発明の干渉測定装置は、可干渉距離が有限の光束を生成する生成手段（９、２０）と、光束を２つの光束に分岐し、それら２つの光束の一方を測定対象面（２５ａ）へ照射すると共に他方を参照面（２４ａ）へ照射する分岐手段（２２）と、測定対象面を経由した測定光束と参照面を経由した参照光束とを同一光路に統合して統合光束を生成する統合手段（２２、２１）と、分岐手段により分岐される光束の可干渉距離を走査する走査手段（２０）と、可干渉距離の走査位置と統合光束の強度との関係を示す関係情報を取得する測定手段（２７、３０）と、関係情報に基づき、測定光束と参照光束とが干渉する走査範囲と、測定光束と参照光束とが干渉しない走査範囲との境界を、測定対象面の高さ情報として取得する演算手段（３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 物体の変位量を高精度に測定可能な変位測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の一側面としての変位測定装置は、格子パターン６が形成されたスケール７と、スケール７に光を照射する光源と、スケール７の格子パターン６で回折された光を受光する受光素子と、を備える。格子パターン６の形状は、その格子パターン６の格子方向Ｙに一定の周期で変化している。受光素子は、格子パターン６上の、格子方向Ｙにその周期の自然数倍の長さを有する領域１００で回折された光を受光する。 （もっと読む）

【課題】 エンコーダシステムを用いた位置計測装置において、計測誤差による影響を低減させることを目的とする。
【解決手段】 対象物を搭載して移動可能な移動体と、前記移動体の位置を計測可能なエンコーダ型の第１の計測手段と、前記第１の計測手段による計測と同時に、前記移動体の位置を計測可能、あるいは前記対象物または前記移動体に形成されたマークの位置を検出可能な第２の計測手段と、前記第１および第２の計測手段の計測結果にもとづいて、前記第１の計測手段の計測誤差を算出し、該計測誤差にもとづいて前記第１の計測手段を補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源６１からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段６２と、コリメーションレンズ６３によって平行光に形成された光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段６４と、第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光をチャックテーブル３６に保持された被加工物Ｗに導く対物レンズ６５と、集光レンズ６６と、第４の経路に導かれた平行光を反射して第４の経路に反射光を逆行せしめる反射ミラー６７と、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子６９と、回折格子６９によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサー７１とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 高精度に物体の変位量を測定可能な変位測定装置を提供することを目的とすること。また、特にそれを具備した露光装置、及び精密加工機器を提供すること。
【解決手段】 変位測定装置２００は、格子パターン４が形成されたスケール５と、スケール５に光を照射する光源１と、光源１からの複数の回折光のそれぞれを円偏光に変換する波長板６と、波長板６を透過した複数の回折光を重ね合わせて干渉させる光学素子７と、干渉させた光を受光する受光素子１０とを備える。そして、波長板６に入射する複数の回折光が互いに偏光方向の等しい直線偏光になるように、光源１からの光を直線偏光に変換する直線偏光生成手段５０を備える。 （もっと読む）

【課題】高輝度パルス光源構成を提供する。
【解決手段】高輝度光源構成は、長寿命を有し高速度で変調することができる。本構成は、アクチュエータに取り付けられた可動部材と、可動部材に関連する発光蛍光体領域と、放射光出射領域に対し固定された点において発光蛍光体領域を照射する入射光源と、可動部材アクチュエータと入射光源を制御する光源制御装置と、を含む。入射光源（例えばレーザー）は照射スポットに高輝度入射光を供給し、発光蛍光体領域に高輝度出射光を放射させる。発光蛍光体領域は消光と光退色を低減するように照射スポットに対して動かされ、これにより光源構成の寿命を延ばす。蛍光体領域は広帯域光を放射することができる、および／またはそれぞれのピーク波長を放射する蛍光体を有するそれぞれのサブ領域を含むことができる。 （もっと読む）

特定の距離または奥行き状況での使用に合わせた構造化光のパターンを投影することが可能な測距機器。場面内の検出された光点は、たとえばスマートフォンまたはＰＤＡとのインターフェースとしての、単純で低コストのジェスチャ認識システムを提供するために、所定のパターンテンプレートと比較されることが可能である。構造化光発生器は、タイミング制御にしたがって自動的に、または照射された場面からの検知情報に応じて適応的に、前記第一および第二構造化パターンの間を前後に切り替わるようになっていてもよい。あるいは、構造化光発生器は、第一および第二パターンを同時に投影するようになっていてもよい。個別の光発生器が異なるパターン向けに採用されてもよく、あるいは部品が共有されてもよい。
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【課題】三次元の物体の画像を生成する三次元撮像装置を提供する。
【解決手段】３Ｄ撮像装置１０１は、２組１０３ａ，１０３ｂの反射素子１０５と、撮像素子１０７と、プロセッサとを有する。撮像素子１０７は、物体１１１から発せられ、かつ２組１０３ａ，１０３ｂの反射素子１０５のそれぞれから反射された光線を用いて、２つの画像を取得する。プロセッサは、取得した画像のそれぞれにおける複数組のマッチングポイントを特定するように構成される。マッチングポイントの各組は、物体１１１の対応する単一の要素により発せられた個々の光線により生じたものである。また、プロセッサは、取得した画像のそれぞれにおける複数組のマッチングポイントの各組ごとに、物体１１１の対応する要素の位置を決定するように構成される。したがって、プロセッサは、物体１１１の複数の要素の決定された位置を用いて、物体１１１の３次元画像を生成することができる。 （もっと読む）

露光装置は、第1方向に延在するカ゛イト゛部材を有し、第1駆動装置の駆動により第1方向と略直交する第2方向に移動する第1移動体と、カ゛イト゛部材に沿って第1方向に独立して移動自在に設けられ、第1移動体の移動によりカ゛イト゛部材とともに第2方向に移動する一対の第2移動体(WCS)と、物体(W)を保持するとともに、一対の第2移動体により、少なくとも第1方向、前記第2方向を含むとともに光学系の直下の第1位置を含む二次元平面内で移動自在に支持される保持部材(WFS)と、一対の第2移動体に対して第2方向に沿って隣接して配置され、第1駆動装置の少なくとも一部を共用する第2駆動装置の駆動により、一対の第2移動体に支持された保持部材とともに第2方向側の端部で近接又は接触した状態を維持して第2方向に平行な方向に移動して、保持部材上の物体と光学系との間に液体が保持される第1の状態から、光学系との間で液体を保持する第2の状態に遷移させる液体保持部材(MST)と、を有する。
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【課題】高度な技術や、高価なレーザ光源を要することなく、干渉縞感度を変更することができる斜入射干渉計の提供。
【解決手段】斜入射干渉計１は、レーザ光源２と、第１回折格子３と、第２回折格子４とを備える。レーザ光源２は、出射するレーザ光の波長を変更できる波長可変レーザ光源で構成されている。第１回折格子３は、レーザ光源２から出射されるレーザ光を参照光、及び測定光に分離するとともに、測定光を被測定面Ｗに対して斜めに出射する機能を有している。第２回折格子４は、第１回折格子３にて分離される参照光、及び被測定面Ｗにて反射される測定光を合成して干渉光とする機能を有している。 （もっと読む）

【課題】代替のエンコーダタイプの位置測定システムを提供する。
【解決手段】他のオブジェクトに対する可動オブジェクトの位置を測定する位置測定システムが、可動オブジェクト及び他のオブジェクトのうちの一方に取り付けられ、それぞれが測定方向に沿って測定ビームを放出することができる２つ以上の一次元（１Ｄ）エンコーダヘッドと、可動オブジェクト及び他のオブジェクトのうちの他方に取り付けられ、それぞれの基準ターゲットが２つ以上の一次元（１Ｄ）エンコーダヘッドと協働するグリッド又は回折格子を有する平面を含む１つ又は複数の基準ターゲットと、２つ以上の１Ｄエンコーダヘッドの出力に基づいてオブジェクトの位置を計算するプロセッサとを含み、２つ以上の１Ｄエンコーダヘッドそれぞれの測定方向は、それぞれの基準ターゲットの平面に対して非垂直である。 （もっと読む）

駆動系により、アーム部材（７１）から移動体（ＷＦＳ）のＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティング（ＲＧ）に対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材（７１）の形状変化を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。駆動系は、第１計測系の計測結果に含まれるアーム部材の形状変化に起因する計測誤差を、第２計測系の計測結果を用いて補正する。
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【課題】測定精度が可動物体の動作によって実質的にほとんど影響されない、可動物体の位置依存信号を測定するように構成された好ましくはエンコーダ型高精度測定システムを提供する。
【解決手段】エンコーダ型測定システムは可動物体の位置依存信号を測定するように構成され、可動物体の上に取付け可能な少なくとも１つのセンサと、実質的に静止したフレームの上に取付け可能なセンサターゲットと、実質的に静止したフレームの上にセンサターゲットを取付けるように構成された取付けデバイスとを含む。実質的に静止したフレームに対するセンサターゲット物体の移動および／または変形を補償するように構成された補償デバイスをさらに含む。補償デバイスは受動型または能動型制振デバイスおよび／またはフィードバック位置制御システムを含むことができる。代替の実施形態において、補償デバイスは、センサターゲット物体の位置を固定する把持デバイスを含む。 （もっと読む）

薄膜の厚さに関するデータ（例えば、厚さ変化）は、以下の通りに本願明細書において決定される。前記膜および基板が、全体において、干渉計構造を形成するように、前記膜は基板上に配置される。その光放射線が膜および基板によって形成される干渉計構造の方へ発されて、前記干渉計構造から光学的に反射された後、放射線は測定される。前記薄膜の厚さ関連のデータ（例えば、厚さ変化）は、その後、スペクトル関連の情報の中で、例えば、前記光学的に反射された放射線によって決定される。 （もっと読む）

【課題】溶接部などの局所的な歪を近傍域内で測定するのに適した態様でＦＢＧ形成済み光ファイバを組み込む。
【解決手段】周面が形成された巻付部材１１と、周面が形成された巻付部材１２と、両巻付部材１１，１２の各周面に巻き付けられており両巻付部材間に張られた部分にＦＢＧ５ａが形成されている光ファイバ５と、被測定物の歪発生部３の両側に分かれて固設され一方側１で巻付部材１１を支持し他方側２で巻付部材１２を支持する支持部１３〜１５とを備える。光ファイバ５の巻き方は巻付部材１１，１２で逆巻きにする。 （もっと読む）

本発明は、重複する撮影領域を有する２つのカメラ（１ａ、１ｂ）を用いて対象物の三次元画像を撮影するための方法に関し、較正プロセスの過程において、前記各カメラ（１ａ、１ｂ）に対してそれぞれ、相互に属するエピポーラ線群を求める。予め設定されたランダム画像（４０）を、撮影されるべき対象物（３０）上に投影する。カメラの各ピクセルに対して、第１の周辺区域（１３ａ）を特定し、属する第１のエピポーラ線（９ａ）を特定し、当該第１のエピポーラ線（９ａ）に対して、第２のカメラ（１ｂ）の対応する第２のエピポーラ線（９ｂ）を特定する。前記第２のエピポーラ線（９ｂ）上に位置する、前記第２のカメラ（１ｂ）の画像の全ピクセル（８ｂ）に対して、第１の周辺区域に対して合同の第２の周辺区域（１３ｂ）を特定する。第１のおよび第２の周辺区域（１３ａ、１３ｂ）の強度値を相互に比較し、一致度を形成する。一致度が最大である、第２のエピポーラ線（９ｂ）上の画像位置（１４）を特定する。事前に特定されている変換によって空間位置（１７）を特定する。三次元画像は、このようにして求められた空間位置（１７）を含む。
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【課題】ウエハを保持するステージを高精度で駆動する。
【解決手段】 微動ステージＷＦＳ１と微動ステージＷＦＳ１を支持する粗動ステージＷＣＳ１とにより囲まれる空間内に位置決めされる計測アーム７１Ａがエンコーダヘッドを有し、該ヘッドにより微動ステージＷＦＳ１に設けられたグレーティングＲＧに計測ビームを照射し、グレーティングＲＧからの戻りビームを受光する。ヘッドの出力に基づいて、微動ステージ位置計測系が微動ステージＷＦＳ１の位置情報を計測する。計測アーム位置計測系７２Ａ_０が、計測アーム７１Ａの光軸ＡＸに対する相対位置情報を計測する。従って、微動ステージ位置計測系と計測アーム位置計測系７２Ａ_０との計測結果に基づいて、光軸ＡＸを基準とする微動ステージＷＦＳ１の位置情報を高精度で計測する。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】 三次元干渉顕微鏡観察を提供する。
【解決手段】 サンプル内にあるスイッチャブル光源のうち統計的に散在するサブセットが活性化され、活性化されたスイッチャブル光源が励起され、それにより、光ビームが、少なくとも２つの光路に沿って、活性化されたスイッチャブル光源から放出される。活性化されたスイッチャブル光源から第１の光路に沿って放出される第１の光ビームでの第１の波面修正が導入され、活性化されたスイッチャブル光源から第２の光路に沿って放出される第２の光ビームでの第２の波面修正が導入され、第２の波面修正が、第１の波面修正とは異なる。第１および第２の光ビームが、互いに干渉されて、複数の出力ビームを生成し、光源の三次元位置情報が、複数の出力ビームからの各出力ビームの強度に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】オブジェクト表面上のポイントの三次元位置情報を測定する好適な装置および方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態において、上記方法は、スペクトル分布を有する２つの放射ソースを提供する工程と、上記ソースの各々で上記表面を照射して第１の縞パターンを生成する工程と、上記第１の縞パターンを第２の位置に移動させる工程と、第１のラップされたサイクルマップを生成する工程と、該第１の縞パターン中の縞数を推定する工程と、該第１の縞パターンを変化させる工程と、該第２の縞パターンを第２の位置に移動させる工程と、第２のラップされたサイクルマップを生成する工程と、該第２の縞パターン中の縞数を推定する工程と、上記第２の縞パターンおよび上記第２のラップされたサイクルマップ中の推定された縞数に応答して位置情報を判定する工程とを含む。 （もっと読む）