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Fターム[2F065LL42]の内容

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【課題】1本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのFBGセンサを計測可能なFBGセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ4と、広帯域波長光源9と、この光源からの光のうち、光ファイバ4に入射する光の時間を制御する光源側光変調器10と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ4の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器12と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ4からの信号を分離する波長移動量算出器14と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器15と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部16とを有する。 (もっと読む)


【課題】3次元形状の測定精度をより改善できる3次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の3次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第1方向にN回入射した後、測定対象物に格子イメージを第2方向にN’回入射する投影部と(N及びN’は2以上の自然数)、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第1方向反射イメージ及び第2方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の3次元状態を算出する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】所望位置へ簡単に配置でき安価に実施できるうえ、コンクリート構造物の歪や温度等を簡単に且つ正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(1)は、光ファイバ(2)と、その周囲に配置された連続繊維(3)と、連続繊維(3)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(2)は、長さ方向の中間部が、連続繊維(3)で製紐された紐体(5)により被覆してある。光ファイバ(2)には、紐体(5)で覆われた部位に1又は複数のFBG(9)が形成してある。光ファイバ(2)の端部をコンクリート構造物(14)の表面に取り出した状態で、コンクリート構造物(14)の内部に、光ファイバセンサ(1)の中間部を一体的に埋設する。取り出された光ファイバ(2)の端部に測定器(15)を接続して、コンクリート構造物(14)の歪や温度を測定する。 (もっと読む)


【課題】複数の検出用導光部材に光を好適に分配し得る光学式センサを提供する。
【解決手段】光学式センサは、光源10と、光源10に光学的に結合された光ファイバー20と、光ファイバー束40と、光ファイバー20から光ファイバー束40に光を分配する光分配部30と、光ファイバー束40によって導光された光を分離して検出する光分離検出器50を有している。光ファイバー束40は、複数の光ファイバー41A,41B,41C,41D,41E,41Fを有している。光ファイバー41A〜41Fは、それぞれ、物理化学状態に応じて光学特性が変化する特性検出部42A,42B,42C,42D,42E,42Fを有している。 (もっと読む)


【課題】所望位置へ簡単に配設でき安価に実施できるうえ、配管など被測定物の歪や温度等を長期にわたって正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(1)は、光ファイバ(2)と、その周囲に配置された連続繊維(3)と、連続繊維(3)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(2)は、中間部を連続繊維(3)で製紐された筒状の紐体(5)内に収容してある。紐体(5)の内周長は光ファイバ(2)の外周長よりも長く、一部が光ファイバ(2)の外周面に当接され、残部が紐体(5)の内周面同士で互いに当接してある。紐体(5)の外周面に、紐体(5)の長さ方向に延びた着座面(16)が形成してある。着座面(16)を被測定物(14)の表面へ当接した状態で、固定部材(17)で光ファイバセンサ(1)を被測定物(14)側へ押圧して固定する。光ファイバ(2)の端部に測定器(15)を接続して、被測定物(14)の歪や温度を測定する。 (もっと読む)


【課題】回折格子を用いて計測を行う際に、相対位置を予め定められた相対位置からの絶対位置として容易に計測する。
【解決手段】エンコーダ10Xは、第1部材6に設けられ、格子パターン12Xa及び基準パターン13XAが形成された回折格子12Xと、計測光MX1,MX2を供給するレーザ光源16と、第2部材7に設けられ、計測光MX1,MX2を格子パターン面12Xbにθy方向(X方向)に対称な角度で傾斜させて入射させる傾斜ミラー32X,34Xと、計測光MX1,MX2の回折格子12Xによる回折光DX2,EX2を受光する光電センサ40XA,40XBと、を有する。 (もっと読む)


【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ37上の位相マスク32に光ファイバ31が保持されている。位相マスク32は、その一端32c側から他端32d側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子34を有しており、回折格子34を介して紫外線レーザビーム40を光ファイバ31に照射可能となっている。移動ステージ37の移動速度は、紫外線レーザビーム40の照射位置が位相マスク32の一端32c側から他端32d側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム40の照射中に移動ステージ37を移動させることにより、FBG10を有する光ファイバ1が製造される。 (もっと読む)


【課題】オンライン測定において安定した測定ができる干渉式膜厚計を提供する。
【解決手段】投受光プローブ5から照射される光の焦点位置であり、かつ投受光プローブ5に入射する光の焦点位置である共通焦点位置を所定範囲内で走査させる焦点位置走査部7が設けられている。演算部13は、投受光プローブ5が受光した光の分光スペクトルデータを取得する分光データ取得部15と、分光スペクトルデータに基づいてパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部17と、パワースペクトルのデータに基づいて測定対象膜23の膜厚を算出する膜厚算出部19と、分光スペクトルデータもしくはパワースペクトルのデータ又はそれらの両方にしきい値を設け、しきい値以上のデータを抽出するデータ抽出部21と、を備えている。膜厚算出部19はデータ抽出部21が抽出したデータに対応する膜厚データを出力する。 (もっと読む)


【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第1面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第2面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第1面と第2面とはほぼ平行である。 (もっと読む)


【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したFBGひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム10は、計測用FBG21が設けられた第1の光ファイバ11と基準波長反射用FBG22が設けられた第2の光ファイバ12とを備えており、第1の光ファイバ11と第2の光ファイバ12とは、被計測部Waに固定された計測用FBG21の反射光を、固定用治具部材Wbに固定された基準波長反射用FBG22に入射可能となるように接続されている。計測用FBG21と基準波長反射用FBG22とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Waと固定用治具部材Wbとは、同じ材料から形成されている。また、光源13は広帯域の光を計測用FBG21に入射し、計測機15は、基準波長反射用FBG22の反射光の総光量に基づいて被計測部Waのひずみ量を計測する。 (もっと読む)


【課題】リソグラフィ装置における改良型測定システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成できるパターニングデバイスを支持する支持体と、基板を支持する基板テーブルと、パターン付放射ビームを基板のターゲット部分上に投影する投影システムと、測定システムであって、測定放射ビームを提供する測定放射システムと、リフレクタ間で測定ビームの一部分を反射する少なくとも2つのリフレクタと、リフレクタの1つを通して伝送される測定ビームの少なくとも一部分の波長を検出するディテクタとを備える測定システムと、を含む。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第1光源、第2光源、第1検出器、第2検出器及び算出部を備える。第1光源は第1波長と第2波長との間で波長が走査された走査区間を含む第1光を生成する。第2光源は第3波長の第2光を生成する。第1検出器は第1光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第1干渉縞を検出する。第2検出器は第2光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第2干渉縞を検出する。第3波長は第1波長及び第2波長の合成波長より短い。算出部は第1時刻において第2干渉縞の位相のデータから第2干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第1時刻より後の走査区間における第1干渉縞の位相の変化に基づいて第1時刻以降における第2干渉縞の次数を算出し、該算出された第2干渉縞の次数を用いて第1時刻以降における被検面の形状を算出する。 (もっと読む)


【課題】FBGファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、FBGファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、FBGセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、FBGセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ヘッド部を大型化することなく、コントローラ部に対してヘッド部を交換することが可能なように互換性を持たせることができる光学計測装置を提供する。
【解決手段】本発明に従った光学計測装置では、計測対象物200に対して光を用いて計測を行ない、ヘッド部10と、コントローラ部20と、光ファイバ11と、記憶部40とを備えている。本発明に従った光学計測装置では、ヘッド部10とコントローラ部20とを光ファイバ11で接続する。記憶部40は、製造されるヘッド部10のそれぞれの個体に対して関係付けられ、コントローラ部20で行なう演算に必要な情報をヘッド部10の個体情報として記憶する。コントローラ部20は、コントローラ部20に対して物理的に独立して存在する記憶部40から個体情報を読出し、読出した個体情報を用いて演算を行なう。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、深度に関して解像度の良い、広い、三次元撮像方法の実現。
【解決手段】位相感知分光的符号化撮像を使用する、三次元表面測定値を得るための方法および装置が記述される。横方向および深度の両者についての情報は、単一モード光ファイバを介して送信され、本手法を小型プローブへの組み込むことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】複数のZヘッドを切り換えながら、移動体の高さと傾斜を継続的に計測することにより、移動体を高精度で駆動する。
【解決手段】制御装置は、テーブルWTBの±X端部に設置された反射面39Y1,39Y2上に位置する2つのZヘッドZsR,ZsLを用いて、テーブルWTBの高さと傾斜を計測する。テーブルWTBのXY位置に従って、使用するZヘッドをZsR,ZsLからZsR’,ZsL(あるいはZsR,ZsL’)に切り換える。制御装置は、切り換えの際、座標つなぎ法を適用して、新たに使用するZヘッドZsR’(あるいはZsL’)の初期値を設定する。これにより、テーブルのXY位置に応じて使用するZヘッドが逐次切り換えられるにもかかわらず、切り換えの前後でテーブルの高さと傾斜の計測結果が保存され、テーブルを高精度で駆動することが可能になる。 (もっと読む)


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