【課題】物体表面の反射特性に鏡面反射成分を含むことを必要とせず、物体表面までの距離の計測も必要とせずに面法線を計測する。
【解決手段】面法線計測システム１は、ガイドレールＲｘ，Ｒｙに沿って、互いに直行する平面内を移動して物体ＯＢＪに対する照明方向を変化させる照明装置３０と、物体ＯＢＪを撮影する撮影装置４０と、撮影装置４０によって撮影された画像に基づいて物体ＯＢＪの表面の面法線を計測する面法線計測装置１０とを備える。面法線計測装置１０は、物体ＯＢＪの画像を２値化し、画素ごとに、照明方向と明暗とが対応付けられた陰影ベクトルを作成し、予め形状が既知の参照物体について作成した参照陰影ベクトルと面法線とが対応付けられたデータベースを参照して、物体ＯＢＪの陰影ベクトルと最も類似する参照陰影ベクトルに対応付けられた面法線を、その画素における面法線と推定する。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】反射型サンプル基板上の欠陥の特性を、非破壊かつ高精度に評価可能な欠陥特性評価装置を提供する。
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板であるマスク基板１１上の被検欠陥１２に対して、実際の露光で利用する波長のコヒーレント光を、マスク基板１１上の被検欠陥と略同一のサイズに集光する集光光学系１０と、集光光学系１０により集光され、マスク基板１１上にコヒーレント光を照射する照射部１６と、照射部１６により照射された照射パタン領域１３ｂからの回折光を２次元的に受光する二次元検出器１３と、二次元検出器１３による受光結果である画像情報を記録する記録部１７と、記録部１７により記録された画像情報から、被検欠陥１２の反射振幅と位相分布を反復計算により導出する導出部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。
【解決手段】検出ユニット２０と信号ユニット３０を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット２０を測定標準１０に対して少なくとも１つの測定方向ｘに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット３０から検出ユニット２０の方向へ照射し、少なくとも１対の部分ビームを検出ユニット２０から信号ユニット３０の方向へ照射し、検出ユニット２０及び信号ユニット３０を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット３０と検出ユニット２０の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、光の波長による、計測対象物の変位を計測する精度の変動を抑えた共焦点計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置１００は、白色ＬＥＤ２１と、白色ＬＥＤ２１から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ１と、回折レンズ１より計測対象物２００側に配置され、回折レンズ１で色収差を生じさせた光を計測対象物２００に集光する対物レンズ２と、対物レンズ２で集光した光のうち、計測対象物２００において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ１の焦点距離は、回折レンズ１から対物レンズ２までの距離と、対物レンズ２の焦点距離との差より大きい。 （もっと読む）

【課題】２つの屈折率分布間の距離を、精度よく、非破壊で、高速に測定可能な光学的記録媒体、該光学的記録媒体の光学的測定方法及び光学的測定装置を実現する。
【解決手段】光を散乱させて測定・解析するための入射光波長の最小値をλとするとき、周囲と屈折率の異なる２つの光散乱体６０の距離が０．７λ以上１５λ以下であり、２つの光散乱体の全光線透過率または全光線反射率が５０％以上であり、散乱光強度の角度分布またはある角度での散乱光強度の波長分布を角度の正弦または１／波長を横軸としてフーリエ変換し、フーリエ変換後のピークの横軸を読み取ることで、２つの領域の距離を求める。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 対象物の高さを高精度かつ迅速に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 計測範囲内にある対象物の高さを計測する計測装置は、複数の波長を含む光を出射する光源と、軸上色収差を有する光学ユニットを含み、前記光源から出射された光を複数の光束に分割して、前記計測範囲を含むが異なる焦点範囲に前記複数の光束を前記光学ユニットによって集光させる第１光学系と、前記複数の光束について前記対象物の表面に焦点位置を有する波長を検出する検出部と、前記第１光学系と光路の一部を共有していて、前記第１光学系によって集光され前記対象物の表面で反射された前記複数の光束を前記検出部に導く第２光学系と、前記複数の光束から１つの光束を選択し、該選択された光束の前記検出部により検出された波長を用いて前記対象物の高さを算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
磁気ディスクの両面を同時に検査することを可能にして、検査のスループットを向上させる。
【解決手段】
磁気ディスクの表面の傷や欠陥を光学的に検出する表面側欠陥検出手段と、磁気ディスクの裏面の傷や欠陥を光学的に検出する裏面側欠陥検出手段とを備えた磁気ディスクの両面欠陥検査装置において、裏面側欠陥検出手段に光路切替え部を設けて、レーザ光源から発射されたレーザを反射してレーザの光路を磁気ディスクの裏面の方向に切替えるとともにフレネルレンズで集光された散乱光を反射して集光された散乱光の光路を第１の光電変換器の方向に切替えるようにして、磁気ディスクの裏面側の狭い空間でも光学的に欠陥を検出することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

統合された視覚及び表示システムは、表示面を通じて見るために表示画像を送信するように構成された表示画像形成層と、表示面の法線に対して狭い範囲の角度の、表示面上又は表示面の近くの１つ以上の物体からの反射を含む、赤外光を結像するように構成された結像検出器と、物体を照らすために赤外光を放射するように構成された視覚システムエミッターと、対向する上面及び／又は下面を有し、視覚システムエミッターから赤外光を受信し、上面及び下面からＴＩＲによって赤外光を導き、表示面の法線に対して狭い範囲の角度の外側の物体上へ赤外光を投影するように構成された、可視光及び赤外光を伝達可能な導光路とを具備する。
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【課題】測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０と投影レンズ２２とビームスプリッタ４０とを介して格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部８２とを有し、測定部８２が、焦点位置を変化させて撮像された２つの画像のコントラスト値を検出し、検出された２つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 非球面の面形状算出において、被検面の高周波成分まで高精度に算出する。
【解決手段】 非球面である被検面内を重なり領域をもつように複数の測定領域に分けて、被検面の形状を算出する基準となる参照面で反射する光と、測定領域で反射する光とによって生じる干渉光による干渉縞を受光部で受光し、各測定領域の形状を算出する工程と、算出された各測定領域の形状をつなぎ合わせて被検面の形状を算出する工程と、を有する形状算出方法において、各測定領域の形状を算出する工程は、測定される干渉縞の本数が最小となるように被検面と参照面との相対的な位置を調節する工程と、被検面の位置が調節された状態で、被検面と前光部とが共役の関係となるように受光部の位置を調節する工程と、受光部の位置が調節された状態で、干渉縞の位相分布を測定する工程と、測定した位相分布を用いて測定領域の形状を算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 より少ない数の基準原器を用いて計測誤差を較正し、高精度に被計測面の形状を計測する。
【解決手段】 被計測面からの光と参照光との干渉により被計測面形状を以下のように計測する。マークが設けられている基準原器について被計測面形状の回転対称成分データを取得する。
基準原器を計測対象として基準原器の光軸回りの回転角度を変えて複数回、基準原器の被計測面を計測する。回転角度毎の計測データを用いて基準原器の被計測面形状の回転非対称成分を算出し、回転対称成分と回転非対称成分とを回転角度毎の計測データから差し引いて計測装置による被計測面の法線方向の計測誤差を算出する。回転角度毎の計測データに含まれる前記マークの位置に関するデータを用いて計測装置による被計測面の接線方向の計測誤差を算出する。被計測物の被計測面を計測する。被計測物の被計測面の計測データを算出された各計測誤差を用いて較正する。 （もっと読む）

可視光干渉パターンの様々な使用が提供される。適した干渉パターンは、絞りのパターンからの回折により形成されるパターンである。本明細書中で開示される典型的な使用は、並進及び／又は角度位置決定システムなどの空間計測学に関連する。更なる使用は、光自体の特性の解析（例えば、電磁放射線の波長の決定）を含む。更なる他の使用は、光が通過する物質の１つ以上の特性（例えば屈折率）の解析を含む。干渉パターンの一部がＣＣＤチップなどの画素化された検出器で捕らえられ、捕らえられたパターンが計算されたパターンと比較される。最大値間の間隔の非常に正確な測定が可能であり、したがって、干渉パターン中における検出器の位置の非常に正確な測定を行なうことができる。
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【課題】光源の波長変動に関係なく、高い安定性で高精度に被測定面の変位を検出する。
【解決手段】光源１０２から射出された射出光Ｌは偏光ビームスプリッタ１０８等を介して第１の色消しレンズ１５０Ａに入射される。第１の色消しレンズ１５０Ａでは射出光Ｌの波長変動によって生じた焦点距離のずれが補正される。被測定面ＴＧで反射された反射光Ｌrは偏光ビームスプリッタ１０８等を介して第２の色消しレンズ１５０Ｂに入射される。第２の色消しレンズ１５０Ｂでは、射出光Ｌや反射光Ｌrの波長変動によって生じた焦点位置のずれが補正される。これにより、対物レンズを含む光路上のレンズによって生じる色収差を補正することができ、高い安定性かつ高精度に被測定面の変位を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面形状を全面に亘って迅速に測定でき、かつ、製造コストを抑制できる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】互いに異なる焦点Ｆ１〜Ｆ３を同一の光軸Ｌ上に形成するよう、複数の集光部２１を備えた第一集光素子２０と、複数の集光部２１によって得られる被測定物Ａの表面像の夫々を、光軸方向視で離間した位置に再結像させる第二集光素子３０と、第二集光素子３０による表面像の再結像位置に配置可能な受光素子４１と、受光素子４１からの出力に基づき、被測定物Ａの表面形状を判別する演算手段５０と、を備えた表面形状測定装置Ｘ。 （もっと読む）

【課題】検査対象の複数の検査部位の表面高さを共焦点法により一括して測定する際に、各検査部位からの反射光線の干渉を防止できる。
【解決手段】広帯域波長の光線を複数に分割する伝送手段２と、分割された各光線の波長を異ならせるように選択する第１波長選択手段３と、波長選択された各光線を各検査部位に集光し、反射光線を受光する送受信手段５と、各検査部位からの反射光線を集光させる集光手段７ａ、７ｂと、集光された各反射光線を通過させる開口手段８と、各反射光線の波長を選択して他との干渉を避ける第２波長選択手段１０と、波長選択後の各反射光線の光量を検出する光検出器１１と、共焦点の原理により、検査部位の位置が送受信手段の焦点と一致した場合に反射光線の集光径が最小となり、光量が最大となるため、検出光量が最大となる送受信手段の位置を表面高さとして、各検査部位の表面高さを求める表面高さ演算手段１２とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができると共に被検出物の検出時間を短縮できる光学デバイスを提供する。
【解決手段】一つの発光素子２、一つの二次元位置検出受光素子３およびＩＣ４を備えている。このように、上記発光素子２を一つだけ使用しており、小型化を図ることができると共に、被検出物の検出時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】基板保持機構および基板検査装置において、基板を円滑かつ確実に保持することができるようにする。
【解決手段】基板保持機構が、被保持物である薄板状のガラス基板Ｗが略一定の配置領域である基板受け部２０ａに供給されるホルダベース２０と、ホルダベース２０において配置領域の外側と外縁部との間で進退可能に設けられ、配置領域の外縁部に進出時にガラス基板Ｗを保持する複数の吸着ホルダ２１とを備える。 （もっと読む）