【課題】より広範囲かつ高速に対象を検出することが可能な対象検出装置および対象検出方法を提供する。
【解決手段】対象検出装置１０１は、検出対象の物性に応じて予め選択された複数の波長帯について、２次元画像を撮像するための撮像部１１と、２次元画像の各画素における物質を検出するための検出部１２とを備え、撮像部１１は、設定されたラインごとに２次元画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】小型化の３次元形状データ取得装置の光学測定ヘッドを提供する。
【解決手段】投射光学系および撮像光学系は、プリズム型偏光ビームスプリッタ１４と、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ１７と、プリズム型偏光ビームスプリッタ１４とワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ１７との間に配置される結像光学系１５とを有し、ＭＥＭＳ１３と撮像手段１６は、互いにプリズム型偏光ビームスプリッタ１４の偏光分離面を挟み互いに交差する方向に配置され、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ１７は、ＭＥＭＳ１３から出射され結像光学系１５を透過した光を透過し、ミラー１８により被測定物表面に投射され被測定物表面で反射された光は、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ１７の偏光分離面で結像光学系１５に向けて反射させる構成とし、ワイヤーグリッド偏光ビームスプリッタ１７の偏光分離面と、ミラー１８の反射面とは互いに非平行とした。 （もっと読む）

【課題】空気によって少なくとも部分的に吸収される光を使用するよう設計され、かつ、より能率的なパージングシステムを有する、光学ツールのための方法を開発する。
【解決手段】試験体の測定のための方法において、該試験体の反射率測定データおよび分光偏光解析データを測定する工程と、該反射率測定データから、該試験体上に形成された窒化酸化物ゲート誘電体の厚さを判定する工程と、該厚さおよび該分光偏光解析データから、窒化酸化物ゲート誘電体の屈折率を判定する工程と、該屈折率から、該窒化酸化物ゲート誘電体の窒素濃度を判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、数十ナノラジアン以下の微小角変位を測定可能な微小角変位測定方法と装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源１２と、レーザ光源１２からのレーザ光Ｌを収束又は発散させるレンズ１８と、レーザ光Ｌを分岐させる偏光ビームスプリッタ２０と１／４波長板２２を有する。測定対象面２４で反射したレーザ光Ｌが、臨界角直前の角度で臨界面２６ａに入射する臨界角プリズム２６を備える。臨界角プリズム２６の臨界面２６ａで反射したレーザ光Ｌが入射する一方の画像センサ３０と、臨界角プリズム２６の臨界面２６ａを透過したレーザ光Ｌが入射する他方の画像センサ３２とを備える。各画像センサ３０，３２の各画素の出力を基に、測定対象面２４の微小角変位を演算する微小角変位演算手段であるコンピュータ３４を備える。臨界角プリズム２６に入射するレーザ光Ｌを分割するビームスプリッタを設けても良い。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】内径の異なる種々の穴形状を精度良く測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定領域の少なくとも一部の面の法線方向とは異なる方向から前記被測定領域に照明光を照射することで被測定領域に帯状の照明領域を形成する照明系と、前記照明系による照射方向と前記帯状の照明領域における長手方向等を含む面からはずれた位置から照明領域の散乱光を受光する受光系と、受光系の受光結果に基づいて被検面の形状を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素基板又は炭化珪素基板に形成されたエピタキシャル層に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥を分類する検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む走査装置を用いて、炭化珪素基板の表面又はエピタキシャル層の表面を走査する。炭化珪素基板からの反射光はリニアイメージセンサ（２３）により受光され、その出力信号は信号処理装置（１１）に供給する。信号処理装置は、炭化珪素基板表面の微分干渉画像を形成する２次元画像生成手段（３２）を有する。基板表面の微分干渉画像は欠陥検出手段（３４）に供給されて欠陥が検出される。検出された欠陥の画像は、欠陥分類手段（３６）に供給され、欠陥画像の形状及び輝度分布に基づいて欠陥が分類される。欠陥分類手段は、特有の形状を有する欠陥像を識別する第１の分類手段（５０）と、点状の低輝度欠陥像や明暗輝度の欠陥像を識別する第２の分類手段（５１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Ｗを区画して得た各微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１毎の波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１の各々が干渉計１による測定時に被検体１３の球心Ｏに収束する光路を辿って被検面１３ａに入射した照明光（入射光）の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Ｗの微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１における波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１すなわち被検面１３ａからの反射光に相当する波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１毎に、これに対応する照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１つまり入射光の光路を突き止め、これら２つの光路すなわち波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１と照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１の交点位置Ｒ（１）〜Ｒ（Ｃ１）を求めて被検面１３ａの実面形状のデータとする。 （もっと読む）

【課題】エンコーダで位置を測定しつつ、移動体を所望の方向へ精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハテーブルＷＴＢのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６４の計測値とその計測時に干渉計１６，４３Ａ及び４３Ｂによって計測されるウエハテーブルＷＴＢの非計測方向（例えば、Ｚ、θｚ及びθｘ方向）の位置情報に応じた既知の補正情報とに基づいて、ウエハテーブルがＹ軸方向に駆動される。すなわち、非計測方向へのヘッドとスケールの相対変位に起因するエンコーダの計測誤差を補正する補正情報により補正されたエンコーダの計測値に基づいて移動体がＹ軸方向に駆動される。従って、ヘッドとスケールの間の計測したい方向（計測方向）以外の相対運動に影響を受けることなく、エンコーダで位置を計測しつつ、ウエハテーブル（移動体）を所望の方向へ精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】光パルスの検出タイミングにかかわらず、奥行き方向の空間分解能及び測定精度を向上可能である三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】色が規則的に経時変化する光パルスを生成するチャープ導入装置と、前記光パルスをワークに照射し切り出すことで該光パルスの反射光像を取得する反射光像取得部と、反射光像を分光し複数のカラーチャンネルでの各色情報を二次元位置毎に取得する色情報取得部とを備える。前記各色情報に対応する分光特性は、前記光パルスの波長範囲において少なくとも２つが交差する。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置の位置決めシステムは、位置決め放射線源１、第１検出器チャネルおよび第２検出器チャネルを有する検出システム、および検出システムと連絡する位置決定ユニットを有する。位置決定ユニットは、第１および第２検出器チャネルからの情報を組み合わせて処理し、組み合わせた情報に基づいて、第２オブジェクト上の基準位置に対する第１オブジェクト上の位置決めマークの位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成でターゲット面と垂直な成分を含む方向の変位量を測定することができる画像相関変位センサを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる画像相関変位センサは、照射光を出射する照射部１３０'と、ターゲット面３００で生成したスペックルフィールドを複数回に亘って撮像するために用いられ、ターゲット面近傍においてターゲット面の法線方向から傾斜した光線路Ａと、光線路Ｂ'と、光線路Ａ，Ｂ'の少なくとも一方を偏向する素子１１０'と、を有する撮像部２４０と、光線路Ａにおいて撮像することにより得られた複数画像と光線路Ｂ'において撮像することにより得られた複数画像とに基づいて、ターゲット面３００の法線成分を含む方向の変位を計算する処理部２００と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的大きなサイズの欠陥を高感度で検出できると共に、高さ又は深さの変化量が１ｎｍ又はそれ以下の微細な欠陥も検出できる検査装置を実現する。
【解決手段】照明光源１からの照明ビームを被検査基板２１に向けて投射する対物レンズ２０と、入射した照明ビームを、互いに干渉性を有する第１及び第２のサブビームに変換すると共に、基板の表面で反射したサブビーム同士を合成し、基板表面の高さ又は深さと関連する位相差情報を含む干渉ビームを出射させる微分干渉光学系１６と、出射した干渉ビームを受光する光検出手段２８と有する。微分干渉光学系のリターデーション量は、ｍを零又は正の整数とした場合に、第１と第２のサブビームとの間に（２ｍ＋１）π又はその近傍の位相差が形成されるように設定し、前記光検出手段から出力される出力信号のバックグランドの輝度レベルがほぼ零となる検査状態において基板表面を照明ビームにより走査する。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを出射する光出射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸での対象物ＯＢのＺ座標位置に応じて、対象物ＯＢの位置情報の検出精度を異ならせる。 （もっと読む）