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Fターム[2F065LL49]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 光学系 (17,149) | 拡散板 (195)

Fターム[2F065LL49]に分類される特許

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【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。 (もっと読む)


【課題】立体構造を有する物体の厚み分布を、短時間に、かつ容易に測定する。
【解決手段】厚み測定方法は、測定対象物6に光を照射する光照射工程(S1)と、測定対象物6に照射された光が、測定対象物6を透過しているときに、測定対象物6への光の照射方向とは異なる所定の方向から、測定対象物6を撮像する撮像工程(S2)と、その撮像画像に基づいて、測定対象物6の厚み分布を測定する測定工程(S3)と、を含む。 (もっと読む)


【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板212は、レーザ光源231から出射され、ワーク102の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ233は、拡散反射板212により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク102の加工面で反射された第1の反射光、レーザ光源231から出射されたプローブ光がワーク102の加工面で拡散反射された第2の反射光を受光する。信号処理部234は、第1の反射光によりプローブ光がワーク102の加工面を介して拡散反射板212に入射するまでの第1の距離を検出するか、または、第2の反射光によりプローブ光がワーク102の加工面に入射するまでの第2の距離を検出する。 (もっと読む)


【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ100の表面の欠陥を検査する表面検査装置300と、この表面検査装置300に対するウェハ100の搬送路に設けたウェハステージ210と、このウェハステージ210上のウェハ100のエッジ部を検査するエッジ検査部530と、このエッジ検査部530を当該エッジ検査部530の光軸に沿って移動させる移動装置650とを備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 半導体チップの尖端バンプの高さを測定する。
【解決手段】 尖端バンプを含む複数の半導体チップが形成された半導体ウェハ21の上方に面照射装置33が配置されて、面照射装置33が半導体ウェハ21の上面に光を照射する。一対の撮像装置34,35が、半導体ウェハの斜め上方に配置されて、半導体ウェハ21上の尖端バンプを含む半導体チップを斜め上方から撮像する。コンピュータ36は、一対の撮像装置34,35によって撮像された一対の画像に基づいて尖端バンプの底から先端までの長さをそれぞれ検出して、前記検出した一対の長さと、一対の撮像装置34,35の光軸が半導体ウェハ21の上面となす角度を用いて尖端バンプの高さを計算する。 (もっと読む)


【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板9上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット2と、ガラス基板9を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット2は、光照射部21および受光部23を有し、光照射部21により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部23のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部23を回転することにより受光部23の光軸J2とガラス基板9の法線Nとのなす検出角θ2が変更される。撮像ユニット2は、光軸J2に沿って受光部23を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ2の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸J2上においてラインセンサの受光面と共役な位置Pがガラス基板9の表面に配置される。これにより、受光部23のフォーカス調整が容易に行われる。 (もっと読む)


【課題】撮影装置のキャリブレーションの際のターゲットとなるパターン画像の撮影作業を容易にできるようにする。
【解決手段】キャリブレーション装置2では、LEDが発光部12の底部に固定支持され、拡散板16にパターン画像17を形成したパターン部11は、パターン画像17側の面を外側にして支持体の開口を塞ぐように、支持体と一体に形成されている。LEDの明るさは多段階に調整することが可能である。撮影装置で撮影されたパターン画像17から判断されるLEDの明るさがあらかじめ設定された範囲内にないときは当該範囲内になるように当該明るさを調整した上で、再度撮影装置で撮影を行う制御を行う。 (もっと読む)


【課題】検出用走査を行うことなく、ワンショット撮影により、高さ方向のダイナミックレンジの大きい、被検面の1ライン上の微細な凹凸形状情報を容易に取得し得る、形状測定装置および形状測定方法を提供する。
【解決手段】 空間的にインコヒーレントで広帯域スペクトルを有する光を射出する面状の光源10からの照明光を、対物レンズ13A、Bを介して参照面14および被検面20に照射し、得られた参照光と測定光を干渉させ、その干渉光をスリット16Aにより線状に整形し、分光器16により分光し、2次元撮像手段17により得られたスペクトル干渉情報に基づき被検面20の形状を解析する。光源10、被検面20、スリット16A、および光源10、参照面14、スリット16Aは各々互いに共役である。被検面20を介する系路の光路長と、参照面14を介する経路の光路長との間にオフセットが設けられる。 (もっと読む)


【課題】より明瞭に撮像できる視覚装置を提供する。
【解決手段】被撮像物1を撮像する撮像手段11と、照明光を発生する照明光発生手段12と、照明光を拡散させる照明光拡散手段13とを備え、照明光拡散手段13は、撮像手段11の光軸の延長上に配置された筒状の部材であり、照明光発生手段12は、照明光拡散手段13の筒壁の外面に照明光を照射できる位置に配置され、照明光拡散手段13の筒壁は、照明光発生手段12から照射された照明光を照明光拡散手段13の内部に透過させ、照明光拡散手段13の内部に透過した照明光を反射・拡散させることができるように形成されており、照明光拡散手段13の内部で反射・拡散された照明光が被撮像物1に当たり、被撮像物1に反射した照明光が照明光拡散手段13の内部を通じて撮像手段11に送られる。 (もっと読む)


【課題】凹部の内側の情報に関する測定精度を向上させる。
【解決手段】形状測定装置は、撮像素子5と、複数の光学素子を含み、撮像素子5と共役な共役面10を、複数の光学素子の配列方向に対して鋭角または鈍角の関係となるように形成する結像光学系6と、測定対象面に対して結像光学系6の少なくとも一部を移動可能な走査部と、走査部の位置情報及び撮像素子5の画像情報に基づいて、測定対象面の位置情報を取得する位置情報取得部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】画像端の位置を正確に検出することのできる画像位置検出装置と、この画像位置検出装置を備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】中間転写ベルト上に形成される補正用パターンのパターン画像の端部の位置を検出する位置検出装置であって、補正用パターンに向けて光を照射する発光部17Dと、このパターン画像の表面で正反射する正反射光を受光する正反射光受光部17Hsと、その表面で拡散反射する拡散反射光を受光する拡散反射光受光部17Hrとを備え、正反射光受光部17Hsの正反射光受光信号値と、拡散反射光受光部17Hrの拡散反射光受光信号値に一定係数を乗じた乗算値とに基づいてパターン画像の端部の位置を求める。 (もっと読む)


【課題】陽極酸化アルミナの状態(微細凹凸構造の形状、欠陥等)を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド100に光を照射するライン状照明装置10(第一の照射手段)と;モールド100の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインCCDカメラ12(第一の撮像手段)と;モールド100に光を照射するライン状照明装置20(第二の照射手段)と;モールド100の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインCCDカメラ22(第二の撮像手段)と;2つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置30(画像処理手段)とを有する検査装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】PTPシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びPTP包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置21は、照明装置22、カメラ23及び画像処理装置24等を備え、まず照明装置22から錠剤に対し照射される光の光量を段階的に変更し、当該錠剤を透過する透過光をカメラ23により撮像することにより、複数通りの輝度画像データを取得する。そして、当該複数通りの輝度画像データにおける各座標毎の輝度値をそれぞれ合算して、錠剤の表面に係る三次元データを作成する。これに基づき、錠剤の外観形状が検査される。 (もっと読む)


【課題】 落射照明画像用のエッジ位置測定値補正を提供する。
【解決手段】 精密マシンビジョン検査システムにおける落射照明画像エッジ位置誤差を補正するための方法が開示される。方法には、落射照明光および透過照明光を用いてワークエッジ特徴のエッジ位置測定値を比較することが含まれる。透過照明光を用いたエッジ位置測定値は、落射照明より不確実性が低い。位置補正係数が、2つのエッジ位置測定値間の差から決定され得る。位置補正係数は、落射照明光を用いて取得された画像に基づく後続のエッジ位置測定値を補正するために記憶してもよい。いくつかの実施形態において、位置補正係数は、複数のエッジ用のエッジ位置測定値の比較に基づいて決定してもよい。 (もっと読む)


【課題】計測対象物体の形状を高速かつ高精度に計測する装置を提供する。
【解決手段】計測対象物体21の形状を計測する装置であって、光源用基板32と、該光源用基板32上に配置された複数の格子投影用LED33とを有する格子投影用光源31と、1次元格子が描かれた格子面を含む、光源用基板32に平行に配置された格子プレート34とを有する格子投影部30と、1次元格子が投影された計測対象物体21を撮影する撮影部11と、撮影された画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体21の形状を求める解析制御装置12とを備え、複数の格子投影用LED32の各々の光軸が、光源用基板32の法線に対して、計測対象物体21側に傾斜していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラCAM1は鏡筒KT1の一端と接続され、鏡筒KT1の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ1Cの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒KT1とチップ1Cとの間には、面発光照明SSL1、拡散板KB1およびハーフミラーTK1を内部に備え、カメラCAM1と同じ光軸でチップ1Cの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒KT2を配置する。 (もっと読む)


【課題】。
【解決手段】照明装置100を構成する一対の照明装置100A、100Bの複数のLED101が収納溝4B内のチップ部品Aに光を拡散板102を介して均一に照射して、しかもチップ部品Aに付された丸の部分AAや文字・数字部分ABを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ85が撮像した画像において、丸の部分AAや文字・数字部分ABとそれ以外の表面部分ACとのコトラストが大きくなって、丸の部分AAや文字・数字部分ABが黒色に、それ以外の表面部分ACは白色に撮像でき、チップ部品Aの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Aの向きを検査することができる。 (もっと読む)


【課題】少ない部品で対象物体の位置を高い分解能で検出することのでき、さらには、少ない部品で対象物体の三次元座標を高い分解能で検出することのできる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置10では、導光部材40、第1検出用光源121および第2検出用光源122を備えた線状光源ユニット13が複数並列配置されており、点灯した線状光源ユニット13が切り換わった際の光検出部30での受光結果によりY軸方向(第2方向)における対象物体Obの位置を検出する。また、第1検出用光源121と第2検出用光源122とが順次点灯した際の光強度分布を利用してX軸方向における対象物体Obの位置を検出する。さらに、第1検出用光源121および第2検出用光源122が同時点灯した際の光強度分布を利用してZ軸方向における対象物体Obの位置を検出する。 (もっと読む)


【課題】伝熱管と伝熱管振れ止め金具の隙間を精度よく計測することができる蒸気発生器の隙間計測装置を提供することにある。
【解決手段】蒸気発生器の内筒内に配設される多数本の伝熱管と、隣接する伝熱管の間に配置される伝熱管振れ止め金具の隙間を計測する蒸気発生器の隙間計測装置10であって、光を出射する発光器14と、発光器14から出射された光を受光し光量を計測する受光器15と、発光器14および受光器15がそれぞれ先端部に取り付けられ所定の長さを有す一対の支持棒11,12と、発光器14と受光器15が対向して配置され、一対の支持棒11,12の基端部に連結して設けられた連結材13とを具備するようにした。 (もっと読む)


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