【課題】一方主面に薄膜が形成された透明で平板状の基材の厚みを計測する厚み計測装置および厚み計測方法において、薄膜の光学的特性に影響されることなく、基材の厚みを高精度に計測する。
【解決手段】対物レンズ４５５の合焦位置ＦＰを、ブランケットＢＬの下面ＢＬｔよりも下方位置Ｚminから上面ＢＬｆよりも上方位置Ｚmaxまで、一定の刻みΔＺでステップ的に上昇させながらその都度撮像を行う。撮像位置と受光強度との関係において、ブランケットＢＬの上面ＢＬｆおよび下面ＢＬｔに対応するピーク間の距離から、ブランケットＢＬの厚みＤｚを求める。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定精度をより改善できる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の３次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第１方向にＮ回入射した後、測定対象物に格子イメージを第２方向にＮ’回入射する投影部と（Ｎ及びＮ’は２以上の自然数）、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の３次元状態を算出する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】搬送される鋼管が跳ねた場合や楕円または外径の変動が鋼管に生じている場合も正確に測定できるとともに、工数を増大させることなく測定間隔を短くして定量的に測定できる外面曲がりの測定方法を提供する。
【解決手段】複数のローラ３１によって鋼管１１をその周方向に回転させつつ長手方向に搬送し、ローラ３１のうちで隣り合うローラ３１の間に鋼管外面の上端および下端の位置を検出する検出器２１を等間隔に３台配置し、検出器２１で検出した上端および下端の位置から鋼管外面の中心位置を３台の検出器についてそれぞれ求め、下記（１）式により振れｗを算出すること特徴とする鋼管の外面曲がり測定方法である。ここで、３台の検出器２１のうちで上流側（Ａ位置）での中心位置をＣＡ、中央（Ｂ位置）での中心位置をＣＢ、下流側（Ｃ位置）での中心位置をＣＣとする。
ｗ＝ＣＢ−（ＣＡ＋ＣＣ）／２ ・・・（１） （もっと読む）

【課題】画像取得動作の連続ストリームが実行モード中に実行されるパートプログラムのマシンビジョンシステム編集環境を提供する。
【解決手段】画像取得動作の連続ストリームが実行モード中に実行されるパートプログラムのためのマシンビジョンシステム編集環境が提供される。一形態では、新しい共通シンタックス及び表現が利用され、２つのステージで実行されるパートプログラムを実行し、そのような連続画像取得動作が通常動作と同じ方法で記録される。最初のステージでは、画像取得の連続ストリームを持つパートプログラムの一部が画像取得動作のためにスキャンされ、画像取得プロセスが開始された後に、画像を取得するために最も効果的な命令が決定される。そして、第２のステージでは、画像取得プロセスが実行されている間に、パートプログラムの一部が再度スキャンされ、そして画像解析動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】高速に移動する対象物の像を得ることができる観察装置を提供することを目的とする。
【解決手段】観察装置１は、光源部１０、周波数変調部２０、検出部４０、及び演算部５０を備える。周波数変調部は、第１の光又は第２の光を入力して、当該入力した光を、第１方向において互いに異なる複数の特定周波数Ω_ｎだけ遷移された周波数を有し、第２方向において同一の周波数を有する光に変調する。検出部４０は、対象物２で生じた散乱光のうち、検出部４０に到達した光を検出し、ドップラーシフト量に応じた周波数で時間的に変化する散乱光のデータを、各時刻に出力する。演算部５０は、検出部４０からの出力に対して、特定周波数Ω_ｎに基づいて複数の周波数領域に分割する処理と、時刻変数に関する１次元フーリエ変換と、周波数に関する１次元フーリエ変換とを行って得られたデータを対象物２の像として得る。 （もっと読む）

【課題】帯状体の走行を継続させながら省スペースでメンテナンスを行うことができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】帯状体１０の一方の面側に、直線偏光を投射する投光器２と偏光フィルタを介して光を受光する受光器４とを配置し、帯状体１０の他方の面側に、投光器２から投射される直線偏光が入射され、入射された直線偏光の偏光方向を偏光フィルタの透過軸に一致する方向に変化させて反射する偏光反射板３を配置する。そして、受光器４の各受光素子で得られた受光量が帯状体１０の幅方向でする位置を検出し、その位置を帯状体１０のエッジ位置として検出する。 （もっと読む）

【課題】帯状体の走行を継続させながら省スペースでメンテナンスを行うことができるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】帯状体１０の一方の面側に製造ラインに存在しない色を着色したカラー板２を配置し、帯状体１０を挟んでカラー板２と対向配置したカラーＣＣＤカメラ３によって、カラー板２と帯状体１０のエッジ部とを撮像する。そして、カラーＣＣＤカメラ３で撮像したカラー画像の各画素の色情報と、カラー板２の着色面と同一色の色情報との類似度をそれぞれ算出し、帯状体１０の幅方向で上記類似度が低下する位置を帯状体１０のエッジ位置として検出する。 （もっと読む）

【課題】可及的にワークの移動が自由であり、後工程の作業の妨げともなりにくい簡易な構成のワーク位置の検出装置を提供する。
【解決手段】検出光(40)を投光する投光部(10)と、検出光を受光する受光部(20)と、投光部と受光部を所定の位置関係に保つ支持手段(30)と、を備え、受光部が一次元又は二次元に配置された複数の受光素子を含み、上記支持手段が、投光部と受光部との間に設けられる検出基準面に対して検出光(40)が斜めになるように投光部と受光部の位置を保持する。 （もっと読む）

【課題】原稿の厚みに影響されず安定して原稿の画像を読み取ることができる画像読取システム、原稿サイズ検出装置、及び原稿サイズ検出方法、並びに画像読取方法を提供する。
【解決手段】原稿の画像を読み取る画像読取装置と、画像読取装置を制御する制御装置とを備えた画像読取システムであって、原稿を搬送路に沿って搬送する搬送手段と、搬送路の途中に設けられ且つ原稿の厚みに応じて搬送路から離れる方向に移動可能に設けられ、搬送路に沿って搬送される原稿の画像を読み取る画像読取手段と、画像読取手段で読み取った原稿の画像データに所定の処理を施す画像処理手段と、原稿の厚みを判別する原稿の厚さ判別手段と、原稿の厚さ判別手段による判別結果に基づいて、画像読取手段による原稿の読取条件、又は画像処理手段による原稿の画像処理条件を変更する変更手段とを備え、原稿の厚みに影響されず安定して原稿の画像を読み取るようにした。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１のアライメント調整工程では着弾位置２５１をカメラ２０５で捕捉し着弾位置２５１がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド２０１を相対的に移動する。第２のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ２０５で捕捉し照射跡がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第３のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段２０５で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段２０５の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】経年変化に伴ってレーザー測長系のレーザー光源の出力特性が変化しても、移動ステージの位置を精度良く検出して、基板の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】移動ステージに複数の反射手段３４ａ，３４ｂ，３５を取り付け、複数のレーザー干渉計３２ａ，３２ｂ，３３により、レーザー光源３１ａ，３１ｂからのレーザー光と各反射手段３４ａ，３４ｂ，３５により反射されたレーザー光との干渉を複数箇所で測定する。各レーザー干渉計３２ａ，３２ｂ，３３の測定結果から、移動ステージの位置を検出し、検出結果に基づき、移動ステージによりチャック１０ａ，１０ｂを移動して、基板１の位置決めを行う。各レーザー干渉計３２ａ，３２ｂ，３３が受光したレーザー光の強度の変化を検出し、検出したレーザー光の強度の変化を補う様に、レーザー光源３１ａ，３１ｂへ供給する駆動電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】シリコンなどのウエハー上にレーザー光を用いて露光することで描画を行う描画装置において、ナノミクロンオーダーの高精度な位置決めを行うこと。
【解決手段】レーザー光を一定方向に往復させて所定の間隔でドットパターンの描画を行う光学素子用の描画装置であって、レーザー光を照射する照明光学系と、
基盤を載置するＸＹステージと前記照明光学系と前記ＸＹステージとの相対位置を測定する前記ＸＹステージ上に設置されたナノスケールと、前記基盤上の描画信号の基準位置とその描画信号波形データ出力と、前記ナノスケールによって測定された往路のドットパターンの描画終了位置から、復路のドットパターンの描画開始位置を抽出する軸制御ユニットと、前記軸制御ユニットによって抽出された描画開始位置から描画を開始するように前記照明光学系の位置を補正する位置補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気中で測定対象物を精度良く測定でき、光ファイバを着脱しても、測定精度に影響の無いエリプソメータを提供する。
【構成】投光部１３と受光部１４を筺体１１の内部に配置し、発光装置１２を筺体１１の外部に配置し、光配線装置１８によって、発光装置１２と投光部１３とを光接続する。投光部１３は入射光を偏光して測定光を生成し、測定対象物７に照射し、反射光を受光部１４によって受光して筺体１１の外部に配置された分析装置１５へ送光すると、分析装置１５で膜厚が求められる。測定対象物７を真空雰囲気中で測定でき、光配線装置１８と投光部１３とを着脱しても、相対的に同じ位置で仮固定され、着脱が測定精度に影響を与えない。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】複数の映像間で対応をとる特徴点を定めて位置合わせ基準を鮮明にでき、車両の検出精度を向上させる。
【解決手段】実施形態の車両検出装置は、線分成分抽出手段、多角形近似手段及び計測手段を備えている。前記線分成分抽出手段は、左右の撮影画像毎に、当該撮影画像に含まれる前記車両のフロントガラス領域と車体との境界を示す複数の線分成分を抽出する。前記多角形近似手段は、前記左右の撮影画像毎に、当該抽出された複数の線分成分の幾つかを用いて閉ループを構成する多角形近似を行う。前記計測手段は、前記左右の撮影画像毎に前記閉ループを構成する線分成分を当該左右の撮影画像間で互いに位置合わせし、当該位置合わせした線分成分間の座標情報と、左右の撮影画像を撮影した撮影位置を示す撮影位置情報とに基づいて、前記閉ループの位置を前記車両の位置として計測する。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】測長結果から精度よくデッドパスの影響を排除するヘテロダインレーザー干渉測長器を提供する。
【解決手段】ヘテロダインレーザー光源１０からのビームを分岐させて測定ビームＢ１と参照ビームＢ２を生成する分岐器８０と、測定ビームＢ１及び参照ビームＢ２を分割する偏光ビームスプリッタ３０と、測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に設けられる１／４波長板３１，３２と、可動測定物５０に固定され、測定ビームＢ１１，Ｂ１２が照射される測定ミラー３４１，３４２と、測定ミラー３４１，３４２近傍に配置され、参照ビームＢ２１，Ｂ２２が照射される反射ミラー４１１，４１２と、測定ミラー３４１，３４２の反射光を干渉させた光と反射ミラー４１１，４１２の反射光を干渉させた光に基づく２つのビート信号から変位を算出する演算回路７０を備え、分機器８０は測定ビームＢ１と参照ビームＢ２の光量比を連続的に変化させて調整する調整手段を有する。 （もっと読む）

【課題】湾曲面からの反射光を適切にカットし又は湾曲面からの反射光を適切に選択して透過させることを課題とする。
【解決手段】湾曲したフロントガラス面に対する相対位置が一定となるように設置され、そのフロントガラス面からの反射光（水平偏光成分Ｓ）をカットする鉛直偏光領域を備えた偏光フィルタ層を介して、撮像領域からの光を画像センサ２０６上の各撮像画素で受光して撮像する撮像装置において、上記鉛直偏光領域は、透過軸方向が異なる複数のフィルタ領域部分から構成されており、各フィルタ領域部分の透過軸方向は、当該フィルタ領域部分へ入射してくるフロントガラス面上からの反射光の最大偏光成分の偏光方向に基づいて設定される。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の物理情報を高精度に得るために有利な技術を提供する。
【解決手段】計測装置３３は、光源１からの光を計測対象物３に入射させる計測光と参照面４に入射させる参照光とに分割するビームスプリッタ２ａと、前記計測対象物３で反射された前記計測光と前記参照面４で反射された前記参照光とを合成して合成光を生成するビームコンバイナ２ｂとを有し、前記合成光に基づいて前記計測対象物３の物理情報を得るように構成されている。前記計測装置３３は、前記計測光と前記参照光との空間コヒーレンスを変更するコヒーレンス制御部１０を備える。 （もっと読む）