【課題】２つの基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時にピントを合わせることができない場合であっても、それらの位置合わせを高精度に行うことを可能にする。
【解決手段】パターンを転写される基板に形成されるアライメントマークＡＭ１は、正方形の中実図形であるアライメントパターンＡＰ101〜ＡＰ109、ＡＰ111〜ＡＰ114を配列してなるものとする。一方、基板に転写すべきパターンを担持するブランケットには、アライメントマークＡＭ２として、環状の中空矩形のアライメントパターンＡＰ２をパターンと同じ材料で形成する。アライメントマークＡＭ１は、低い空間周波数成分をアライメントパターンＡＰ２よりも多く含むパターンにより構成されており、ピントが合わない状態で撮像された場合でも重心位置を精度よく検出することが可能である。 （もっと読む）

【課題】複雑で時間のかかるキャリブレーションを必要とせずに、高精度の路面の縦断プロファイルを作成できる移動式の三次元レーザ計測システムを提供する。
【解決手段】本発明の計測システムでは、以下の３段階のステップで路面の縦断プロファイルを作成する。最初に、計測車２に搭載されたレーザスキャナ２１を用いて、走行しながら道路の路面の平面位置と高さを計測して第１の三次元点群データＧ１を取得する。次に、第１の三次元点群データＧ１を、計測車２に搭載されたＧＰＳ受信機２２および慣性計測装置２３を用いて取得したデータに基づいて修正して、地理座標系で表示された第２の三次元点群データＧ２を作成する。最後に、第２の三次元点群データＧ２から計測車２のいずれかのタイヤの軌跡に対応する第３の三次元点群データＧ３を切り出し、この第３の三次元点群データＧ３に基づいて、路面の縦断プロファイルを作成する。 （もっと読む）

【課題】整列状態にあることが要求される物品の列について、整列状態を乱す物品の位置ずれ、欠落、倒れなどの種々の整列不良を検出することを可能とする。
【解決手段】物品の列が整列状態にあるかどうかを検査する方法であって、準備工程では、整列状態にある物品ａ_１〜ａ_４の列Ｐ_ａに対しその物品の列を列方向の全幅にわたって切断するような帯状の光Ｒを照射して各物品ａ_１〜ａ_４の表面に各物品の輪郭に沿う光切断線Ｌを生成するとともに、その光切断線Ｌを撮像して基準となる画像を取得する。検査工程では、検査対象の物品ｂ_１〜ｂ_４の列Ｐ_ｂに対し同じ帯状の光Ｒを照射するとともに、前記準備工程で撮像した光切断線の生成位置に対応する位置に生成された光切断線Ｌを撮像して検査対象画像を取得した後、その検査対象画像を前記基準となる画像と照合して、検査対象の物品ｂ_１〜ｂ_４の列Ｐ_ｂが整列状態にあるかどうかを判別する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定精度をより改善できる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の３次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第１方向にＮ回入射した後、測定対象物に格子イメージを第２方向にＮ’回入射する投影部と（Ｎ及びＮ’は２以上の自然数）、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の３次元状態を算出する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】コークガイド車などの移動体の移動路に沿って設けられた目標体とコークス炉の位置関係に誤差が生じても移動機を簡易に目標とする位置にする。
【解決手段】コークガイド車１の移動路に沿って設けられた目標体９を検出し、目標体検出装置４で目標体９を検出したときのコークガイド車１の規定位置に対し、目標位置検出装置５で目標位置を検出しながら規定位置から目標位置までコークガイド車１を移動し、検出された目標位置と規定位置との位置誤差を記憶し、以降、目標体９を検出した位置から記憶された位置誤差分だけ移動してコークガイド車１を目標位置にすることにより、目標体９とコークス炉７の位置関係に誤差が生じても、一度、目標体９を検出したときの規定位置と目標位置との位置誤差を記憶してしまえば、以降はコークガイド車１を簡易に目標とする位置にすることができる。 （もっと読む）

【課題】露光前に基板の裏面洗浄を行う機能を備えた基板処理システムにおいて、基板処理の歩留まりを向上させる。
【解決手段】露光装置で露光処理を行う前に、露光装置における基板のフォーカスの状態を検査する検査ユニット１００であって、ウェハＷを、露光装置で露光処理される際と同じ条件で裏面から吸着保持するウェハ保持台１４１と、ウェハ保持台１４１に吸着保持されたウェハＷにおける厚み方向の高さを測定する高さ測定機構１５０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】補正用治具の交換なしに形状測定装置の組み付け誤差をＸ方向、Ｙ方向、θ方向のすべてについて補正できるようにする。
【解決手段】ワーク支持部１と、これに支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計２と、ワーク支持部１をＸ方向に直線移動させるＸ方向移動部４と、ワーク支持部１をＹ方向に直線移動させるＹ方向移動部５と、ワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動部６と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する場合に、Ｘ方向およびＹ方向の組み付け誤差を補正するための円弧状の外周縁と、θ方向の組み付け誤差を補正するための直線状の外周縁を有する補正用治具を用いる。 （もっと読む）

【課題】解体対象を固定している固定部材の位置の検出精度を高めること。
【解決手段】解体対象を撮像した撮像画像から、前記解体対象を固定している固定部材の画像として予め決められている固定部材画像を検出する固定部材画像検出部と、前記固定部材画像検出部により検出された前記固定部材画像の位置を示す位置情報を算出する位置情報取得部と、前記解体対象を固定している複数の前記固定部材の予め決められた位置関係を示す配置パターンと前記位置情報とに基づき、前記固定部材画像検出部によって検出された前記固定部材画像が前記配置パターンに含まれる前記複数の固定部材に対応するか否かを判定する配置パターン対応確認部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板２１２は、レーザ光源２３１から出射され、ワーク１０２の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ２３３は、拡散反射板２１２により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク１０２の加工面で反射された第１の反射光、レーザ光源２３１から出射されたプローブ光がワーク１０２の加工面で拡散反射された第２の反射光を受光する。信号処理部２３４は、第１の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面を介して拡散反射板２１２に入射するまでの第１の距離を検出するか、または、第２の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面に入射するまでの第２の距離を検出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１００の表面の欠陥を検査する表面検査装置３００と、この表面検査装置３００に対するウェハ１００の搬送路に設けたウェハステージ２１０と、このウェハステージ２１０上のウェハ１００のエッジ部を検査するエッジ検査部５３０と、このエッジ検査部５３０を当該エッジ検査部５３０の光軸に沿って移動させる移動装置６５０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】管の内面曲がりを定量的に測定できるとともに、様々な内径の鋼管に対応できる管の内面曲がり測定装置およびそれを用いた測定方法を提供する。
【解決手段】被測定材である管の長手方向に移動可能なヘッド２１と、ヘッド２１によって管１０の周方向に揺動可能に支持され、管１０の内面までの距離を測定する第１距離計２２と、管１０の長手方向におけるヘッド２１の位置を測定する第２距離計（図示なし）と、ヘッド２１の移動および第１距離計２２の揺動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする管の内面曲がり測定装置２０である。本発明では、内面曲がり測定装置２０が管１０の長手方向に垂直な面におけるヘッド２１の変位を測定する変位計を備え、ヘッド２１を、管１０を長手方向を水平にした状態で該管の内面上を走行する走行機構、および、第１距離計２２の揺動軸を水平に維持する維持機構を有する走行装置に設けるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】スポット溶接部の有無及び位置を精度良く計測することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】取得画像上のスポット溶接部を抽出する溶接部抽出部と、抽出したスポット溶接部の座標を算出する座標算出部９と、光線によって計測対象物上に指し示された３点以上の基準点を取得画像から抽出する基準点抽出部２０と、抽出した取得画像上の基準点の座標を基に正対対象物に対する計測対象物の傾斜及び倍率のずれに起因する誤差を補正する補正値を算出する第１の補正値算出部２１と、取得画像上の計測対象物の特徴量を抽出する特徴量抽出部２２と、抽出した特徴量から計測対象物の蛇行及び撮像軸周りの回転に起因する誤差を補正する補正値を算出する第２の補正値算出部２３と、補正値算出部２１，２３で算出した補正値によりスポット溶接部の座標を補正する座標補正部２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】画像の領域の大きさを使用者の操作精度によらず容易かつ均一に得ることが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像ＩＭにおいて抽出される領域Ａ４が表示部２６０の画像表示領域２６１に表示される。表示された領域Ａ４に外接する外接矩形Ｐが作成される。作成された外接矩形Ｐが表示部２６０の画像表示領域２６１に表示されるとともに、作成された外接矩形Ｐの予め定められた部分の寸法または面積を示す特徴量が算出される。使用者は、入力装置を用いて表示部２６０の画像表示領域２６１に表示された外接図形Ｐを回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】内圧を負荷した状態でタイヤの厚みを計測可能なタイヤ厚み測定装置を提供する。
【解決手段】上側ハーフリム８４でタイヤ３０の一方のビード部を支持し、下側ハーフリム２６で他方のビード部を支持し、タイヤ内を密閉して内圧をかける。内側レーザー変位計６６から外側レーザー変位計１２２までの距離からタイヤ内空部に配置した内側レーザー変位計６６で計測したタイヤ内面までの距離とタイヤ外側に配置した外側レーザー変位計１２２で計測したタイヤ外面までの距離とを引き算する。これにより、内圧を負荷した状態でタイヤの厚みを計測することが出来る。 （もっと読む）

【課題】コヒーレンス走査干渉計及びこのコヒーレンス走査干渉計を用いた物体の高さ形状測定するための方法に対して、測定精度や測定特性の再現性に関する改良を行なうことである。
【解決手段】光源２と、干渉計と、経路長変更ユニットと、検出面を有するカメラ３とが備えられている。経路長変更ユニットは、測定ビームと基準ビームの光路長を変更するように構成されている。経路長変更ユニットは、経路目盛１１と経路検出器１２とを有しており、経路目盛１１と経路検出器１２とは、経路長変更ユニットによる測定ビームの光路長変更または基準ビームの光路長変更あるいはその両方の光路長変更の際に、経路検出器１２の同期的な動きが経路目盛１１に対して相対的に行なわれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】３次元形状に対応するデータファイルのサイズを小さく、転送や取り扱いを容易とする。
【解決手段】レーザ光２００の走査によって構成される面（走査面）と３次元形状をもつ対象物３００との交線上に、各測定点は離散的に存在する。この３次元形状データ処理方法においては、データとして、３次元空間座標の点群データの代わりに、各走査面上における各測定点の平均位置Ｇ_ｎの空間的位置、走査面における座標軸Ｕ_ｎ、Ｖ_ｎ軸の方向、各測定点Ｐ_ｎ，ｉ（１≦ｉ≦ｋ）についての、走査面での２次元座標（ｕ_ｎ，ｉ、ｖ_ｎ，ｉ）を記録する。ただし、この２次元座標を記録する代わりに、後述する符号化された値を記録することもできる。 （もっと読む）

【課題】コンクリート壁等測定対象面の状態（凹凸量）を装置により自動的に、かつ精度良く測定できるようにする。
【解決手段】回転式レーザー測定装置は、レーザー光によって距離を測定する距離センサと、該距離センサを軸方向に駆動する第１の駆動手段と、同距離センサを軸周り方向に駆動する第２の駆動手段と、これら第１，第２の駆動手段を駆動制御する駆動制御手段とを備え、上記距離センサを測定対象面の長手方向と直交する面に沿って回転可能に支持するとともに、上記測定対象面の長手方向に沿って所定ピッチ毎に移動可能とし、該所定ピッチ毎に上記距離センサを移動させ、かつ所定の角度回転させながら、測定対象面の状態を自動的に測定して行くようにした。このような構成によると、自動的かつ容易に、しかも正確に凹凸その他の表面状態を測定して行くことができるようになる。 （もっと読む）