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Fターム[2F065MM14]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 走査形態 (5,021) | 投光系による走査 (1,119) | 投光器の移動 (300) | 直線移動 (131)

Fターム[2F065MM14]に分類される特許

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【課題】物体表面の反射特性に鏡面反射成分を含むことを必要とせず、物体表面までの距離の計測も必要とせずに面法線を計測する。
【解決手段】面法線計測システム1は、ガイドレールRx,Ryに沿って、互いに直行する平面内を移動して物体OBJに対する照明方向を変化させる照明装置30と、物体OBJを撮影する撮影装置40と、撮影装置40によって撮影された画像に基づいて物体OBJの表面の面法線を計測する面法線計測装置10とを備える。面法線計測装置10は、物体OBJの画像を2値化し、画素ごとに、照明方向と明暗とが対応付けられた陰影ベクトルを作成し、予め形状が既知の参照物体について作成した参照陰影ベクトルと面法線とが対応付けられたデータベースを参照して、物体OBJの陰影ベクトルと最も類似する参照陰影ベクトルに対応付けられた面法線を、その画素における面法線と推定する。 (もっと読む)


【課題】小型化可能で高精度な形状測定が可能な光学式測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源201が出力したビーム状の測定用光216は第2円錐ミラー207によって放射状の測定用光に変換され、ケース101の第2開口部102を通って出力された後、測定対象物220で反射され、第1開口部103を通ってケース101内へ入り、第1円錐ミラー209によって反射された後、受光レンズ213を介して光検出素子214で検出される。処理部240は、光検出素子214で検出された測定用光に基づいて測定対象物の形状を算出する。 (もっと読む)


【課題】プローブを交換する事無く種々の測定精度を得ることができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】第1のライン光を測定物に照射する第1光学系と、第1光学系の少なくとも一部の光学素子を有し、第1のライン光よりも長い第2のライン光を測定物に照射する第2光学系とを有する光照射部と、前記測定物による前記第1のライン光の散乱光を検出する第1の検出部と、前記測定物による前記第2のライン光の散乱光を検出する第2の検出部と、を備える形状測定装置である。 (もっと読む)


【課題】容易に迅速に軸合わせができるとともに、軸合わせの前に行われる防風工程を省略できる立軸形水車及び立軸形発電機の軸受用の部材の軸合わせに適用可能なレーザ照射装置を提供する。
【解決手段】レーザ照射装置10は、円周部に円弧状の溝170b1が開口されるとともに中心部に孔170cが貫通され玉軸受170bと溝170b1に回転自在に係合される複数の球体170aとを有する支持部170と、球体170aよりも径が大きい略球形状の球体部10aと、球体部10aに取り付けられ球体部10aに重力を加える錘部10dと、球体部10aに取り付けられレーザ光線を照射するレーザ発光部10cと、を備える。 (もっと読む)


【課題】適切な測定照度で測定対象物を3次元測定することができる3次元測定装置等の技術を提供する。
【解決手段】制御部は、投影部により縞が投影された測定対象物を撮像し、縞の位相が異なる合計4枚の画像を取得する(ステップ107〜109)。次に、制御部は、4枚の画像から各画素の輝度値を抽出して、位相シフト法により輝度値を各画素の高さへ変換する(ステップ110)。次に、制御部は、基板選択領域及び半田選択領域のそれぞれについて、高さの変換が不可とされた画素の割合(エラー率)を算出する(ステップ111)。制御部は、照明の照度を変化させて、ステップ107〜ステップ111の処理を繰り返す。制御部は、各照度での選択領域のエラー率に基づいて、投影部の最適な照度を決定する(ステップ114)。 (もっと読む)


【課題】広帯域干渉法によって透明な膜の厚さを測定する方法を提供する。
【解決手段】広帯域干渉法によって膜のコレログラムを作成する工程と、コレログラムにフーリエ変換を適用して、フーリエ位相関数を得る工程と、フーリエ位相関数の線形成分を取り除く工程と、残りの非線形成分に第2積分変換を適用して非線形成分の積分振幅関数を得る工程と、積分振幅関数のピーク位置を特定する工程と、波長に依存する膜の屈折率を考慮して前記膜の厚さを前記ピーク位置の横座標の2倍値として決定する工程と、を含む。最後の2つの工程の代わりに、前記積分振幅関数のピーク位置を特定する工程と、前記ピーク位置の横座標の2倍値として膜の厚みを決定する工程と、を含んでもよい。 (もっと読む)


【課題】複数の光ファイバ(導光手段)を備えた光プローブに測定光を与えて断層画像を取得する光断層画像化装置において、有効に断層画像を取得できる測定光の光量の低減をできだけ抑止して断層画像の品質向上等を図る光断層画像化装置及び光断層画像取得方法を提供する。
【解決手段】複数チャンネルの光ファイバを備えたOCTプローブに測定光を供給するOCTプロセッサにおいて、OCT光源13から出射された光をOCTプローブの光ファイバに選択的に与える光スイッチ13が設けられる。そして、プレスキャンによって、OCTプローブ全周囲の断層画像を取得した後、その断層画像に基づいて有効な断層画像を取得することができるチャンネルの光ファイバを決定し、光スイッチ13によってその光ファイバのにみ測定光を順次切り替えて供給する。 (もっと読む)


【課題】簡便な光源を利用した場合であっても光の反射による外乱の影響を抑えて光透過性薄膜の厚さを確実に算出できるようにする。
【解決手段】光透過性薄膜102の表面にレンズが合焦した状態では基板101の表面をフォーカスアウトさせて基板101から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止する一方、基板101の表面にレンズが合焦した状態では光透過性薄膜102の表面をフォーカスアウトさせて光透過性薄膜102から反射される光が合焦判定の外乱として作用することを防止し、基板体100の平面上の同一箇所(xi,yi)で光透過性薄膜102を含めた基板体100の厚さと光透過性薄膜102を除いた基板101のみの厚さの差分に基いて光透過性薄膜102の厚さを適切に算出する。 (もっと読む)


【課題】第1表面に対向する第2表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体3の表面3aに映し出されたストライプパターン1を、CCDカメラ2によって撮像するように構成されている。ストライプパターン1は、光源の発光面に設けられている。また、被評価物体3の裏面3bには、屈折率が被評価物体3の屈折率に近い反射抑制層20が、裏面3bに接するように配置されている。CCDカメラ2によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ4に取り込まれ、コンピュータ4によって画像解析が行われる。 (もっと読む)


【課題】作業員の技量にかかわらず短時間で精度高く車輪外周面形状を測定することが可能な車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車輪1におけるフランジ及び踏面を含む外周面2の形状を測定する車輪形状測定装置100であって、筐体(基部)10と、該筐体10内に取り付けられて車輪1の径方向外側から車輪1の外周面2に向かって光線を照射し、その反射光によって該外周面2までの距離を検出する距離測定部30と、筐体10を車輪1に対して位置決めして固定する位置決め手段20と、距離測定部30を筐体10に対して車輪1の軸線O方向にスライド移動可能とさせるスライド手段40と、外周面2における光線の反射にて生じる乱反射光を吸収する乱反射光吸収手段60とを設ける。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、洗浄による飛散水や湯気の発生あるいは素子の汚れ等によって光量が不足した場合であっても、車形データを作成することができる車形検出装置及びこの装置を備えた洗車機を提供するものである。
【解決手段】発光部5aにおける隣接する2つの発光素子La・La+1を同時に発光させ、その一方の発光素子Laと水平に対向する1つの受光素子Raで受光する第1の光軸Bdと、同じく2つの発光素子La・La+1を同時に発光させ、その他方の発光素子La+1のと水平に対向する1つの受光素子Ra+1で受光する第2の光軸Beとを形成し、各素子毎に各光軸で車体検出する強光検出モードを実行可能にした。 (もっと読む)


【課題】使い勝手の良い長寸法測定装置を提供すること。
【解決手段】長寸法測定装置1は、試料2が載置し、配置位置が固定されている試料台10と、試料2に形成されたパターンに照明光を照射する照明ユニット20と、照明光から得られたパターンの像を撮像する撮像ユニット30と、試料台10の平面度を調整し試料台10を支持する平面度調整機構12と、エアを試料台10に送気し、試料台10からエアを吸引する送気吸引部16と、試料台10にて浮上している試料2に吸着する吸着機構40と、撮像ユニット30をZ方向に移動させるZステージ51と、撮像ユニット30をX方向に移動させるXステージ52と、吸着機構40を介して試料2をY方向に移動させるYステージ53と、試料2に形成されたパターン上の2点間の距離を測定する干渉測定ユニット60とを具備している。 (もっと読む)


【課題】溶接部の全長にわたって安定して良好な機械的特性を有する電縫管を提供する。
【解決手段】溶接直後の溶接部長さ方向にほぼ直交する線状領域14を撮影し、該撮影した領域の輝度分布情報を電気信号として捉える輝度センサ1と、前記捉えられた輝度分布情報を画像処理してスパッタ発生量を算出する画像処理手段11と、前記算出されたスパッタ発生量を所定の閾値域と比較し、この比較結果を基に溶接入熱調整信号13を生成して溶接機20へ送信する溶接入熱調整手段12とを有する電縫管の入熱制御システムである。 (もっと読む)


【課題】振動の影響による3次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ17と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部34と、プローブの振れを検出する振れ検出部28とを備え、振れ検出部28に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 (もっと読む)


【課題】非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物保持機構と干渉光学系との相対的移動を高精度に行える機構を有する測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物10を被測定面軸Sの回りに回転させる被測定物回転機構70および該回転機構を搭載し被測定面軸と直交または平行方向に直線移動させる第1スライド機構7を備える被測定物保持機構Aと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系2を保持し該光学系をその測定光軸Lと被測定面軸Sとのなす測定角度を変更可能に旋回させる光学系旋回機構80および該旋回機構を搭載し第1スライド機構7の移動方向と直交方向に直線移動させる第2スライド機構8を備える干渉光学機構Bとを備え、測定角度を順次変更した毎に被測定物10を回転させつつ光干渉測定を行う。 (もっと読む)


【課題】被測定面の非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物を保持するサンプルステージと干渉光学系の照射先端部との衝突による干渉光学系の照射先端部の破損を防止した構造を有する測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物10を保持する被測定物保持機構Aと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系2を有する干渉光学機構Bとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Aにおける被測定物10を先端に保持するサンプルステージ6に干渉光学系2の照射先端部2aと衝突した際に衝撃を吸収する低強度部64を設けて干渉光学系2の破損を防止する。 (もっと読む)


【課題】チャックテーブルに保持された半導体ウエーハ等の被加工物の上面位置を計測する計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第1の経路に導くとともに第1の経路を逆行する反射光を第2の経路に導く第1の光分岐手段と第1の経路に導かれた光を平行光にし、この平行光を第3の経路と第4の経路に分ける第2の光分岐手段と第3の経路に配設され第3の経路に導かれた光を被加工物に導く対物レンズと、第2の光分岐手段と対物レンズとの間に配設された集光レンズと、第4の経路に導かれた平行光を反射し、この反射光を逆行せしめる反射ミラーと、第2の経路に導かれた反射光を回折する回折格子と、回折光の所定の波長域における各波長の逆数の光強度を検出するイメージセンサーと、検出信号からの分光干渉波形と理論上の波形関数に基づくフーリエ変換理論による波形解析を実行する制御手段とを具備している。 (もっと読む)


【課題】測定対象物より後方の物体での反射光をカメラが受像しないようにする。
【解決手段】測定対象物1に線状のレーザ光5aを照射し、測定対象物1での反射光をカメラ4で受像することで、その形状を撮像するレーザ形状認識センサである。測定対象物1にレーザ光5aを扇状に照射するレーザ光源5と、このレーザ光源5から照射されたレーザ光5aの測定対象物1での反射光を、抽出したい波長のみを通過させるフィルター6を介して受像するカメラ4を有する。レーザ光源5のレーザ光5aの照射範囲5bをカメラ4の素子列方向の視野4aがカバーでき、かつ、カメラ4の高さ方向の検出範囲4bは測定対象物1より後方はカバーしないように、レーザ光5aの光軸に対して角度θをつけてカメラ4を、同一の筐体7内に組み込む。
【効果】正確で安定に形状を計測することができる。 (もっと読む)


【課題】蒸気タービンの構成部品位置を計測する際に、計測用の冶具の製作や取り付け等の手間が不要であり、構成部品位置を直接計測することで測定精度並びに信頼性の高い計測が可能な部品位置の計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】レーザ光3を照射するレーザ発振器1と、レーザ発振器1からのレーザ光3の照射方向に沿って走行することが可能な装置本体5と、装置本体5に設けられ、レーザ光3を所望の角度へ屈折して照射する光学部品と、装置本体5に設けられ、光学部品により屈折され照射されたレーザ光3が構成部品により反射されたレーザ反射光の受光量を検出する受光素子8とを備える。 (もっと読む)


【課題】対象面の面形状を計測する。
【解決手段】対象面に向かって光ビームを投射する投射部と、対象面で反射された光ビームを受光して対象面の局所的形状を特定する特定部と、光ビームの投射角度を維持しつつ光ビームを並進させる並進部と、光ビームの並進に伴って特定部が順次特定する局所的形状を蓄積して、対象面の連続的形状を算出する算出部と、光ビームの投射角度を変更する変更部と、変更部が投射角度を第一角度から第二角度に変更した場合に、特定部に、第一角度による対象面への投射位置に第二角度により光ビームを投射させ、且つ、当該投射位置における局所的形状を再び特定させる制御部とを備える。 (もっと読む)


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