【課題】撮像領域内の各地点からの光に含まれる偏光成分間の大きさの違いを示す指標値に基づく画素値をもった偏光情報画像の高精度な解析処理を実現することを課題とする。
【解決手段】水平偏光成分Ｐ及び鉛直偏光成分Ｓの大きさの違いを示す差分偏光度（指標値）を算出し、算出した各指標値に基づく画素値をもった差分偏光度画像（偏光情報画像）を撮像するという撮像動作を連続して行うことで、露光量が互いに異なる例えば３種類の偏光情報画像を撮像する。そして、過去の撮像動作により撮像された３種類の偏光情報画像の中から、偏光成分間の大きさの違いが最大である特定の偏光情報画像を選定し、選定した特定の偏光情報画像に対応する露光量に基づいて後の撮像動作時の露光量を決定する。 （もっと読む）

【課題】姿勢や位置にかかわらず、指示部材、該指示部材を検出対象物体とする光学式位置検出装置、および当該位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】指示部材２０は、光学式位置検出装置において検出対象物体とされる部材であり、丸棒状の軸部２５と、軸部２５の先端に設けられた球体部２６とを備えている。指示部材２０は、球体部２６の外周面、および軸部２５において球体部２６に接続された軸端部２５０の外周面が再帰反射部２１になっており、軸端部２５０に対して基端側に接続された部分２５１は、赤外光を吸収する光吸収部になっている。 （もっと読む）

【課題】複数の位置検出用光源から出射された位置検出光の強度分布を利用して位置検出を行なう場合でも、複数の位置検出用光源の全てに対して出射光量の校正を行なうことのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出装置の校正方法、および光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、検出領域１０Ｒに形成した位置検出光の強度分布を利用して対象物体Ｏｂの位置を検出することから、位置検出用光源１２Ａ〜１２Ｄの出射光量の校正を行なう。かかる校正の際、位置検出用光源１２Ｂ、１２Ｄは、光検出器１５が位置する側とは反対の第２方向Ｙ２に発光部１２１が向いている。そこで、第１補助光源１２Ｖおよび第２補助光源１２Ｗから出射された光の検出結果に基づいて、位置検出用光源１２Ｂ、１２Ｄのみを点灯させた状態での出射光量の校正を行なう。 （もっと読む）

【課題】被測定物の場所によって面の反射状態が異なる場合にも反射光を受光して面の位置が測定できる方法を提供する。
【解決手段】被測定物の形状を測定する形状測定方法にかかわる。投光器から被測定物に光を照射し、被測定物から反射される反射光を受光器が受光するときの光の輝度を推定した受光推定輝度を演算するステップＳ１の受光輝度推定工程と、被測定物に光を照射し、光が照射された場所を検出するステップＳ１１の照射場所検出工程と、被測定物に光を照射する場所を移動するステップＳ３の移動工程と、を有し、ステップＳ１１の照射場所検出工程は、受光器が受光する光の輝度に応じた信号を出力し、前記信号を用いて光が照射された場所を検出するステップＳ５の光検出工程と、受光推定輝度を用いて、受光器が受光する光の輝度を調整するステップＳ４の受光調整工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】表面の一部に傾斜面あるいは曲面が存在する計測対象物体、あるいは傾いた計測対象物体に対して高精度な計測を可能とする光学式計測装置を提供する。
【解決手段】遮光部２１２は、拡散反射光５７の受光中心軸５６に対する入射角度範囲を規定するように構成される。すなわち開口２１２ａの径によって、拡散反射光５７が遮光部２１２の開口２１２ａを通過するときに拡散反射光５７の進行方向と受光中心軸５６とがなす最大角度θが規定される。また、投光部２０２は、計測対象物体５の表面５Ａで正反射された投光ビーム（すなわち反射光ビーム５６）のうちレンズ部２１１により集光される成分について、受光中心軸５６上での集光位置Ｐが受光中心軸５６上における遮光部２１２の範囲内に含まれるように投光ビーム５３を投光する。 （もっと読む）

【課題】糸などの連続状被検物の走行速度あるいは走行方向の長さを測定するための空間フィルタを用いた走行被検物測定装置を提供すること。
【解決手段】被検物通過路３を備えたケーシング２を含み、該通過路の一方の側に、被検物の走行方向に等間隔に配置され、入射光を電気信号に変換して出力する複数個の受光素子４でなる受光器５と、該通過路の他方の側に配置され、受光器上に被検物の像を投影する光源６と、光源からの光を通して被検物に当てる光学系レンズ７と、被検物が受光素子の配列間隔に相応する所定のピッチ移動する毎に、周期的に変化する電気信号を出力し、該出力信号を演算処理して走行速度などを測定する演算処理手段８とを搭載し、該演算処理手段が、被検物の真値を予め記憶しておき、測定した値と真値との差から補正値を算出して、これを記憶する記憶手段を含み、検出値を補正値に基づいて補正した値で出力するようにした糸速度センサ。 （もっと読む）

【課題】精度の高いホイールアライメント測定方法を提供する。
【解決手段】ホイールアライメント測定方法は、光学式センサを用いて車輪のホイールアライメントを測定する。その場合、測定対象として、光学式センサから出射される光に対するサイドウォールに設けられた突起２２の反射率とその突起２２が設けられていないサイドウォール１８ａの非突起領域２４の反射率とが異なるタイヤを用いる。また、突起２２は、その反射率がサイドウォール１８ａの非突起領域２４の反射率よりも低い材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】信号光成分が小さい一方でノイズ光成分が大きいという状態においても光学式計測装置による計測を実現可能とする技術を提供する。
【解決手段】光学式計測装置は、計測対象物体５の表面の計測対象部分に直線偏光（レーザビーム５３）を照射するレーザダイオード２０２ａと、直線偏光によって照射された計測対象部分の撮影画像が計測対象物体５の表面高さに応じて変化する方向から、計測対象部分を撮影して撮影画像を取得する２次元ＣＣＤ２０３ａと、２次元ＣＣＤ２０３ａの前段に設けられて、入射する光のうち直線偏光の偏光軸に平行な偏光軸を有する偏光成分を抽出する偏光フィルタ２０３ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 例えばガラス基板の表面に付着した異物の影響を抑えて、その裏面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 被検面（２０ａ）の面位置の変位を検出する変位検出装置は、第１乃至第３の光（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）を被検面の第１乃至第３位置へそれぞれ導いて被検面またはその近傍に第１乃至第３の集光点を形成するための、第１乃至第３の光に共通の光学系（３，４，５）と、被検面で反射された第１乃至第３の光に基づいて第１乃至第３位置における第１乃至第３変位情報をそれぞれ検出し、該３つの変位情報のうちの互いに最も類似した２つの変位情報に基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（ＤＳ：５，４，３，６，７，８，９）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】布帛の検査項目、特に炭素繊維織物における開口率を簡便、かつ、高精度で信頼性高く検査を実施する
【解決手段】照明装置により布帛を照明し、撮像装置によって布帛および照明光を撮像して被検査布帛である炭素繊維布帛を検査する方法であって、少なくとも次の工程を有する欠点の最小サイズから検査条件を設定するキャリブレーション工程被検査布帛の検査面における照度が３０〜４００ｌｘの範囲となる条件で布帛画像を撮像する撮像工程撮像した画像の濃度分布からバイナリ画像に変換する前処理工程バイナリ画像から被検査布帛における開口部、炭素繊維糸条の隙間または端部の形状情報を抽出する抽出工程被検査布帛の形状情報から布帛における開口率、炭素繊維糸条幅、炭素繊維糸条の配列密度、糸条の斜行、弧形または布帛総幅を算出する演算工程算出された被検査布帛の情報が欠点であるか否かを判定する判定工程判定結果を出力装置に出力する出力工程 （もっと読む）

【課題】アライメントカメラに高性能な駆動機構を使用することなく、光照射部とアライメントカメラとの位置関係が変化した場合であっても、基板上の正確な位置に描画を行うことができるパターン描画装置およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】パターン描画装置１は、光学ヘッド３２から照射されるパルス光に対する各アライメントカメラ４１〜４４の相対位置のずれ量を検出し、そのずれ量に基づいて基板９のアライメント量および基板９の描画開始位置を補正する。このため、光学ヘッド３２から照射されるパルス光と各アライメントカメラ４１〜４４との位置関係が変化した場合であっても、その変化分を補正しつつ描画処理を行うことができる。したがって、パターン描画装置１は、基板９上の正確な位置に描画を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】マンドレルの操作に用いるサーボモータの数を減少させたねじ付容器の印刷装置を提供する。
【解決手段】ねじ付チューブ１１を保持するマンドレル１２と、そのマンドレル１２を保持するターンテーブル１３と、そのターンテーブルに取り付けられたエンコーダ１４と、定速回転する円筒状のブランケット胴１５と、そのブランケット胴の外面に取り付けられたブランケット１６と、チューブのねじ切り始めを撮影し、その位置情報を検出するカメラ１７、カメラコントローラ１７ａと、マンドレルを軸方向に回転させるサーボモータ２１と、このサーボモータの回転速度を操作するサーボコントローラ１９とからなる印刷装置１０。サーボコントローラは、ターンテーブルが間欠移動するときに、印刷ステーションでチューブの印刷部位の始点と、ブランケットの始点とが当接するように操作し、その後、チューブをブランケットの回転と同期するように操作する。 （もっと読む）

【課題】より精度の高い計測を可能にする光学式変位センサおよびその制御方法を提供する。
【解決手段】制御部２０１は、まず照射指示を出力して（信号ＤＲをＬレベルからＨレベルに変化させて）、投光部２０２に含まれるレーザダイオードの発光を開始させる。そして、制御部２０１は、照射指示を出力してから所定の期間が経過した後に撮像指示を出力して（信号ＳＨＴをＨレベルからＬレベルに変化させて）、受光部２０３に含まれる２次元撮像素子の撮像を開始させる。この「所定の期間」は、レーザダイオードが光ビームを発してから、その光ビームの強度の値が所定値に実質的に達するまでの期間に設定される。これにより２次元撮像素子のシャッタの開放直後から安定した投光条件が維持される。 （もっと読む）

【課題】レーザの反射光を用いて距離画像を形成する侵入検知装置において、反射光の強度が小さいと距離計測値の精度が低下し、侵入者の誤検出や検出漏れを生じやすい。
【解決手段】距離算出部１６は、監視空間へ向けたレーザに対する反射光に基づいて当該監視空間に存在する物体までの距離計測値を距離画像の画素毎に求める。信頼度データ生成部３４は、反射光の受光量に基づいて、距離計測値の信頼度を求める。信頼度は反射光の受光量が大きいほど高い値とされる。背景差分算出部２２は、背景距離画像と監視中の対象距離画像との各画素毎の距離差分値を信頼度に応じて補正し、当該補正後の距離差分値が所定の閾値以上となることに基づいて、背景距離画像と対象距離画像との間での変化画素を抽出する。侵入者判定部２４は、その変化画素に基づいて監視空間における侵入物体の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】解像限界付近にある構造（パターン）の測定精度を改善する装置及び方法の提供。
【解決手段】構造データを求める際の測定精度を改善する装置であって、Ｘ座標方向及びＹ座標方向に走行可能に構成されると共に、微視的観察対象物（２）を保持するために付加的保持装置（６）を担持するよう構成された載物テーブル（４）と、少なくとも１つの光源と、少なくとも１つの対物レンズと、前記微視的観察対象物（２）に形成された構造体（複数）から反射又は透過された光を受光する第１検出ユニット（１５ａ）とを含んで構成された装置において、前記少なくとも１つの光源から出射する（光の）照明強度を検出する第２検出器（１５ｂ）と、計算機（１８）とを含み、前記計算機（１８）は、前記第１検出ユニット（１５ａ）及び前記第２検出ユニット（１５ｂ）によって受光された光から構造データを求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置で使用されるＴＤＩセンサのキャリブレーションを高速かつ高精度に行うことを目的とする。
【解決手段】検査対象となる試料１１３を載置するステージ１１４上に設置した補正用透過部および遮光部をセンサ１１６で撮像して得た電気信号により、該センサの動作条件を補正する第一の補正係数を求める第一の補正係数算出工程と、該試料１１３の一部を撮像して該第一の補正係数に基づいて補正した電気信号により第二の補正係数を求める第二の補正係数算出工程と、該第二の補正係数算出工程で得られた該センサ１１６の特性値に基づいて該センサ１１６の動作条件を設定する動作条件設定工程の各ステップによってキャリブレーションする。 （もっと読む）

【課題】
微細なパターンを高い分解能で検出する欠陥検査方法、その装置及び半導体基板を高歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】
Ｘｅランプ３、楕円鏡４、マスク５とからなる輪帯状の照明を形成するランプハウス２４は、輪帯状の照明光を、ＸＹＺステージ２上に載置された微細パターンを形成したウエハ（被検査対象物）１を、コリメータレンズ６、光量調整用フイルタ１４及びコンデンサレンズ７を介して、円又は楕円偏光変換素子により円又は楕円偏光させて、対物レンズ９を介して照明し、その反射光をハーフミラー８ａ、８ｂ、ズームレンズ１３を介し、反射光の画像をイメージセンサ１２ａにより検出する。ステージＸＹＺを移動させ、センサ１２ａにより走査し画像信号を得る。この画像出力をＡ／Ｄ変換器１５ａにより変換して基準画像と比較して不一致を欠陥として検出するものである。 （もっと読む）

【課題】参照面及び被検面の熱変形による測定誤差を高精度に補正する干渉計測装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】参照面からの反射光と被検面からの反射光を比較測定することで、前記被検面の面形状を測定する干渉計測装置において、光源強度、温度、気圧を検出するための検出手段を有し、該検出手段により取得した情報に基づいて、予め作成しておいた数式モデルに従って前記参照面と被検面の熱変形形状を算出し、該熱変形形状を用いて測定波面より得られる被検面形状データを補正する補正演算装置を有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】適切に動作しないビデオツールを自動的にリカバリーする方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】リカバリー指示のセットがビデオツールと関連付けられ、当該ツールを自動的にリカバリーすることができる。リカバリー指示は、ワーク特徴の画像の取得および検査を左右する特徴検査パラメータを評価して修正するオペレーションを含んでいる。指示のセットは、画像取得パラメータを調整するリカバリーの初期フェーズを含んでいてもよい。画像取得パラメータの調整によってもツールが適切に動作しない場合には、追加的に、ツールの位置などの特徴検査パラメータが調整される。複数の特徴検査パラメータを考慮する順序は、最も効率的に自動ツールリカバリープロセスを実行できるように予め決まっている。 （もっと読む）

【課題】 保護ガラスの汚れを検知する精度を向上させることが可能な光学式測定装置を提供する。
【解決手段】 しきい値９０％，５０％，１０％でそれぞれ、測定対象物の寸法の測定値Ｑ_９０，Ｑ_５０，Ｑ_１０を得る。測定値Ｑ_９０と測定値Ｑ_５０との差（つまり測定値の変位量）が予め決められた基準値以上か判断する。（ｂ）〜（ｄ）は基準値以上の場合を示しており、保護ガラスに汚れが存在する。（ａ）は基準値より小さく、汚れがない。次に、測定値Ｑ_５０と測定値Ｑ_１０との差が予め決められた基準値以上か判断する。（ｃ）はこの基準値以上の場合を示しており、保護ガラスに濃い汚れが存在する。よって、ブザーを鳴らしかつ赤色ランプを点灯させ、オペレータに直ぐに汚れの除去をするように警告する。 （もっと読む）