【課題】担持体および基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時に撮像手段のピントを合わせることができない場合であっても、担持体と基板との位置合わせを高精度に行う。
【解決手段】透明なブランケットを介してＣＣＤカメラで撮像された画像ＩＭから、基板側のアライメントパターンＡＰ１およびブランケット側のアライメントパターンＡＰ２それぞれの重心位置Ｇ1mおよびＧ2mを画像処理により求める。ブランケット側のアライメントパターンＡＰ２については、ピントが合った状態で撮像された画像からエッジ抽出を伴う処理により重心Ｇ2mの位置を特定する。ピントが合わず輪郭がぼやけた状態で撮像された基板側のアライメントパターンＡＰ１については、高い空間周波数成分を除去して低周波成分を抽出し、その結果から重心Ｇ1mの位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】被計測物を精度よく計測することができる３次元計測装置およびそれに用いられる照明装置を提供する。
【解決手段】３次元計測装置１は、被計測物８に円偏光を照射する照明手段２と、照明手段２を移動させる移動手段３とを備える。また、３次元計測装置１は、被計測物８の被照射面からの反射光を受けて上記被照射面を撮像する撮像手段４と、撮像手段４で撮像された撮像画像を用いて反射光の偏光状態を検出し、被計測物８の被照射面の向きを求める演算手段５とをさらに備える。照明手段２は、円偏光を被計測物８の一部に照射する。移動手段３は、被計測物８において被照射面の位置が変わるように照明手段２を移動させる。 （もっと読む）

【課題】物体の形状認識を正確に、かつ、高速に行うことのできる部品実装装置を提供する。
【解決手段】撮像部１０と、輝度変化光を斜めから照射する照射部２０と、対象物および基準点４２を撮像部および照射部に対し第二方向に相対的に移動させて、対象物および基準点を撮像対象領域に対して通過させる移動部４０と、基準点データと対象物データとを取得するデータ取得部と、それぞれの撮像のタイミングＴ１〜Ｔ４での基準点位置と基準点基位置との位置ずれを導出する位置ずれ導出部と、それぞれの撮像のタイミングの対象物基位置に対して、導出された位置ずれを加算して得られた対象物の測定部位の位置に対応する輝度値を取得する輝度値取得部と、取得された輝度値に基づいて、位相シフト法による波形を作成する波形作成部とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像取得動作の連続ストリームが実行モード中に実行されるパートプログラムのマシンビジョンシステム編集環境を提供する。
【解決手段】画像取得動作の連続ストリームが実行モード中に実行されるパートプログラムのためのマシンビジョンシステム編集環境が提供される。一形態では、新しい共通シンタックス及び表現が利用され、２つのステージで実行されるパートプログラムを実行し、そのような連続画像取得動作が通常動作と同じ方法で記録される。最初のステージでは、画像取得の連続ストリームを持つパートプログラムの一部が画像取得動作のためにスキャンされ、画像取得プロセスが開始された後に、画像を取得するために最も効果的な命令が決定される。そして、第２のステージでは、画像取得プロセスが実行されている間に、パートプログラムの一部が再度スキャンされ、そして画像解析動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速に測定対象物の三次元形状を測定する部品実装基板生産装置および三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】部品実装装置であって、撮像部であるカメラ２００と、輝度変化光を発する発光部１３０と、測定対象物の表面における輝度変化光の輝度分布を相対的に第二方向に移動させるヘッド１００と、測定対象物との間の距離が維持されるように配置された基準面部１１３と、基準面部の基準面部位の少なくとも３点の輝度変化光を撮像した結果である基準面データおよび対象物データを取得するデータ取得部１６０と、基準面部における光の輝度分布と基準輝度分布との位相差から、基準面部の所定の位置からの第三方向におけるずれ量を算出するずれ量算出部１７０と、ずれ量を用いて測定部位における光の輝度値を補正する補正部１８０と、補正された輝度値を用い、位相シフト法に用いられる波形を作成する波形作成部１９０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの隙間を高精度に制御することのできる有機ＥＬデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】真空処理室内に設けられたシャドウマスクと、基板を載置する基板ホルダーと、基板とシャドウマスクとの間を、接近させ又は離間させる基板密着手段と、基板ホルダーの四隅に設けられた距離計測機構とを備え、距離計測機構は、基板ホルダーを貫通するように設けられた距離計測用空間と、基板ホルダーの表面上に設けられた透明ガラス板と、距離計測用空間に配置された距離計測部とを備え、距離計測部は、光を発射し反射光を受光して距離を計測する距離計と、距離計を真空処理室内の雰囲気から隔離する距離計筐体と、距離計筐体の一部に設けられた透明ガラス窓とを備え、距離計が、透明ガラス窓を介して透明ガラス板とシャドウマスクとの間の距離を計測するよう、有機ＥＬデバイス製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】管端部の加工部について、寸法精度と加工面の状態とを共に自動的に検査することができ、しかもインライン化が可能なよう検査装置全体のコンパクト化を可能にした、管端検査装置を提供する。
【解決手段】端部を加工した管２の管端加工部を検査する管端検査装置である。管端加工部の形状を計測するレーザ変位計４２と、管端加工部の表面を撮影する撮像装置６２と、レーザ変位計４２及び撮像装置６２を管端加工部の周方向に沿って移動させることにより、レーザ変位計４２のレーザビームスポット及び撮像装置６２の焦点を管端加工部の周方向に沿って周回させる回転テーブル（周回手段）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】生地などのシート体の縁部を正確に検出することができる。
【解決手段】当接部材２０と、当接部材２０に面当接しているシート体Ｗへ向けて検出光を投光する投光部２と、投光部２が投光した検出光を受光する受光部３と、受光部３の受光量を基にシート体Ｗを検出する検出部３５とを備え、投光部２は、シート体Ｗとその縁部Ｗａから外れた外領域とにわたって検出光を投光できるように並設された複数の投光口２ａを有し、受光部３は投光口２ａに個別に対応する受光口３ａを有し、検出部３５は受光口３ａに個別に対応する判断部を有している。 （もっと読む）

【課題】従来の較正方法と比べてあまり時間がかからない較正を適用するより正確な位置測定システムを提供する。
【解決手段】位置測定システムは、第１部分ＥＧおよび第２部分ＥＳと、計算ユニットと、を備える。第１部分および第２部分は、第２部分に対する第１部分の位置を表す位置信号を提供することによって第２部材に対する第１部材の位置を決定する。計算ユニットは、位置信号を受信するための入力端子を含む。計算ユニットは、使用中、位置信号に変換を適用して第２部材に対する第１部材の位置を表す信号を得るように、および、変換に調整を適用して第１部分または第２部分あるいは両方のドリフトを少なくとも部分的に補償するように、構成される。調整は、第１部分または第２部分あるいは両方のそれぞれの所定のドリフト特性に基づく。所定のドリフト特性は、第１部分および／または第２部分の１つ以上の基本形状を有する。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】低いコストで、広い高さ範囲を高精度に計測可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第１の光を発する第１の発光部１１、及び第２の光を発する第２の発光部１２と、第１の光及び第２の光を受ける格子３と、測定物４が配置されるステージ１４と、格子３を透過した第１の光、及び格子３を透過した第２の光の両方が透過する投影光学系５であって、第１の光を第１の入射角で測定物４表面に入射させ、第２の光を第２の入射角で測定物４表面に入射させる投影光学系５と、第１の光による測定物４表面の格子３の第１の変形像、及び第２の光による測定物４表面の格子３の第２の変形像に基づき、測定物４表面の高さの分布を算出する高さ分布算出部と、を備える、形状計測装置。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置を正確に検出することができる高さ位置検出装置および高さ位置検出装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源８１と、強度分布を整形するNDフィルター８３と、集光して被加工物Ｗに照射する集光器７と、第１の経路と第２の経路に導く第1のビームスプリッター８４と、第３の経路と第４の経路に分光する第２のビームスプリッター８６と、第３の経路に分光された反射光を受光する第1のホトデテクター８８ａと、第４の経路の反射光を帯状に通過させるスリット８９１を備えたマスク８９と、マスクを通過した反射光を受光する第２のホトデテクター８８ｂと、第1のホトデテクターによって受光した光量と第２のホトデテクターによって受光した光量との比率を求め、比率に基づいてチャックテーブル３６に保持された被加工物の高さ位置を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の形状を高精度で測定できる形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に所定の光量分布を有するパターン光を形成する照明部と、光が被測定物に照射される照射方向と異なる方向から被測定物に照射されたパターン光の像を撮像する撮像素子を含む撮像部と、像の撮像信号を評価する評価部と、評価部の評価結果に基づき撮像部の撮像結果に対して所定の処理を行うことで被測定物の位置情報を算出する処理部と、を備える形状測定装置に関する。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ素子の共振端面の角度を容易に且つ精度良く測定することができる方法を提供する。
【解決手段】光導波路の光導波方向と交差する方向に並んだ複数の半導体レーザ素子を含む半導体レーザバー２を、共振端面２ａが所定の基準線２１ｂに沿うようにステージ２１の基準面２１ａ上に固定し、半導体レーザバー２の複数の半導体レーザ素子の共振端面からレーザ光Ｌａを出射させ、レーザ光ＬａのＦＦＰを測定し、ＦＦＰのピーク位置により定まるレーザ光Ｌａの出射方向と、所定の基準線２１ｂ及び基準面２１ａとの相対角度から、半導体レーザ素子の共振端面の角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気中で測定対象物を精度良く測定でき、光ファイバを着脱しても、測定精度に影響の無いエリプソメータを提供する。
【構成】投光部１３と受光部１４を筺体１１の内部に配置し、発光装置１２を筺体１１の外部に配置し、光配線装置１８によって、発光装置１２と投光部１３とを光接続する。投光部１３は入射光を偏光して測定光を生成し、測定対象物７に照射し、反射光を受光部１４によって受光して筺体１１の外部に配置された分析装置１５へ送光すると、分析装置１５で膜厚が求められる。測定対象物７を真空雰囲気中で測定でき、光配線装置１８と投光部１３とを着脱しても、相対的に同じ位置で仮固定され、着脱が測定精度に影響を与えない。 （もっと読む）

【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムを提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部（２１ａ〜２１ｃ）と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部（２２ａ、２２ｂ）と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光ファイバセンサおよび光ファイバセンシング方法を提供すること。
【解決手段】パルス状のポンプ光を出力する光源と、前記ポンプ光が入力され、該ポンプ光によってブリユアン散乱光を発生するセンサ用光ファイバと、前記センサ用光ファイバから出力された前記ブリユアン散乱光を受光する受光器と、を備え、入力される前記ポンプ光のパルスの長さの１／２をΔｚ(ｍ)、ピーク光強度をＩ_ｐ(ｍＷ)とすると、前記センサ用光ファイバは、長さをｚ（ｍ）、伝送損失をａ（ｄＢ／ｋｍ）、ブリユアン利得係数ｇ_Ｂと有効コア断面積Ａ_ｅｆｆとの比をｇ_Ｂ／Ａ_ｅｆｆ（ｍ^−１Ｗ^−１）とした場合に、所定の式を満たすように長さｚが設定されている。 （もっと読む）

【課題】複数回印刷ヘッドを走査して爪部に印刷を施す場合に、ｎ回目の走査終了後ｎ＋１回目の走査までの間に指が動いてしまった場合でも、走査ごとの画像のずれを防いで高品質の印刷を行うことのできるネイルプリント装置及び印刷制御方法を提供する。
【解決手段】爪部Ｔを複数の領域に分けて複数回の走査により１つのデザイン画像を印刷する場合に、各回の走査開始前（Ｓ３）に爪部Ｔの位置情報を取得する（Ｓ２）とともに、ｎ＋１回目の走査を開始する前に、ｎ回目の走査開始前の爪部Ｔの位置情報とｎ＋１回目の走査開始前の爪部Ｔの位置情報とを比較して（Ｓ８）爪部Ｔの位置変化を検出して（Ｓ９）、ｎ＋１回目の走査開始前に爪部Ｔの位置変化が検出されたときは、爪部Ｔの位置変化に応じて、ｎ＋１回目の走査を行う際の印刷開始位置を補正し（Ｓ１０）、この補正後の印刷開始位置から、次の印刷を開始するように印刷制御する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】温度に依存する長さの変化を正確に測定することができる膨張計を提供する。
【解決手段】試料３を固定することのできる試料ホルダ４、１４と、試料３を加熱するために試料３に配置される少なくとも１つの誘導コイル５と、試料３の温度を測定する少なくとも１つのセンサとを備える、金属試料３を測定する膨張計１であって、試料３の長さの変化を検出する光学測定装置６、９が備えられている。これにより、温度に依存する、試料の長さの変化を正確に測定することができる。 （もっと読む）