【課題】熱的に補償されたクロマティック共焦点センサ用のレンズ構成を提供する。
【解決手段】熱補償を含む色分散レンズ構成が色範囲感知用のクロマティック共焦点センサ光学ペンに用いられ得る。レンズ構成は負の屈折力の複レンズおよび正の屈折力のレンズ部分を含み得る。正の屈折力のレンズ部分は、クロマティック共焦点センサ光学ペンの全体的な熱感度を補償する少なくとも２つのレンズ素子を含む。熱感度を補償する正の屈折力のレンズ部分のレンズ素子は、小さくても１０ｐｐｍ／℃の範囲にある平均熱焦点ずれ係数を有する。レンズ構成は、標準の市販のクロマティック共焦点センサ光学ペンに適合する一方、色範囲感知に十分な光学性能レベルを維持する寸法で実装できる。 （もっと読む）

【課題】小径の管体にも使用可能で、内径寸法が軸方向で変化する管体でも簡単に内径を測定できるレーザ方式の内径測定装置を提供することである。
【解決手段】先端側が管体２０に挿入されるアーム１の基端側に、周方向の３箇所でレーザ光を管体２０の軸方向に管体内へ向けて発射する発光部２ａと、管体内から戻る反射光を受光する受光部２ｂを備えたレーザ変位センサ２を取り付け、アーム１の先端側に、各レーザ変位センサ２と同じ周方向で、各発光部２ａから発射されたレーザ光を、外方の管体２０の内径面に向けて直角に方向転換し、外方に向けられたレーザ光の管体２０の内径面での反射光の一部をアーム１の基端側へ向けて方向転換するプリズム３を取り付け、各レーザ変位センサ２の検出値から管体２０の内径面でのレーザ光の反射位置を求め、求めた３点の反射位置から管体２０の内径を演算する演算手段を設けたものとした。 （もっと読む）

【課題】画像情報を基に自己位置を計測する自己位置計測装置において、画像処理の負担を低減し、消費電力の低減を実現する自己位置計測装置を提供する。
【解決手段】自己の位置を計算する自己位置計測装置３０において、所定の空間における照明光源２０を含む画像を画像情報２２として取得する画像情報取得手段と、画像取得手段により取得された画像情報２２から、照明光源２０の画像である抽出照明光源画像情報２４を抽出する照明光源画像抽出手段と、照明光源画像抽出手段により抽出された抽出照明光源画像情報２４を記憶する第一の記憶手段２５と、照明光源２０の個々に関する情報である参照照明光源画像情報２６を予め記憶する第二の記憶手段２７と、抽出照明光源画像情報２４及び参照照明光源画像情報２６に基づいて自己の位置を計算する自己位置計測手段２８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】加工機に設けられた対向する２つの回転軸間のスラスト方向における相対変位を、正確にかつ容易に算出することができる測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】互いに平行に支持された一対の回転軸３Ａ、３Ｂと、該一対の回転軸３Ａ、３Ｂの対向する所定位置にそれぞれ少なくとも一対の固定具を固定できる工具固定手段とを具備した加工機において、同一の板厚で非円板形状に形成された一対のゲージ部材１１Ａ、１１Ｂを回転軸３Ａ、３Ｂの基準面から軸方向に同距離の測定位置に固定し、一対のゲージ部材１１Ａ、１１Ｂの互いの回転位相を一定角度ずらした状態を維持しつつ一対の回転軸を同一速度で回転するとともに、該一対の回転軸３Ａ、３Ｂと一体に回転している一対のゲージ部材１１Ａ、１１Ｂのスラスト方向位置を非接触式センサ１３によって検出する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造方法に係り、例えばＣＤ−ＳＥＭとスキャトロメトリを併用し、処理工程等をより適切に制御できる技術を提供する。
【解決手段】本半導体装置製造方法では、半導体デバイスの製造の処理工程に関する寸法等をＣＤ−ＳＥＭ（第１の計測手段）とスキャトロメトリ（第２の計測手段）との両方で計測する（Ｓ２０２，Ｓ２０３等）。ウェハ内の複数の計測点に関し、第１及び第２の計測手段の計測値を用いて、誤計測を検出・補正する（Ｓ２１０等）。この際、例えば、ロット内の各ウェハの第２の計測手段の計測値の平均値を用いて処理する。また第１及び第２の計測手段のロットの各ウェハの計測値の平均値を用いて処理する。補正した計測値に基づき、制御対象の工程（Ｓ２０７）の処理条件の制御パラメータを計算（Ｓ２１３）し、変更する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価に回転軸体の軸線方向に直角な方向のたわみ量や軸ねじれを非接触にて測定できる計測装置を提供する。
【解決手段】被計測物である回転軸体１０の外周面に設けられてその回転とともに回転運動するターゲット体１１ａ、１１ｂによって前記回転軸体１０の軸線方向に略平行に照射される発光部３からの光線の光路を周期的に横切らせ、当該ターゲット体１１ａ、１１ｂにより遮光されない光線または反射光を受光・演算表示部４で受光するようにしておき、前記回転軸体１０のたわみ変形に起因する前記ターゲット体１１ａ、１１ｂの被照射面における前記光線の照射位置の変化を検出し、当該検出結果に基づいて前記回転軸体１０のたわみ量を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクのパターン寸法をパターン形状が次世代フォトマスクのように複雑な形状であっても精度良く測定することのできるパターン寸法測定方法を提供する。
【解決手段】フォトマスクのパターンを撮像してパターン寸法を測定する際に、パターン画像の画素数をパターン寸法に変換するパターン寸法変換式をテストパターンの寸法計測値とテストパターン画像の画素数とから求めておき、パターン画像の画素数をパターン寸法変換式によりパターン寸法に変換してフォトマスクのパターン寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】 移動体の撮影画像の処理に対してＰＴＶ法を用いなくても合理的な画像処理をすることによって、的確な三次元表示を可能とする移動体画像データ処理を可能とする技術を提供する。
【解決手段】 複数台のカメラにて所定空間をステレオ撮影し、時系列に連続する左右の画像データに写った移動体を検出して三次元移動軌跡を解析するための装置である。 時系列に連続撮影された画像データを前記複数台のカメラから入力する画像入力手段と、 その画像入力手段に入力された画像データから画素を合成してカメラ毎に二次元軌跡画像を作成する二次元軌跡画像出力手段と、 カメラ毎に作成された二次元軌跡画像から三次元のボクセルデータを作成する三次元ボクセルデータ演算手段とを備えた移動体画像データ処理装置とする。 （もっと読む）

【課題】
被写体の三次元計測時に用いる投影パターンをより高い密度で投影できるようにした技術を提供する。
【解決手段】
情報処理装置は、複数の計測線パターンと、当該複数の計測線パターンに対して複数の交点を有するとともに交点間の形状が特徴付けられる基準線パターンとを含むパターンデータを生成し、当該生成されたパターンデータに基づく投影パターン光が投影された被写体を撮像した撮像画像を入力し、当該撮像画像から交点を抽出し、撮像画像における基準線パターン上の交点間に特徴付けられた形状の一次元的又は二次元的な配置を示す情報を同定情報として取得し、当該同定情報に基づいてパターンデータにおける基準線パターンと撮像画像における基準線パターンとを対応付け、当該対応付け結果に基づいてパターンデータにおける計測線パターンと撮像画像における計測線パターンとを対応付ける。 （もっと読む）

【課題】撮像手段の視野よりも大きい被測定物を測定する場合であっても被測定物を適切に測定することができる画像測定機の提供。
【解決手段】画像測定機１は、被測定物、及び撮像手段２１を相対的に移動させて撮像手段２１に複数の画像を撮像させる撮像制御部３２と、撮像手段２１にて被測定物を撮像する位置を取得する位置取得部３３と、撮像制御部３２にて撮像される各画像を重畳させて連結させることで連結画像を生成する連結画像生成部３４と、位置取得部３３にて取得される位置に基づいて、連結画像を生成する際に連結部分で生じる誤差を連結部分ごとに算出する誤差算出部３５と、連結画像における画素の数に基づいて、被測定物を測定する画像測定部３６と、誤差算出部３５にて算出される連結部分ごとの誤差に基づいて、画像測定部３６による測定結果を補正する補正部３７とを備える。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどに形成されたホールパターンのラフネスを定量化する際に定量化すべき箇所を人為的に指定したりすることなくラフネスを迅速かつ正確に定量化することのできるホールラフネス定量化装置及びホールラフネス定量化方法を提供する。
【解決手段】計測対象パターンとリファレンスパターンの輪郭線から計測対象パターンのラフネスを定量化する際に、計測対象パターンの輪郭線上に位置する複数点の位置座標とリファレンスパターンの輪郭線上に位置する複数点の位置座標との差分距離を算出し、算出された差分距離に基づいて計測対象パターンのラフネス値を算出する。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を高精度かつ短時間で測定する。
【解決手段】被検物の表面で反射された物体光と参照光との光路差によって得られる干渉縞を解析する形状測定装置を用いて被検物の表面形状を測定する本発明の形状測定方法は、参照面を第１位置に固定して被検物の複数の位置における第１干渉縞を取得する第１工程と、参照面を参照光の光軸上の第２位置に固定して、複数の位置における第２干渉縞を取得する第２工程と、参照面を参照光の光軸上の第３位置に固定して、複数の位置における第３干渉縞を取得する第３工程と、第１干渉縞と、第２干渉縞と、第３干渉縞とを用いて、被検物の複数の位置における干渉縞の位相解析を行う位相解析工程Ｓ２０とを備え、第１干渉縞、第２干渉縞、及び第３干渉縞の少なくとも１つは、被検物を形状測定装置に対して相対移動させながら複数の位置の近傍で断続的に取得された複数の干渉縞に基づいて取得される。 （もっと読む）

【課題】
物体の位置及び姿勢の計測に際して、各エッジに信頼度を付与したモデルを用いて位置姿勢算出処理に対する各エッジの寄与度を変更するようにした技術を提供する。
【解決手段】
３次元計測装置は、３次元幾何モデルを用いて計測対象物体を複数の異なる視点から観測した複数の視点画像を生成し、当該複数の視点画像各々から計測対象物体のエッジを第２のエッジとして検出し、３次元幾何モデルにおける第１のエッジ各々に対して第２のエッジを対応付けた結果に基づいて第１のエッジ各々の信頼度を算出し、当該信頼度を３次元幾何モデルに付与した信頼度付きモデルを生成する。 （もっと読む）

【課題】ユーザの視線を精度よく計測できる視線計測装置、方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】この視線計測装置１は、光源７，７からユーザの眼球に向けて照射された光の反射光をカメラ２，２で撮像する撮像手段と、この撮像データを眼球モデルに適用することにより、前記ユーザの注視対象に対する視線を計測する視線計測手段とを備え、眼球モデルは、眼球の光軸を中心として自由曲線を回転することによって構成される回転面からなる非球面回転体モデルであることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】距離画像の欠損領域（無効領域）を特徴として利用した、対象物体の３次元位置姿勢の推定を可能にすることを目的とする。
【解決手段】３次元形状が既知である対象物体の３次元の位置姿勢を計測する位置姿勢計測装置であって、対象物体までの距離情報が画素値として保持された距離画像を撮像する撮像部と、距離画像から、撮像部と対象物体との距離情報が取得できない領域である無効領域を選別する選別部と、無効領域の特徴を示す特徴量を抽出する抽出部と、距離画像を撮像した時の撮像部と対象物体との相対的な位置姿勢を示す情報と、撮像部により複数の異なる方向から撮像された距離画像ごとの特徴量とを関連付けて記憶する記憶部と、抽出部により抽出された特徴量に対応する記憶部に記憶された特徴量を求めて、当該求められた特徴量と関連付けられた位置姿勢を示す情報から対象物体の３次元の概略位置姿勢を決定するする概略位置姿勢決定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 物体・撮影環境において、安定的に物体の位置及び姿勢を計測することを目的とする。
【解決手段】 物体を撮影した撮影画像を入力する。物体の３次元座標を含む距離画像を入力する。撮影画像から画像特徴を抽出する。画像特徴に対応する距離画像上の位置における３次元座標から、画像特徴が物体の形状を表すか否かを判別する。物体の形状を表すと判別された画像特徴と物体の形状を有する３次元モデルの一部とを対応付ける。対応付けに基づいて、物体の位置姿勢を推定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の大きさに関わらず、非破壊でビードののど厚を算出可能なビード検査方法及びビード検査装置を提供する。
【解決手段】ビードＢの品質を検査するビード検査工程Ｓ１及びビード検査装置１であって、ビード検査装置１は、ろう付けワイヤＷの供給速度を計測するワイヤ供給速度計測装置１１と、第一母材Ｍ１、第二母材Ｍ２、及びビードＢの表面の位置座標データを計測し、解析する解析部１２とを具備し、ろう付け前に第一形状データを計測する第一形状データ計測工程Ｓ１０を行い、ろう付け後に第二形状データを計測する第二形状データ計測工程Ｓ３０を行い、第一形状データ、第二形状データ、及びろう付けワイヤＷの供給速度に基づいて、特徴量の予測値を算出する特徴量算出工程Ｓ４０を行い、特徴量の実測値と、のど厚の実測値とに基づいて作成される回帰式によってのど厚の予測値を算出するのど厚算出工程Ｓ５０を行う。 （もっと読む）

【課題】 端子取付部の画像を撮影して端子圧着不良の検出を行うに当たって、画像の位置調整の処理を簡単化する。
【解決手段】 端子付き電線４を移動させたまま端子部の画像データをカメラ２で撮影し、取得した画像データについて、所定の枠内において、電線を横切る方向に、複数回平行に走査して各ライン毎に輝度の重心点を求め、各重心点に基づいて第１の座標軸を決定する。また、前記画像データ全体について、電線を横切る方向に、複数回平行に走査してライン毎に、隣接する画素間の輝度の差を積算して、積算値の変化パターンを生成し、該変化パターンを前記第１の座標軸方向に移動させながら、基準パターンと比較し、最も一致する位置に基づいて、前記第１の座標軸と直交する第２の座標軸を決定する。そして、両座標軸を基準として前記画像データの位置を調整し、端子圧着状態の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】３次元形状モデルと計測データとの対応付けの演算の効率化を図り、対象物体の位置及び姿勢の算出を高速化する。
【解決手段】３次元計測装置は、対象物体の３次元形状モデルの幾何特徴上の点を選択し、対象物体の位置及び姿勢を示す概略値と距離画像の撮影時の撮影パラメータとに基づいて当該選択された幾何特徴上の複数の点を距離画像上に投影し、投影点から所定範囲内の領域で３次元形状モデルの幾何特徴に対応する距離画像上の幾何特徴を探索して対応付ける。そして、当該対応付けられた３次元形状モデルの幾何特徴と距離画像上の幾何特徴との３次元空間における距離の差を用いて対象物体の位置及び姿勢を算出する。 （もっと読む）

【課題】 標準的な形状の三次元形状モデルに比して、形状のばらつきを持つ物体であっても、当該物体の位置姿勢を高精度に推定する方法を提供する。
【解決手段】 物体の三次元標準形状を表す三次元モデルを構成する特徴のずれの統計量を推定し、特徴ごとに信頼度を決定する。撮像装置によって取得した観測データから抽出した特徴と三次元モデル中の特徴とのずれ量を算出する。三次元モデルから抽出した各特徴に関するずれ量と信頼度とに基づいて、物体の三次元位置姿勢を推定する。 （もっと読む）