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Fターム[2F065QQ01]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 信号処理 (28,761) | サンプリング (206)

Fターム[2F065QQ01]に分類される特許

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【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム1は、光源10、コリメータ12、単一の受光素子41、チューナブルフィルタ40及び演算装置15を備える。コリメータ12は、光源10からの測定光を測定対象物の第1主面へ出射するとともに、第1主面及び第2主面からの反射光を入射する。単一の受光素子41は、コリメータ12からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ40は、受光素子41に入射される光の波長を掃引する。演算装置15は、チューナブルフィルタ40及び受光素子41を用いて、波長に依存した強度分布であって第1主面及び第2主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 (もっと読む)


【課題】管の内面曲がりを定量的に測定できるとともに、様々な内径の鋼管に対応できる管の内面曲がり測定装置およびそれを用いた測定方法を提供する。
【解決手段】被測定材である管の長手方向に移動可能なヘッド21と、ヘッド21によって管10の周方向に揺動可能に支持され、管10の内面までの距離を測定する第1距離計22と、管10の長手方向におけるヘッド21の位置を測定する第2距離計(図示なし)と、ヘッド21の移動および第1距離計22の揺動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする管の内面曲がり測定装置20である。本発明では、内面曲がり測定装置20が管10の長手方向に垂直な面におけるヘッド21の変位を測定する変位計を備え、ヘッド21を、管10を長手方向を水平にした状態で該管の内面上を走行する走行機構、および、第1距離計22の揺動軸を水平に維持する維持機構を有する走行装置に設けるのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】被検物の表面形状を短時間で測定可能な形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定方法は、n=1〜N(Nは3以上の整数)とし、参照光の光軸上において異なるN個の位置を第1位置〜第N位置と称するとき、参照面を第n位置に固定し、物体光を被検物の光軸と所定の角度をなす方向から照射して、被検物をその光軸を中心に回転させながら、干渉縞を、被検物上で重複領域を有して隣接し合う複数の領域ごとに取得される複数の第n干渉縞として取得する第n工程を備え、第1工程から第N工程を行う干渉縞画像取得工程S11の後に、複数の領域のそれぞれに対応する干渉縞を用いて位相解析を行い、部分表面形状データを取得する位相解析工程S12と、部分表面形状データを重複領域でつなぎ合わせて被検物の輪帯状領域又は全体の表面形状データを取得する統合工程S13と、を備える。 (もっと読む)


【課題】試料の表面形状を測定する際に、干渉波形の包絡線と位相との両方に基き試料の表面形状を算出できるようにした走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】撮影した動画ファイルデータに基づき、試料の表面上の位置に対応する各画素において、ヒルベルト変換を用いて干渉波形の包絡線と位相を算出し、包絡線がピークになる走査位置と、位相が0になる走査位置を算出し、両位置の差から、試料表面の反射光の位相変化による位置ずれの値を検出し、その値の大きさから、その画素の試料表面が他の画素の試料表面と同種であるか異種であるかを判定し、同種のもの同士で干渉波形の位相が0になる走査位置のずれの平均値を算出しておき、各画素で、位相が0になる位置から対応する試料の表面上の物質での位相が0になる走査位置のずれの平均値を引くことで、反射光の位相変化の影響が消されて試料の表面形状が測定される。 (もっと読む)


【課題】複数の測定対象物それぞれの形状に応じた波形の比較を、作業者に簡易且つ正確にさせることが可能な技術を開示する。
【解決手段】変位センサシステム10は、変位センサ11、表示画面33Aを有する表示部33、制御回路30を備え、制御回路30は、変位センサ11から出力された測定信号SG3に基づき、複数のワークWそれぞれの形状に対応した複数の信号波形V1〜V4それぞれについて当該信号波形のうち基準レベルを示す部位である基準部位X1〜X4を抽出する抽出処理と、当該抽出処理で抽出された基準部位X1〜X4同士を一致させた状態で、複数の信号波形V1〜Vを表示画面33Aに表示させる表示処理とを実行する。 (もっと読む)


【課題】被検物が撮像画像上を移動した場合でも、良好な検波処理画像を得ることができるカメラシステムを提供する。
【解決手段】パルス光を被検物に照射する投光手段30と、前記パルス光が照射される領域を含む領域を繰り返し撮像する撮像手段20と、前記撮像手段で撮像された画像の画像信号を記憶する記憶手段40と、前記記憶手段に記憶された画像信号に対して、同期検波処理を行なって、前記投光手段から照射される前記パルス光の点灯消灯のタイミングに同期した検波処理画像を生成する同期検波処理手段と、前記被検物の移動速度を算出する移動速度算出手段と、前記移動速度算出手段により算出された前記被検物の移動速度に基づいて、前記被検物が撮像画像上を移動することにより前記検波処理画像内に発生するノイズ成分を低減するための補正を行なう補正手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】被検物が撮像画像上を移動した場合でも、良好な検波処理画像を得ることができるカメラシステムを提供すること。
【解決手段】所定周期で点灯消灯するパルス光を被検物に照射し、前記パルス光が照射される領域を含む領域を繰り返し撮像し、撮像された画像の画像信号に対して、画素ごとに同期検波処理を行なって、照射される前記パルス光の点灯消灯のタイミングに同期した検波処理画像を生成する際において、撮像画像上における前記被検物の移動速度に基づいて、画像信号の読出し画素位置を変更するとともに、単位画素未満の移動量が検出された場合には、検出した単位画素未満の移動量に基づいて、読出し画素位置を変更した画像信号の信号出力を補正するカメラシステム。 (もっと読む)


【課題】マーカを精度良く認識する点について改善された情報処理プログラム等の提供。
【解決手段】情報処理装置のコンピュータを、画像を逐次取得する画像取得手段、取得された画像から特定対象を検出する特定対象検出手段、検出された特定対象の中央領域から得られた画素値に基づいて、当該中央領域に関連する第1領域情報を検出する第1領域情報検出手段、その検出結果が所定の条件を満たすか否かを判定する第1判定手段、特定対象のうち中央領域の周辺に存在する周辺領域から得られた画素値に基づいて、当該周辺領域に関連する第2領域情報を検出する第2領域情報検出手段、および少なくとも、第1判定手段による判定結果が肯定である場合に第2領域情報検出手段により検出された第2領域情報を出力する出力手段として機能させるための情報処理プログラム。 (もっと読む)


【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部(20)と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部(静止判定部58)と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部(座標算出部53)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 レーザ計測等によって得られた3次元の点群データから対象物を精度よく検出する。
【解決手段】 レーザ計測によって得られた3次元の点群データに対して、ノイズを除去するためのリサンプリング処理を施す。そして、予め用意されたテンプレートとのマッチングを行う。テンプレートマッチングでは、まず、点群データおよびテンプレートを、共に所定サイズの格子に区切り、各格子内に存在するデータ点数をその格子の特徴量とする。こうして定義された特徴量に基づいて、点群データとテンプレートとを照合することによって、両者の位置関係、一致/不一致を比較的容易に判定することができる。テンプレートマッチングによって対象物が検出された後は、ICPマッチングによって、テンプレートと点群データとの位置関係をより精密に合致させ、対象物の検出を行う。 (もっと読む)


【課題】 落射照明画像用のエッジ位置測定値補正を提供する。
【解決手段】 精密マシンビジョン検査システムにおける落射照明画像エッジ位置誤差を補正するための方法が開示される。方法には、落射照明光および透過照明光を用いてワークエッジ特徴のエッジ位置測定値を比較することが含まれる。透過照明光を用いたエッジ位置測定値は、落射照明より不確実性が低い。位置補正係数が、2つのエッジ位置測定値間の差から決定され得る。位置補正係数は、落射照明光を用いて取得された画像に基づく後続のエッジ位置測定値を補正するために記憶してもよい。いくつかの実施形態において、位置補正係数は、複数のエッジ用のエッジ位置測定値の比較に基づいて決定してもよい。 (もっと読む)


【課題】 膜厚測定方法及び膜厚測定装置に関し、簡単な装置構成により、高速且つ高精度で基板上に形成された大面積の薄膜の膜厚を測定する。
【解決手段】 測定対象となる試料一方向に移動させながら、可視光乃至近赤外光領域の線状の連続波長光を前記試料に照射し、試料からの反射光を1ライン毎に撮像手段により撮像し、撮像した1ライン毎の試料の位置と波長とを座標とした各分光波形データについて、各所定の位置毎に第1主成分乃至第K主成分を求めて第1主成分乃至第K主成分のセットからなる分光波形特徴データを作成し、各所定の位置毎に分光波形特徴データを参照用テーブルと比較して最も一致度の高い膜厚値を求め、各所定の位置毎に求めた各膜厚値から二次元膜厚分布を作成する。 (もっと読む)


【課題】腕金以外の他の物体を誤検知することなく腕金だけを走行的に安全に検知する。
【解決手段】検測装置は、検測車に搭載された測長センサ手段を用いて電気供給用サードレールの保護板の上面に光を照射し、保護板から反射する反射光を受光することによって保護板上面における変位量を検出し、測長センサ手段によって検出された保護板上面における変位量に基づいて保護板の取付け金具である腕金の位置を検出する。防護板には腕金以外に取付けボルト等の構造物がある。この発明ではレーザ光を用いた測長センサ手段を用いて防護板上面における変位量を検出し、腕金の存在及びその位置を検出する。測長センサ手段によって検出された変位量が保護板上面から腕金の上部までの高さに対応し、その検出幅が腕金の板厚に対応するので、これらの値を腕金の高さ及び幅を示す基準値と比較して腕金のみを検出する。 (もっと読む)


【課題】ロボット、位置推定方法及びプログラムにおいて、比較的簡単、且つ、正確に観測対象であるユーザの位置を推定することを目的とする。
【解決手段】回転可能なカメラの撮像画像から観測対象の人物の領域を検出し、検出された人物の領域に対して、カメラの回転角度を含む観測状況に基づいて複数の推定粒度の情報を有するパーティクルの推定粒度を変更し、各推定粒度を用いて観測対象の位置を推定するように構成する。 (もっと読む)


【課題】 パターン画像を高速に投影して撮像する為の技術を提供すること。
【解決手段】 ストライプ状の模様が記されたパターン画像を定期的に送信するPC201から、該パターン画像を受信する。パターン画像の送信周期内に、パターン画像におけるそれぞれ異なる水平ラインごとに、該水平ライン上の画素群を繰り返し用いて形成される投影画像を投影部207に入力する。投影部207が投影画像を投影する毎に、該投影のタイミングでカメラ103に撮像させる。 (もっと読む)


【課題】軌道輪表面の仕上がりの良否を簡易にかつ自動的に判断可能であり、製造コストが安価であると共に検査処理が簡単でありしかも精度の高い検査が可能な転がり軸受の表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査表面に対しレーザ光を照射し、表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、受光した光強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、レーザ光照射部を軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査手段と、レーザ光送受手段を軌道輪の軸に沿って移動する軸方向走査手段と、周方向走査の各位置において、光電変換手段から出力される電気信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、ハレーション個数計数手段により計数されたハレーション個数に応じ、軌道輪の良否を判断する判断手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部3に一体に平面ダイクロイックミラー10及び球面ミラー16を設ける。オートコリメータ光学系5により平面ダイクロイックミラー10の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系12により球面ミラー16のX,Y軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部42bは、測定した平面ダイクロイックミラー10の傾斜量及び球面ミラー16のずれ量に基づいて、プローブ先端部3において被測定物4の表面に接触する接触点となる球19の基準位置に対するX,Y軸方向のずれ量を算出する。推定部42cは、ずれ量算出部42bにより算出されたずれ量から、プローブ先端部3の球19のX,Y軸方向の位置を推定する。 (もっと読む)


【課題】被検物の一部に単位距離あたりの形状変化が大きい部分があっても、データ取得時間を短くする。
【解決手段】検査光を被検物に照射する照射部21と、検査光と被検物とを相対移動させる移動部と、検査光が照射された被検物を撮像し、撮像結果を出力する撮像部22と、撮像部22の撮像結果に基づいて、前記被検物の三次元形状を前記相対移動の方向に間隔をおいて演算する座標算出部53と、被検物の形状に応じて前記間隔を変更する制御部41と、を備える。 (もっと読む)


【課題】交点間隔を正しく求め、精度良く三次元計測を行える三次元計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】明部と暗部を交互に配置する第1のパターン光と、前記第1のパターン光の位相をずらした第2のパターン光とを測定対象物に投影する投影手段と、第1または第2のパターン光が投影された測定対象物を撮像する撮像手段とを有する三次元計測装置は、撮像手段により得られた、第1及び第2のパターン光の画像データの階調値から、-階調値の交点位置を算出して三次元位置を計算する。ここで、パターン光の明部と暗部の繰り返しの周期を1周期とし、撮像手段が有する1画素が測定対象物面上において撮像する範囲を撮像間隔とし、投影されたパターン光の測定対象物面上での1周期の長さを撮像間隔のM倍としたときに、「2×N−0.2≦M≦2×N+0.2(ただし、Nは2以上の整数値)」を満たすように投影手段と撮像手段が配置されている。 (もっと読む)


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