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Fターム[2F065QQ02]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 信号処理 (28,761) | ピークホールド (43)

Fターム[2F065QQ02]に分類される特許

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【課題】スピンドルに取り付けられて高い回転数で回転する極小径丸棒若しくは極小径工具の動的振れを測定可能な極めて実用性に秀れた測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源からの光線を被測定部材へ導くレンズ系と、被測定部材を介して光線を受光する複数のフォトダイオードとを備える光学系を有し、フォトダイオードでの受光量をもとに被測定部材の位置若しくは振れ量を測定する測定装置であって、光学系の光軸方向視において、複数のフォトダイオードにして被測定部材の軸心と交差する辺部が全て直線であり、複数のフォトダイオード間には、被測定部材の軸方向に対して傾斜する少なくとも1つのギャップを設け、このギャップの両端部は被測定部材の外形より外方に位置させ、ギャップを形成するフォトダイオードの辺部以外の被測定部材の軸心と交差する辺部がギャップと平行でないように構成する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で距離を測定可能なレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部11、出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段30で反射された反射光を集光する光束径変更部14、反射光を受光する受光部16、出射光と反射光を用い、反射手段30までの距離を算出する算出部18、その距離の変位を検出する変位検出部21、検出された変位に関する出力を行う変位出力部22、拡張前の出射光と、光束径変更部14からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部11からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部14に透過または反射させ、光束径変更部14からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部16に反射または透過させる反射部17aを備え、光束径変更部14は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい。 (もっと読む)


【課題】段差候補となる期間を検出してから、ベルトコンベア等の搬送装置の振動等による変位量の変動、時間方向の変位量の変動の影響を低減し、より確実に段差を検出することができる光学式変位センサ及び該光学式変位センサにおける段差検出方法を提供する。
【解決手段】受光器の出力に基づいて検出対象物の変位量を算出し、所定のタイミングでサンプリングする。前回サンプリングした変位量と今回サンプリングした変位量との差分値を算出し、算出した差分値に基づいて段差期間と非段差期間とを判別する。段差期間と判別された期間における差分値の積算値を算出し、段差期間と判別された期間ごとに算出した積算値の最大値と第一の閾値とを比較して段差であるか否かを判別する。 (もっと読む)


【課題】ユーザ所望の測定モードが正しく選択されているか否かを直感的に認識可能とし、かつ投光器の投光面及び受光器の受光面に汚れが付着した場合に速やかに適切な処置が可能な透過型寸法測定装置を提供する。
【解決手段】コントローラに測定領域の始点及び終点を選択するための複数の測定モードから一つの測定モードの選択を受け付ける測定モード選択手段を設け、選択された測定モードと測定対象物による遮光領域に基づいて設定される測定領域を、その他の領域と識別可能に表示する測定領域表示部を備える。 (もっと読む)


【課題】
装置高さが低くかつ小型化が可能なトロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レール横断方向に配列された単色光光源複数個によりスリット状の投光光を生成してトロリ線の摺動面に照射する投光ユニットと、第1の受光器、単色光の波長範囲を除去するフィルタを介してトロリ線からの反射光を受ける第2の受光器とを設け、2つの受光器の受光信号の差により摺動面についての検出信号を得るものである。 (もっと読む)


【課題】
装置高さが低くかつ小型化が可能なトロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レール横断方向に配列された単色光光源複数個によりスリット状の投光光を生成してトロリ線の摺動面に照射する投光ユニットを設け、投光ユニットを所定の周期でパルス駆動することで投光光をパルス状の光としてトロリ線の摺動面に照射する。そして、投光光が照射されたときとそうでないときのトロリ線からの反射光をの受光信号の差により摺動面についての検出信号を得る。 (もっと読む)


【課題】2次元画像生成時にZ軸真直度の機械的な誤差に基づく画素のずれを補正し、2次元画像の2点間の幅測定を正確に行える次元測定装置を提供する。
【解決手段】共焦点顕微鏡10は、Zステージ21によりZ軸方向に移動可能に設けられ、試料16に対して異なるZ位置での焦点画像を測定カメラ18で撮像し、制御ユニット20へ出力する。制御ユニット20は、Zステージ21のZ軸真直度のずれに基づく画素のずれを補正する補正テーブル201を備えている。制御ユニット20は、カメラ画像取込時にZ軸の高さ位置をリニアスケール23から読取り、補正テーブル201に記憶されている補正データに基づいてカメラ画素の位置を補正し、最大値メモリに保持されている最大輝度値と比較して2次元画像を生成し、Z軸真直度のずれに起因する画素の位置ずれを防止する。 (もっと読む)


【課題】計測範囲が狭く計測距離が限られ、ホールド機能を備えた距離センサを用いて、高精細な画像露光を可能とする。
【解決手段】制御ユニットは、予めレーザー光源部を発光させて、基板材料を載置した移動テーブルの計測移動を開始し、距離計測のタイミングとなると、距離センサで計測される距離Dを読込み、計測終了タイミングで距離Dの読込みを終了する(ステップ100〜110)。この後、基板材料への走査露光が開始されたか否かを確認し、露光処理が開始されるとレーザー光源部の発光を停止し、距離センサでの計測値のホールドを解除し(ステップ112、114)、計測値がホールドされていることにより、有効レンジ外の基板材料に対して誤計測が生じるのを防止する。また、基板材料への走査露光が終了すると、レーザー発光部での発光を開始し、次の基板材料に対する距離計測が可能となるようにして(ステップ116、118)。 (もっと読む)


【課題】
撮像素子の出力信号の評価値に複数のピークが検出された場合であっても、フォーカス位置のばらつきを抑制するようにした技術を提供する。
【解決手段】
撮像素子と撮像素子の撮像面に被検物体の像を形成する光学系とを有する光学位置検出装置のフォーカス位置を検出する位置検出方法であって、光学系の光軸方向における被検物体の位置と撮像素子の出力信号の評価値との関係を求め、当該求めた関係において評価値のピークが複数ある場合、基準フォーカス位置に近い位置のピークを選択し、当該選択したピークの位置をフォーカス位置として検出する。 (もっと読む)


【課題】複数の測定対象物の測定が可能な変位センサを提供すること。
【解決手段】コントローラ10は、トリガが発生する毎に、サンプルトリガ蓄積数分の測定データを第1の記憶回路13に記憶するとともにデータアドレスをカウントアップする。トリガ発生毎に測定データを第1の記憶回路13に記憶することで、複数の測定対象物の高さの測定が可能となる。データアドレスはトリガの発生回数に対応する。従って、データアドレスに基づいてトリガの発生回数、即ち測定対象物の数をカウントすることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】従来の線幅測定装置の自動調光を共焦点顕微鏡を有する高さ測定装置に適用すると輝度値とZ座標のグラフがZ軸移動範囲の殆どで、最大輝度値に達したり、Z軸移動範囲の殆どで輝度値が低いことがあり、カメラのダイナミックレンジを有効に利用することができないため、精度の悪い測定となっていた。
【解決手段】本発明は高さ測定を行う前に、高さ測定と同様な処理で求めた画像で、予め設定した画像領域のピーク値若しくは代表値を光量のパラメータとし、指定された範囲にパラメータが入るか否かで、自動調光を行い、最適な光量値を求めることが可能な高さ測定装置である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、測定時間を短くして三次元測定を行える技術を提供する。
【解決手段】光路形成部5が、広帯域光源1からの広帯域光を受けて、参照光路と測定光路とに分岐して入射させ、参照鏡からの反射光と被測定物からの反射光とを合波して撮像手段10へ出力する。一方、光路長可変手段8が測定光路の光路長を変化させる。撮像手段は、その光路長の変化に対して、エイリアシングが生じるタイミングで光路形成部からの出力を撮像することによって、干渉縞を含む干渉縞データを取得する。光路長検出手段20は、撮像手段により取得された干渉縞データからエイリアシングによって生じた周波数成分を除き、干渉縞の特徴値を示す特定光路長を求める構成とした。 (もっと読む)


【課題】環境ノイズなどの影響を受け難い寸法測定システムを提供する。
【解決手段】寸法測定システム1は、白色光源21からの光を被測定物に向かう第1の光束と第2の光束に分岐し、第1の光束と第2の光束の間に被測定物の測定対象寸法に対応する第1の光路差を生じさせる測定装置2と、測定装置2から出射した光束を、参照鏡43に向かう第3の光束と光路に沿って移動可能な移動鏡44に向かう第4の光束に分岐して、第3の光束と第4の光束との間に第2の光路差を生じさせる干渉計4と、第3及び第4の光束を受光して干渉信号を検出する検出器5と、干渉信号が最大値となる移動鏡の位置を求めて被測定物の測定対象寸法を求めるコントローラ6を有する。またコントローラ6は、測定装置2と通信回線7を通じて接続され、被測定物の位置及び白色光源21を遠隔制御する。 (もっと読む)


【課題】透過性を有する光学部材の表面を部分的に透明膜で被覆した測定対象物の当該透明膜の膜厚を干渉計を利用して求める。
【解決手段】表面を部分的に透明膜で被覆され、かつ、透過性を有する光学部材からなる測定対象物の裏面からの反射光と参照面からの反射光により生じる干渉縞波形のピークを検出し、当該ピークの位置情報を利用して光学部材の裏面高さを算出した後に、当該裏面高さと透明膜の既知の屈折率から透明膜の屈折率の影響を除去した物理膜厚を求める。 (もっと読む)


【課題】撮像装置の分解能に関わらず、求めた高さと着目位置の対応を明確にするとともに対象物の高さを精度よく求める。
【解決手段】光切断3次元計測装置1において、投影装置10が対象物2にスリット光100を投影し、撮像装置11が対象物2のうち光切断線101を含む領域を投影装置10の投影方向とは異なる方向から撮影して、撮像画像110を生成する。画像処理装置13では、搬送装置12によって移動させられている対象物2にある複数の着目位置のそれぞれを撮像画像110上で追跡し、各着目位置に対して、スリット光100による照度変化が生じている範囲内に含まれている間に撮像明度及び時刻を少なくとも3回計測する明度計測機能と、着目位置ごとに3つの撮像明度及び時刻を用いて上記撮像明度の最大値を求める最大値算出機能と、各着目位置の撮像明度の最大値を用いて着目位置間の相対的な高さを求める高さ算出手段機能とを有している。 (もっと読む)


【課題】容易、かつ、確実に光軸を調整することが可能な位置形状測定装置を提供する。
【解決手段】光軸調整処理時には、処理回路260は複数の画素PXにより形成される受光領域を、その中心線により2つの領域に仮想的に分割する。そして、処理回路260はその2つの領域の一方(第1の領域)での受光量と他方(第2の領域)での受光量とを算出する。光軸A1と光軸A2とが一致した場合には、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とのバランスが取れた状態になる。一方、光軸A2に対して光軸A1がずれた場合には、第1の領域の受光量と第2の領域の受光量とがアンバランスになる。処理回路260は算出した受光領域の受光量分布に基づいて、第1の領域での受光量と第2の領域での受光量とのバランスに関する受光量バランス情報を生成して出力し、LED280を点灯あるいは消灯させる。 (もっと読む)


【課題】球体表面の中心を迅速かつ正確に算出できる球体中心算出方法を提供すること。
【解決手段】球体中心算出方法は、測定装置10、第1駆動機構11、および第2駆動機構12を用いて、測定装置10から球体20の中心までの距離を算出する。まず、測定装置10により、レーザ光を射出しながら第1駆動機構11を駆動して、レーザ光で球体20の表面を走査するとともに、反射光の強度とY軸回りの回転角との関係を監視し、Y軸回りの回転角のうち反射光の強度が最大となるものを第1回転角として記憶する。次に、測定装置10により、レーザ光を射出しながら第2駆動機構12を駆動して、レーザ光で球体20の表面を走査するとともに、反射光の強度とX軸回りの回転角との関係を監視し、X軸回りの回転角のうち反射光の強度が最大となるものを第2回転角として記憶する。そして、第1回転角および第2回転角に基づいて、球体20の中心を算出する。 (もっと読む)


【課題】被検査体であるカラーフィルタなどの表示部材の表面に発生するムラ(スジムラ)の周期性の有無の判断が可能な検査装置を実現する。
【解決手段】本発明の検査装置は、表示部材の光照射されている検査対称面を撮像して得られた撮像画像データに基づいて、該表示部材の検査を行う検査装置において、上記撮像画像データに含まれる光分布情報に対して、任意の方向を投影方向として一次元投影処理を行う一次元投影処理回路110と、上記一次元投影処理回路110によって一次元投影処理された光分布情報の周期解析を行う周期解析処理回路120とを備えていることで、周期解析結果から、撮像画像における投影方向の光分布の周期を判断することができる。 (もっと読む)


【課題】光源体の位置検出に要する時間を短縮することができるとともに、画像データを記録するメモリの容量を低減させることが可能な光源体の位置検出システム等を提供する。
【解決手段】不規則的に配置された複数の光源体を複数の点灯パターンで点灯させるとともに、複数の点灯パターンの各々を反転させた反転パターンで複数の光源体を点灯させる点灯装置2と、複数の点灯パターンで複数の光源体を点灯させたときの画像と、反転パターンで複数の光源体を点灯させたときの画像とを記録し、それらの画像に基づいて複数の光源体の位置を検出して位置データを生成する位置検出装置4とを備えることを特徴とする光源体の位置検出システム等。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェハやガラス、フィルムなどの基板と基板との接続で、アライメントマークの形成時にエッチング不足やオーバーエッチングが生じたり、アライメントマーク上の一部に不透明な粒子等が存在する場合でも、アライメントマークを正確に認識し、位置合せを精度よく行う。
【解決手段】アライメントマークを有する部材上に、粒子を含有する樹脂層が形成され、樹脂層を介して撮像したアライメントマーク画像にもとづいてアライメントマークの位置を検出するアライメントマークの認識方法であって、樹脂層に含まれる粒子のフェレー径の最大値を算出し、次いで撮像したアライメントマーク画像を2値化した後、2値化されたアライメントマーク画像を、粒子のフェレー径の最大値に対応する画素数分だけ収縮する処理、または膨張する処理を有し、2値化されたアライメントマーク画像から雑音を除去し、アライメントマークの位置を検出する。 (もっと読む)


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