【課題】 高い精度をもって測定対象の位置情報を測定することができる干渉計システム及び干渉計システムにおける信号処理方法等を提供する。
【解決手段】 検出信号Ｋ１は測定対象に測定光を照射して得られる信号をディジタル化した信号であり、急激に周期及びパルス幅が変動しない性質を有する信号である。フラグ生成部２２は検出信号Ｋ１を同期化させた同期化信号Ｋ２の立ち上がり及び立ち下がりを検出する。周期計測部２３は、同期検出信号Ｋ２に含まれる各パルスの周期及びパルス幅を計測して同期検出信号Ｋ２を１周期遅らせた遅延検出信号Ｋ３を生成する。エッジ監視部２５は遅延検出信号Ｋ３の立ち上がり位置等を検出し、補完カウンタ部２４はエッジ監視部２５から出力される補完開始終了信号ＳＴに基づいて補完信号ＫＣを生成し、遅延検出信号ＫＣのパルス異常が生じている箇所を補完する。 （もっと読む）