【課題】基板および基板の１つまたは複数の平坦な表面上に配置されたアンテナを有するセンシング素子を含む近接センサアセンブリを開示する。
【解決手段】ケーブル１２０が、基板１３０の平坦な表面に実質的に平行に通り、基板１３０の側面に取り付けられ、ケーブル１２０はセンシング素子１３１から放出される電磁場９０の方向に対して実質的に垂直に向けられる。 （もっと読む）

【課題】ＯＰＣ ｍｏｄｅｌ ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎに要する計算時間を削減しつつ、精度を向上させる。
【解決手段】半導体の回路パターンのマスクエッジデータ、および回路パターンを撮像した画像データを記憶する記憶部と、画像データを入力として回路パターンのＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）輪郭線を抽出し、マスクエッジデータと抽出したＳＥＭ輪郭線のデータ（ＳＥＭ輪郭線データ）とに基づいて、露光シミュレーション部に予測ＳＥＭ輪郭線のデータ（予測ＳＥＭ輪郭線データ）を生成させるＳＥＭ輪郭線抽出部と、マスクエッジデータと、ＳＥＭ輪郭線データと、予測輪郭線データとを入力として、ＳＥＭ輪郭線データおよび予測ＳＥＭ輪郭線データを、１次元形状の輪郭線と２次元形状の輪郭線とに分類する形状分類部と、ＳＥＭ輪郭線データと予測ＳＥＭ輪郭線データとを入力とし、１次元形状及び２次元形状の種類に応じて、ＳＥＭ輪郭線データのサンプリングを行うＳＥＭ輪郭線サンプリング部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所定の設備内の監視対象について、計測センサによる測定と目視による観測（監視）を同時に行うことができる設備監視装置を提供すること。
【解決手段】設備Ｅ内の監視対象を観察する設備監視装置に、監視対象を観察するために用いられる可視光とマイクロ波との共通の経路Ｌ上に設けられ、可視光及びマイクロ波のいずれか一方を透過させると共に、他方を該透過方向とは異なる方向に向けて反射させる分離器２２と、分離器２２によるマイクロ波の透過方向又は反射方向に設けられ、マイクロ波に基づいて監視対象の状態を検出するマイクロ波検出部２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波エレメントへの物体の近接を検出するために使用されるセンサアセンブリを提供する。
【解決手段】少なくとも１つのマイクロ波信号を発生するように構成された信号発生器１０４と、信号発生器１０４に接続された結合器１０６と、結合器１０６に結合されたマイクロ波エレメント１０８と、結合器１０６に接続された処理モジュール１１２が含まれている。マイクロ波エレメント１０８は、少なくとも１つのマイクロ波信号の関数として電磁界を発生するように構成されている。マイクロ波エレメント１０８は、物体１０２が電磁界と相互作用すると、装荷信号を結合器１０６へ反射するように構造化されている。処理モジュール１１２は、基準信号を使用して装荷信号を処理し、マイクロ波エレメント１０８への物体の近接を表すデータ信号を生成するように構成されている。データ信号はサブ−マイクロ波周波数を画定する。 （もっと読む）

【課題】機械構成部品の近接度を測定する方法の提供。
【解決手段】マイクロ波センサ組立体１１０は、少なくとも１つのマイクロ波信号を生成するための信号ジェネレータ２１８と、前記信号ジェネレータに結合された放射源２０６と、を含む。放射源は、少なくとも１つのマイクロ波信号から電磁場を生成するように構成され、負荷信号が生成されるように物体が電磁場内に配置されたとき、放射源は離調する。マイクロ波センサ組立体は、放射源と信号ジェネレータとに結合された検出器２１４も含む。検出器は、放射源までの物体の近接度を測定するうえで使用するために負荷信号の一次周波数における負荷信号の振幅、位相、および電力の少なくとも１つを算出するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】センサ組み立て体内の電磁放射を低下させ、信号強度の低下を防止する。
【解決手段】センサ組立体１１０内で使用するセンサプローブ２０２は、少なくとも１つのマイクロ波信号から少なくとも１つの前方伝播電磁場２２４を生成し、少なくとも１つの後方伝播電磁場２２８を生成するように構成された放射体２０６と、放射体に結合されたデータ管路２０４からなり、データ管路２０４周りにほぼ円周方向に延び、センサ組立体内の電磁放射を大幅に低下させるように構成された接地導体を設ける。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波を利用し測定範囲を広げると共に、その高い周波数特性により、測定精度を上げる。
【解決手段】センサアセンブリ１１０を備え、センサアセンブリ１１０は、少なくとも１つのマイクロ波信号から、少なくとも１つの電磁場２０９を発生させるマイクロ波エミッタ２０６を備える少なくとも１つのプローブ２０２であって、部品が少なくとも１つの電磁場と相互作用すると、マイクロ波エミッタに負荷が生じるプローブと、マイクロ波エミッタに結合されたデータコンジット１１５であって、負荷を表す少なくとも１つの負荷信号が、マイクロ波エミッタからデータコンジット内に反射されるデータコンジットと、少なくとも１つの負荷信号を受信し、部品を監視するのに使用される電気出力を生成するように構成された少なくとも１つの信号処理器２００とを備える、部品１０４の監視システム。 （もっと読む）

【課題】稼働中の駆動軸との近接度を、測定範囲の広いセンサーで検出し、データを送信する。
【解決手段】機械構成部品１０４をモニタするうえで使用するためのセンサ組立体１１０は信号処理デバイス２００と、少なくとも１つのプローブ２０２と、を含む。少なくとも１つのプローブは、少なくとも１つのマイクロ波信号から電磁場が生成されるように構成された放射源２０６を含み、負荷信号が生成されるように電磁場内に機械構成部品が配置されたとき、放射源は、離調する。少なくとも１つのプローブは、放射源に結合され、負荷信号を信号処理デバイスに無線で送信するように構成された送信機２１０も含む。 （もっと読む）

【課題】アンテナ送信時の反射を吸収する電磁吸収部材を設け、アンテナ接地による過度のエネルギー損失をふせぐ。
【解決手段】マイクロ波センサプローブ２０２は、プローブ筐体２０８と、前記プローブ筐体に結合された放射源本体と、前記放射源本体に結合された放射源２０６と、を含む。放射源は、少なくとも１つのマイクロ波信号から電磁場を生成するように構成されている。少なくとも１つの電磁吸収部材は、放射源を介して送られた電流と放射源によって生成された電磁放射のうちの少なくとも１つを吸収するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】近接度応答の線形範囲を拡大する。
【解決手段】マイクロ波センサ組立体１１０は、あるパターンの周波数を含む少なくとも１つのピンクノイズ系マイクロ波信号を生成するための信号処理デバイス２００と、前記信号処理デバイスに結合された少なくとも１つのプローブ２０２と、を含む。プローブは、少なくとも１つのピンクノイズ系マイクロ波信号から電磁場２２４を生成するように構成された放射源２０６を含み、放射源２０６から前記信号処理デバイスに負荷信号が反射するように物体が前記電磁場内に配置されたとき、前記放射源は離調する。 （もっと読む）

【課題】エミッタの散乱パラメータを安定化さすセンサアセンブリを提供する。
【解決手段】センサアセンブリ１１０は、所定の周波数範囲内で複数の周波数成分を含む少なくとも１つのマイクロ波信号から少なくとも１つの電磁界２２４を発生させるエミッタ２０６を備えた少なくとも１つのプローブ２０２であって、部品が少なくとも１つの電磁界２２４と相互に作用した場合にエミッタ２０６に負荷が誘起される、少なくとも１つのプローブ２０２と、エミッタと結合されたデータコンジット２０４であって、負荷を表す少なくとも１つの負荷信号がこのデータコンジット２０４内でエミッタ２０６から反射されるデータコンジット２０４と、少なくとも１つの負荷信号の受信と電気的出力の発生とを行うように構成された少なくとも１つの信号処理装置２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストが安く、故障部品が交換可能なセンサプローブを組み立てる。
【解決手段】センサを組み立てる方法は、エミッタ３３６をプローブキャップ３００内に配置するステップを含み、エミッタ３３６は少なくとも１つのマイクロ波信号から電磁界を生成するように構成される。内側スリーブ３０２は環状であり、該表面３２４を囲むねじ部３２６を含む。ねじ部３２６はプローブキャップ３００のねじ部３２２と連携し、互いにねじ結合される。外側スリーブ３０４は、内表面３２８を囲むねじ部３３２を持ち、内側スリーブ３０２のねじ部３２６と連携し、外側スリーブ３０４内に、内側スリーブ３０２をねじ結合する。 （もっと読む）

【課題】電磁場に対して、大きな電磁エネルギー量を放射するエミッタを有すセンサ組立体を提供する。
【解決手段】マイクロ波エミッタ２０６は、エミッタ本体３００から半径方向外向きに延びる第１のアーム３１０を含む。第１のアーム３１０は、少なくとも部分的に非線形であり、かつ少なくとも１つのピーク３３４及び少なくとも１つのトラフ３３６を有する。本マイクロ波エミッタ２０６はまた、エミッタ本体３００から半径方向外向きに延びる第２のアーム３１２を含む。第２のアーム３１２は、少なくとも１つのピーク３３４及び少なくとも１つのトラフ３３６を有する。第１のアーム３１０及び第２のアーム３１２は、少なくとも１つのマイクロ波信号を受信した時に電磁場を発生する。 （もっと読む）

【課題】線状導体の先端付近に観測空間が無くても、その先端付近における状況を把握できるような検出装置を提供する。
【解決手段】吐出針Ｎの先端における液体の吐出状況を検出する検出装置１００において、空胴共振器１１にマイクロ波周波数の電磁波の定在波をＴＭ０１モードで励起し、このＴＭ０１モードの回転磁界の中心に沿って配置された吐出針Ｎに電磁誘導によってマイクロ波周波数の交流電流Ｉを流す励振部１０と、交流電流Ｉが流れることによって吐出針Ｎから放射される電磁波を受信する受信部２０と、受信部２０の受信した電磁波に基づいて吐出針Ｎの先端における吐出の有無や吐出量を検出する検出部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安定してバルジングを検知することができるバルジング検知装置を提供すること。
【解決手段】連続鋳造において引き抜かれている鋳片の短辺に面して配置され、前記鋳片の短辺の厚さ方向略中央部に向かって高周波の第１電波信号を送信する第１送信アンテナと、前記第１送信アンテナの近傍に配置され、前記第１送信アンテナが送信した前記第１電波信号が前記短辺の厚さ方向略中央部によって反射して発生した第１反射電波信号を受信する第１受信アンテナと、前記第１送信アンテナおよび前記第１受信アンテナに接続し、前記第１送信アンテナに前記第１電波信号を供給するとともに、前記第１受信アンテナが受信した前記第１反射電波信号を受け付け、前記第１電波信号と前記第１反射電波信号とを用いて測定した前記短辺の厚さ方向略中央部までの第１距離の変動をもとに、前記鋳片の短辺に発生するバルジングを検知するバルジング検知手段とを備える。 （もっと読む）

本発明は、ライン構造体中の反射要素とライン構造体の端部に設けられた電磁波のための結合箇所との間の距離を求める方法及びこの方法を実施する距離測定装置（２）であって、距離測定装置が、送受信装置を有し、送受信装置は、結合箇所のところに設けられていて、電磁波をライン構造体中に結合すると共に反射要素で反射された電磁波をライン構造体から結合解除するために送受信装置をライン構造体に同軸誘導結合するライン移行部（６）を備え、距離測定装置が、結合箇所と反射要素との間の距離を結合された電磁波と結合解除された電磁波の位相差から求める評価装置を更に有することを特徴とする距離測定装置に関する。
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【課題】シリンダーの長さについて調整する必要がなく、連続的に検出可能である距離測定装置を提供すること。
【解決手段】放出信号を、反射体を有する伝導構造体の中へ送り込むための少なくとも一つの結合プローブを有し、分析エレクトロニクスとセンサー装置とを有し、伝導構造体は、ＨＦトランシーバーを、誘電体支持装置を有する導波管を介して、結合プローブに接続する送り領域を有する送りブロックを有する距離測定装置であって、結合プローブは、三段位相モジュールとして設けられ、その中央に平らなベース領域を有し、その次に、シリンダーが設けられ、ピンが設けられ、そのピンによって、送り領域が、結合プローブに接続される距離測定装置。 （もっと読む）

【課題】ランスと溶銑の液面との距離を、処理ガスの吹き付け中であっても正確に計測でき、処理ガスとの反応特性を改善できるランス装置を提供する。
【解決手段】ランスにマイクロ波距離計を組み込み、該マイクロ波距離計によりランスと溶融金属の液面との距離を検出し、検出した位置情報を基にランスの位置を制御するランスの位置制御方法、並びに炉内の溶融金属に処理ガスを吹き付けるための噴射口を備えるランスと、前記ランスに組み込まれ、該ランスから溶融金属の表面までの距離を測定するためのマイクロ波距離計とを備えるランス装置。 （もっと読む）

評価電子装置と、センサー装置とを有する測距計が記載されており、前記センサー装置は反射体を有するライン状構造物へ伝送信号を送るための少なくとも一つの結合プローブを備え、前記反射体は、シリンダー、例えばピストンシリンダーの、ピストンの下側にある。 （もっと読む）

【課題】標準試料を使用することなく正確に測定可能な走査型電子顕微鏡及びそれを用いる測定方法を提供すること。
【解決手段】試料６に対して走査する電子線（入射線）を断続的に照射し、該電子線が試料６に照射されたときに発生する後方散乱電子を後方散乱電子検出器２２で検出し、時間差検出部５３により、試料６に照射される電子線と後方散乱電子検出器２２で検出した後方散乱電子との時間差を比較計測し、試料表面の形状を測定する。 （もっと読む）