説明

Fターム[2F067AA22]の内容

波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 測定内容 (1,524) | 長さ、寸法 (556) | 径(外径、内径) (28)

Fターム[2F067AA22]に分類される特許

1 - 20 / 28


【課題】本発明は、アスペクト比の大きなパターンの測定を実現することが可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子源から放出された荷電粒子線を試料に走査することによって、当該試料から放出される荷電粒子の検出に基づいて、前記試料の画像を形成する荷電粒子線装置であって、前記試料の高さと、前記試料に対する予備帯電条件を関連付けて記憶する記憶媒体を備えた制御装置を備え、当該制御装置は、所望の試料高さの指定に基づいて、当該指定された試料高さに対応する予備帯電条件による予備帯電を実施する荷電粒子線装置を提案する。 (もっと読む)


【課題】 測定対象のパターンを、その外形によって特定することが困難である場合に、外形及び明るさ以外の情報によって測定対象パターンを特定する技術を提供する。
【解決手段】 走査型電子顕微鏡を用いて、測定対象物の二次元画像を取得する。取得された二次元画像から、測定対象候補として、相互に隣接している2つのパターンを抽出する。測定対象候補の2つのパターンの内部の領域の各々の表面粗さを算出する。算出された表面粗さに基づいて、測定対象候補の2つのパターンのうち一方を、測定対象パターンとして採用する。採用された測定対象パターンの寸法を測定する。 (もっと読む)


【課題】 間隙の広がり半径に応じて割れ目の表面積Sを的確に評価する。
【解決手段】 自然状態のラドンの濃度[Rnn]とラドンフラックスの理論値Fnにより間隙の幅wnを求め、水を循環させた際に水に放出されたラドンの濃度[Rn]と間隙の幅wn及び容器の体積V、容器の表面積S、及び、容器のラドンフラックスFにより、間隙の広がりの半径rを求めてディスクモデルに置き換えた広がりを求め、間隙の広がりの半径rに基づいて間隙の表面積S(=2πr)を評価する。 (もっと読む)


【課題】距離測定用の一種類の電磁波を用いて、装入物表面レベルと装入物表面の粒状体の粒径分布を同時に計測することにより高炉の生産効率化を実現すること。
【解決手段】高炉2内の粒状体3の堆積物3Aの表面に、測定方向Sに沿って電磁波ビームを走査し、堆積物3Aの表面から反射した電磁波を受信アンテナ103で受信し、電磁波の送信から受信までの時間差から電磁波ビームが照射された表面部分までの距離を測定すると同時に、受信アンテナ103で受信した電磁波の強度の強弱の繰り返し状況から堆積物3Aの表面の粒状体3の粒径分布を推定する。 (もっと読む)


【課題】良品と不良品の形状差異が小さい不ヌレ不良が発生した場合にも、高精度に半田付け状態の良否判定を行う。
【解決手段】基板側半田量を測定する基板側半田量測定ステップと、部品側半田量を測定する部品側半田量測定ステップと、基板側半田量と部品側半田量とに基づいて、半田付け後の良品の半田径を算出する基準半田径算出ステップと、基板にX線を照射するX線照射ステップと、基板を透過したX線を検出するX線検出ステップと、検出したX線に基づいて、半田付け後の半田の水平断面画像もしくは透過画像を生成する画像生成ステップと、生成した水平断面画像もしくは透過画像から半田径を測定する半田径測定ステップと、基準半田径算出ステップにおいて算出した半田径と、半田径測定ステップにおいて測定した半田径とを比較して、半田付け状態を判定する比較判定ステップとを有する。 (もっと読む)


【課題】低コストであり、且つ手間をかけずに迅速に粒径を測定することができるテラヘルツ波を用いた粒径測定装置及び粒径測定方法を提供する。
【解決手段】レーザ光を発するレーザダイオード1と、レーザダイオード1により発せられたレーザ光を第1レーザ光と第2レーザ光とに分割するビームスプリッタ2と、第1レーザ光が照射されることによりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ5と、第2レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ8と、テラヘルツ波路中に測定対象物100を設置した場合のテラヘルツ波受信アンテナ8により生成された検出信号に基づく信号強度データのみから特徴量を算出し、特徴量に対応する粒径のデータを保持するデータベース58を参照することにより測定対象物100の粒径を推定するデータ保持部52、データ処理部56とを備える。 (もっと読む)


【課題】被測定対象物上のパターンの線幅あるいは線間隔などを測定した測定値の良否を判定する測定値の判定方法に関し、画像撮影時の焦点合わせの不良による画像の不明瞭、更にチャージによる画像ドリフトによる画像の不明瞭などによる、パターンの線幅などの測定不良を自動判定する。
【解決手段】被測定対象物上のパターンの信号強度分布を取得するステップと、取得した信号強度分布からパターンのエッジ位置を検出するステップと、エッジ位置の検出に用いたと同一の信号強度分布からパターンのエッジ部分のスロープ値を検出するステップと、検出したスロープ値が予め設定した所定範囲内のときに検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が正しいと判定し、一方、所定範囲外のときに検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が不良と判定するステップとを有する。 (もっと読む)


【課題】多孔質体、特に固体高分子形燃料電池の触媒層またはガス拡散層の細孔を簡便かつ定量的に測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】多孔質試料の表面または断面の電子顕微鏡画像を取得する工程と、該電子顕微鏡画像の細孔領域と細孔以外の領域を分離する工程とを含む細孔測定方法において、前記電子顕微鏡画像から前記試料の形状または組成分布あるいは前記試料と電子顕微鏡の組み合わせに起因する輝度ムラを除去する工程を含む細孔測定方法とすることで、高精度に細孔を測定できる。 (もっと読む)


レーザー穿孔されたボアホールを特性評価するための新規な方法について開示する。本方法は、寸法の特性評価にX線顕微鏡法を用いるものである。X線顕微鏡法の出力を処理することによって、レーザー穿孔システム及びスエージング装置などの自動化された製造システム内の製造装置を制御することができる。
(もっと読む)


【課題】本発明は、試料表面の粒子の蛍光X線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】X線源13からウェハ3表面にX線ビームが照射され、ウェハ3表面が走査されてウェハ3表面の各粒子の蛍光X線スペクトルが測定される。測定された蛍光X線スペクトル及び標準スペクトルデータベース281に格納されている標準スペクトルデータに基づいて粒子に含まれる元素が同定される。測定された蛍光X線スペクトルから、同定元素の蛍光X線スペクトルが抽出され、面積分強度が算出される。検量線データベース282から同定元素に対応する検量線を読み出して面積分強度と対応する粒子径が特定される。 (もっと読む)


【課題】
走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた回路パターンの寸法計測において、試料上の任意の評価ポイント(EP)を自動で撮像し,評価ポイントに形成された回路パターンを自動で計測することを可能にする。
【解決手段】
本発明では、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた回路パターンの寸法計測において、EPの座標データと前記EPを含む回路パターンの設計データを入力とし,前記EP座標データと設計データから,前記EP内に存在するパターンを計測するための測長カーソルの生成および測長方法の選択あるいは設定を自動で行うようにしてレシピを自動生成し,このレシピを用いて自動撮像・計測を行うようにした。 (もっと読む)


【課題】エッジ部分のコントラストが希薄であってもラインプロファイルに基づくエッジを適切に判定し、パターンの測長を実行することのできるパターン寸法測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は荷電粒子線の走査によって試料上に形成されたパターンの寸法を測定するパターン寸法測定方法及び装置に関する。当該方法及び装置では、荷電粒子線の走査によって、試料上の画像を形成し、形成された画像の一部の領域を選択し、選択された画像の一部の領域を他の像に置換し、画像の一部が他の像に置換された画像を用いて、パターンの寸法測定を行うようにしている。 (もっと読む)


【課題】金型内の溶湯が流れる特定部位における、飛沫の通過位置やその大きさを容易に演算して、キャビティ内の溶湯の流れ具合を詳細に検出することのできる溶湯流れの検出方法及び検出装置を提供する。
【解決手段】金型20内のキャビティ21に開口する溶湯流入口22またはガス抜き口23を横切る方向に電磁波を放射し、溶湯流入口22またはガス抜き口23に到達した飛沫Aからの反射波の到達時間により飛沫Aの通過位置(アンテナ部2先端との距離L)を演算すると共に、反射波強度を、予め作成した反射波強度に対する飛沫大きさの特性マップに対比させて飛沫Aの大きさを演算できるので、キャビティ21内の溶湯の流れ具合を詳細に検出することができる。 (もっと読む)


【課題】
電子線照射に対する耐性が低い材料では,S/Nの良好な電子顕微鏡画像を得ることが難しい。これに対し,従来の画像平滑化処理を行うと,計測の安定性は向上するが,絶対値に対する計測誤差や感度が低下したり,立体形状情報の質が劣化したりという問題が生じる。
【解決手段】
計測対象パターンの寸法ばらつきを考慮して,信号波形が持つ立体形状情報を劣化させない画像平均化処理を行うことにより,計測安定性と精度および感度の向上を両立する。本発明により,高精度なパターン寸法および形状の計測と,それを用いた高感度な半導体製造プロセスの管理が実現できる。 (もっと読む)


【課題】撮像レシピ又は/及び計測レシピを自動かつ高速に生成できるようにして検査効率及び自動化率を向上させたSEM装置又はSEMシステム並びにその方法を提供することにある。
【解決手段】SEM装置又はSEMシステムにおける撮像レシピ及び計測レシピ生成方法であって、レシピ演算部において、評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の許容値を評価する評価ステップと、回路パターンの設計データ上の任意の領域をアドレッシングポイントとした場合における前記評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の予想値を評価する評価ステップと、前記評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の許容値と前記評価ポイントにおける撮像位置ずれ量の予想値との関係に基づいて、撮像レシピ及び計測レシピを決定する決定ステップとを含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
本発明の課題は、従来の技術が有する上記問題点を解決し、管状物の内外径および肉厚を簡便かつ精度よく測定可能とする測定方法を提供すること
【解決手段】
本発明の解決手段は、放射線源から照射され、管状物を透過した放射線の強度を測定して認識された管状物の内径および外径についてのエッジ位置の情報を用いて算出することにより、管状物の内外径および肉厚を求めることを特徴とする、管状物の断面径および肉厚の測定方法である。 (もっと読む)


【課題】鉄筋の設置深度及び直径を電磁波レーダを使用した非破壊的手段で計測する。
【解決手段】電磁波レーダの物理的特性と媒質界面における反射及び屈折を含めた伝播特性に基づく予測受信信号波形を予め作成し、電磁波レーダを測定対象物の表面に沿って走査させて測定した実際の受信信号とのパターンマッチングによって媒質内の物体の位置及び物体の形状、及び媒質の比誘電率を計測するものである。電磁波レーダ2をコンクリート1の表面10にセットし、走査させて反射波を受信し、未知パラメータを設置深さ(d)、鉄筋径(a)、及び比誘電率(ε)として受信信号波形とモデル波形の最適パターンマッチングをおこない、鉄筋のかぶり及び直径を精度よく測定する。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子線装置において、十分な光量の試料高さ検出用光を投光することができ、対物レンズと試料面との間に大きなワーキングディスタンスを必要としない光学系を利用した高さ検出装置及び高さ検出方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料高さ検出用光学系において、1光源から投光された光束をコリメートレンズにて平行光に整えた後、同方向に集光性を持つ複数段のシリンドリカルレンズによってこの平行光を複数の光束に分配し、分配された各光束を複数の開口を持つスリットの各開口を通過させて試料面に投射するように構成する。 (もっと読む)


【課題】建材中に石綿が含まれているか否かを極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法、及び、その含有される石綿の種類を極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法を提供すること。
【解決手段】建物から採取した建材を、粉砕することなく、そのまま又は所定形状に切断若しくは破断して建材試料とし、該建材試料の切断又は破断面を走査型電子顕微鏡により観察後、繊維が確認された場合、繊維の径の測定及び組成分析を行う建材簡易分析方法である。 (もっと読む)


【課題】WC基超硬合金に存在するVとWとCrを含む複炭化物相の面積率の測定方法を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金の複炭化物相の面積率を測定する方法であって、第1の手段はWC基超硬合金の鏡面仕上げ面を作成する手段、第2の手段はEPMAのマッピング機能により複炭化物相のラインプロファイルを採取する手段、第3の手段はTEMにより複炭化物相の形態とその寸法値を測定する手段、第4の手段は該ラインプロファイルと該寸法値より、複炭化物相のラインプロファイルの閾値を設定する手段、第5の手段は、複数の画像を閾値により2値化し、画像処理することにより複炭化物相の面積率を演算によって求める手段であり、該第1から該第5の手段を有する事を特徴とするWC基超硬合金の複炭化物相の面積率の測定方法である。 (もっと読む)


1 - 20 / 28