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Fターム[2F067AA51]の内容

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【課題】本発明の目的は、異なる帯電が混在するが故に、正確な検査,測定が困難になる可能性がある点に鑑み、異なる帯電現象が含まれていたとしても、高精度な検査,測定を可能ならしめる方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、帯電条件の変化を示すフィッティング関数に基づいて、荷電粒子線照射によって得られるパターン寸法を補正する方法、及び装置を提案する。このような構成によれば、特性の異なる帯電現象が混在するような場合であっても、走査荷電粒子線装置による正確な検査,測定を行うことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】無線装置に電波を放射した際に、より大きい発熱量を急峻に得られるようにする。
【解決手段】ICタグ100において、比較器136は、受信電力が所定の大きさ以上であると判定すると、アンテナ101とコンデンサ121とを接続するようにスイッチ102を制御する。この状態において、アンテナ101がICタグリーダから送信される電波を受信することで、アンテナ101が発熱する。この状態では、RF回路111がアンテナ101から切り離されているので、ICタグリーダが強い電波を送信してアンテナ101の発熱量を大きくすることができ、より大きい発熱量を急峻に得られる。 (もっと読む)


【課題】FEMウェーハを自動測長する場合、測長対象の大きさは登録時と異なっていることが多いだけでなく、測長対象のパターンも崩れていることが多い。このため、測長の可否を自動的に判断することが困難である。
【解決手段】半導体検査システムにおいて、(1) 参照画像から算出される距離画像を利用し、検査画像の輪郭線の位置を特定する処理、(2) 特定された距離画像に対する輪郭線の位置に基づいて欠陥大きさ画像を算出し、当該欠陥大きさ画像から欠陥候補を検出する処理、(3-1) 欠陥候補が検出された場合、検出された欠陥候補の大きさを算出する処理、又は(3-2) 第1及び第2の輪郭線の相違部分を欠陥候補として検出する処理を実行する。 (もっと読む)


【課題】簡易な構造で、機構部が高炉内の熱や高濃度粉塵等の影響を受けずに、高精度なプロフィル測定を行うことができる高炉内装入物のプロフィル測定装置を提供する。
【解決手段】高炉2の炉頂部に設置され、高炉内装入物4のプロフィルを測定するプロフィル測定装置1であって、マイクロ波の発信および受信が可能なマイクロ波送受信器14と、マイクロ波を放射するアンテナ11と、マイクロ波送受信器14とアンテナ11とを連結する導波管13と、アンテナ11から放射されたマイクロ波を高炉2の炉内に向けて反射する反射板12と、反射板12を駆動する反射板駆動装置16と、反射板12と反射板駆動装置16とを連結する駆動軸15と、からなる測定装置本体部10全体が、高炉2の炉内に向けた開口部21を有する耐圧容器内9に収納されている。 (もっと読む)


【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 (もっと読む)


【課題】X線放射に対して僅かなコントラストしか生じない対象の測定を、十分な精度で迅速に行う、コンパクトな装置を提供する。
【解決手段】X線源10及びX線を検出する少なくとも1個のX線センサ7からなる第1の感知装置としてのX線感知装置及び測定物に対して座標測定装置のx、y及びz方向に位置決めすることができる第2の感知装置、例えば触覚式及び/又は光学式感知装置8、11、9を有する、測定物3の測定のための座標測定装置に関する。大きなサイズの測定物も問題なく測定できるように、X線感知装置7、10が第2の感知装置8,11、9に対応して座標測定装置10に位置決めされることを提案する。 (もっと読む)


【課題】パターンの高さを非破壊で迅速に測定することができるパターン高さ測定装置及びパターン高さ測定方法を提供する。
【解決手段】試料表面の観察領域を電子ビームを照射で走査し、観察領域の斜め上方に配置された検出器99aによる二次電子の検出信号に基づいて画像(SEM画像)を取得し、その画像に現れるパターン82の影の長さLを検出する。そして、あらかじ求めた検出器99aの試料表面に対する見掛け上の角度θと検出された影の長さLとに基づいて、パターン82の高さHをH=L×tanθにより求める。パターン82の影の長さLは、例えばパターン82のエッジ82a、82bと直交するラインX−X上の二次電子の強度分布を抽出し、その二次電子の強度分布の凹部が所定のしきい値Iと交差する2点間の距離として求める。 (もっと読む)


【課題】パターンの輝度の影響を受けることなく、ラインパターンとスペースパターンを容易に識別することのできるパターン測定装置及びパターン測定方法を提供すること。
【解決手段】パターン測定装置は、電子ビームを試料上に照射する照射手段と、電子ビームの光軸を挟んで設置された第1の電子検出手段及び第2の電子検出手段と、パターンの画像データを生成する画像処理手段と、パターンのラインプロファイルを作成するラインプロファイル作成手段と、第1の電子検出手段で検出された信号と第2の電子検出手段で検出された信号との差分に対応する電子量を基に画像処理手段にパターンの画像データを生成させる制御手段を有する。制御手段は、第1の電子検出手段で検出された信号と第2の電子検出手段で検出された信号との差分を基に作成されたラインプロファイルによりパターンの立下り又は立上りを判定し、ラインの線幅を測定するようにしてもよい。 (もっと読む)


【課題】高さ方向で構造が変化するようなパターンであっても、走査型顕微鏡(CD−SEM)を用いて取得した画像データを用いて所望のパターンエッジが再現性よく決定できる画像処理条件(閾値等)を、簡便に得ることのできる画像データ解析装置を提供する。
【解決手段】記録装置504と処理部503と表示部502とを有する画像データ解析装置であって、処理部503は、記録装置504に記録された画像データを用いてノイズ及びノイズを除去したエッジラフネスと閾値との関係を表すグラフや、それから求めたエッジを決定するための閾値を表示部502に表示する。 (もっと読む)


【課題】ディスク媒体に同心円状に形成されたトラックのパターンを、回転ステージの回転同期軸振れの影響を受けることなく、適正に検査できるようにする。
【解決手段】本発明のパターン検査装置1は、レジスト膜への電子ビーム照射によりパターン描画されているとともにパターン描画が周方向への回転動作を利用して行われたディスク媒体4のトラックのパターンを検査するものであって、ディスク媒体4が載せられる回転ステージ14と、この回転ステージ14に載せられたディスク媒体4に対して電子ビームを照射する照射光学系2と、この照射光学系2による電子ビームの照射によって回転ステージ14上のディスク媒体4から発生する電子を検出する電子検出器3とを備え、回転ステージ14は、ディスク媒体4にパターン描画するときに当該ディスク媒体を回転動作させるために用いた回転ステージと同一の回転ステージで構成されている。 (もっと読む)


【課題】包材の外形を精度良く推定できるX線検査装置を提供する。
【解決手段】取得部は、基準画像として、輝度毎データから例えばジッパー等の開閉部902の画像を取得する。基準画像とは、X線透過画像において映り易い画像(一の領域の厚さよりも厚い他の領域の画像を含む)である。推定部は、取得部により取得された開閉部902の画像に係る基準データに基づいて、包材903の外形およびシール部904を推定する。判定部は、推定部により推定された包材903の外形に係る外形データに基づいて内容物901の噛み込みを判定する。 (もっと読む)


【課題】距離測定用の一種類の電磁波を用いて、装入物表面レベルと装入物表面の粒状体の粒径分布を同時に計測することにより高炉の生産効率化を実現すること。
【解決手段】高炉2内の粒状体3の堆積物3Aの表面に、測定方向Sに沿って電磁波ビームを走査し、堆積物3Aの表面から反射した電磁波を受信アンテナ103で受信し、電磁波の送信から受信までの時間差から電磁波ビームが照射された表面部分までの距離を測定すると同時に、受信アンテナ103で受信した電磁波の強度の強弱の繰り返し状況から堆積物3Aの表面の粒状体3の粒径分布を推定する。 (もっと読む)


パターン化された構造の少なくとも1つのパラメータの測定で使用するための方法およびシステムが提供される。方法は:構造の異なる位置上の測定に対応する複数の測定された信号を含む測定されたデータと、理論的信号と測定された信号との間の関係は、構造の少なくとも1つのパラメータを示す理論的信号を示すデータとを含む入力データを提供する過程と;構造の少なくとも1つの性質を特徴付ける少なくとも1つの選択されたグローバルパラメータに基づきペナルティ関数を提供する過程と;フィッティングプロシージャの前記実行は、理論的信号と測定された信号との間の最適化された関係を決定するために前記ペナルティ関数を使用することと、構造の前記少なくとも1つのパラメータを決定するために最適化された関係を使用することとを含む、理論的信号と測定された信号との間のフィッティングプロシージャを実行する過程と;からなる。
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【課題】被検査物の形状異常を容易かつ迅速な方法で判断することができるX線検査装置を提供する。
【解決手段】形状異常判断部は、一の領域における濃淡情報として変化線KH1と、他の領域における濃淡情報として変化線KH2とを比較することにより、被検査物の形状異常を判断する。具体的には、同一の検出位置における変化線KH1の濃淡値と変化線KH2の濃淡値とが比較される。例えば、検出位置A1における変化線KH1の濃淡値K1と変化線KH2の濃淡値K2との差S1が所定範囲内か否かが形状異常判断部により判断される。この場合、差S1が所定範囲を超えるものであれば、形状異常が存在すると判断される。 (もっと読む)


【課題】加熱装置において、被加熱物のカロリーを非接触で簡易に算出し、そのカロリー値を簡易に管理することを目的とする。
【解決手段】テラHz帯の高周波通信手段10,11による吸収量、反射量から被加熱物5のカロリー情報を非接触で検出する被加熱物カロリー算出手段12と、被加熱物のカロリーを算出するために必要な重量、形状を測定する物理量検出手段13と、被加熱物を加熱する加熱手段1と、加熱手段等を制御する制御手段15により被加熱物のカロリーを算出し、カロリー情報を管理蓄積するカロリー管理手段20で構成する。これによって、非常に簡単に被加熱物の種類によらずカロリーを測定、管理することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、微細化されたデバイスの特性評価のために、プローブ相互間及び試料とプローブとの位置関係を把握して、信頼性の高い検査装置及び検査方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、電子源と、前記電子源から放出される電子線を試料に照射し、試料から放出される信号を検出する検出器と、試料を搭載するステージと、前記試料に触針する探針と、を有する検査装置において、前記試料の形状及び前記探針の形状及び配置の情報に基づいて、前記試料と前記探針の三次元画像を構成する演算部を備え、当該三次元画像を表示する表示装置を備えたことを特徴とする検査装置を提供する。前記三次元画像は、任意の方向からの画像を表示することができることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】大型高炉においても、高炉内の高濃度粉塵の影響を受けず、装置が小型かつ安価であって、短時間で測定可能な高炉内装入物のプロフィル測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】2つのマイクロ波距離計11および走査駆動装置13から入力された2組の距離データおよび走査角度データに基づいて、高炉2の中心部を除いてあらかじめ定めた走査角度範囲内の距離データから直線近似を行って高炉内装入物4の表面形状を推定し、2組の距離データのうち、それぞれのマイクロ波距離計11の直下を含む予め定めた範囲の距離データと、直下を含む範囲を除き、推定された表面形状の最下点を境界としてそれぞれのマイクロ波距離計の設置位置と対向する側の距離データとを採用して合成する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、複数の露光工程を有する製造プロセスにて形成されたギャップの種類の特定を、高いスループットにて実現することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子ビームの走査に基づいて検出される信号から、複数のパターンが配列されたパターンの一端側に関する特徴量と、当該パターンの他端側に関する特徴量を抽出し、当該2つの特徴量の比較に基づいて、前記複数のパターン間のスペースの種類を判定するパターン測定装置、及びコンピュータープログラムを提案する。 (もっと読む)


【課題】冊子状の被検査物の内部に綴じ部材が隠れている場合であっても綴じ状態の良否を判別することができるX線検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Wの綴じ部材Sの正常状態を含む綴じ部材情報を予め設定する設定入力手段15と、X線検出器10から出力される濃度データから、被検査物Wの外形を抽出する外形抽出手段17と、X線検出器10から出力される濃度データから、被検査物Wの綴じ部材Sを抽出する綴じ部材抽出手段18と、外形抽出手段17が抽出した被検査物Wの外形の中に綴じ部材抽出手段18が抽出した綴じ部材Sを重ね合わせ、綴じ部材抽出手段18が抽出した綴じ部材Sの状態と、綴じ部材情報に含まれる綴じ部材Sの正常状態とを比較して、被検査物Wの綴じ状態の良否を判別する判別手段20とを備えた。 (もっと読む)


【課題】ガラス溶融炉内に堆積する堆積物の堆積状況を効率的に把握することが可能なガラス溶融炉の堆積物検出方法及びガラス溶融炉を提供すること。
【解決手段】耐火煉瓦により形成された溶融空間11に溶融ガラスGが貯留可能とされ、該貯留した前記溶融ガラスGを前記溶融空間下部の導出部11Aに接続された流下ノズル19から排出するように構成されたガラス溶融炉1であって、電磁波を照射可能とされる照射部21と、前記照射部21が照射した電磁波を受信する受信部23A、23Bと、検出部とを有し、前記照射部21から照射した電磁波を前記受信部23A、23Bで受信して前記溶融空間の堆積物を検出する堆積物検出手段20を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


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