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Fターム[2F067AA52]の内容

波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 測定内容 (1,524) | 輪郭 (299) | 断面 (47)

Fターム[2F067AA52]に分類される特許

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【課題】 本発明は、接合された部品ごとの中立セルを生成する方法を提供するものである。
【解決手段】 この方法は、以下のステップを備えることにより、接合部品における中立セルを抽出する。
(1)CT計測データから、中立セルを抽出するステップ;
(2)各中立セル面上点から最も近い表裏の境界セル面上点どうしの距離に基づいて、擬似板厚を算出するステップ;
(3)前記擬似板厚に応じて、各中立セルを、少なくとも、非接合部分の領域と、接合部分の領域とに分類するステップ;
(4)前記接合部分の領域における前記中立セルと物体表面との間に、仮想中立セルを生成するステップ;
(5)前記仮想中立セルと、前記非接合部分の領域における前記中立セルとを接続することにより、連結セルを生成するステップ;
(6)前記連結セルから部品毎の前景セル集合を求めるステップ。 (もっと読む)


【課題】構造の3次元表面粗さを測定する改良された方法を提供すること。
【解決手段】事前に選択された測定距離にわたって事前に選択された間隔において、対象フィーチャの断面または「スライス」の連続をミリングするために、集束イオン・ビームが使用される。各断面が暴露される際、フィーチャの該当寸法を測定するために、走査電子顕微鏡が使用される。次いで、これらの連続「スライス」からのデータは、フィーチャについて3次元表面粗さを決定するために使用される。 (もっと読む)


【課題】
非破壊でエッチング後パターンの立体形状を定量的に評価する方法がなかった
。このため、エッチング条件出しに多くの時間とコストがかかっていた。また、
従来の寸法測定のみでは、立体形状の異常を検知することができず、エッチング
プロセス制御が困難であった。
【解決手段】
SEM画像の信号量変化を利用して、エッチング加工ステップに対応したパタ
ーンの立体形状情報を算出することにより、立体形状を定量的に評価する。また
、えられた立体形状情報に基づいて、エッチングプロセス条件出しやプロセス制
御を行う。
【効果】
非破壊で、エッチング後パターンの立体形状を定量的に評価することが可能と
なる。また、エッチングプロセスの条件出しの効率化がはかれる。さらに、エッ
チングプロセスの監視あるいは制御を行うことにより、安定なエッチングプロセ
スを実現できる。
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【課題】走査型電子顕微鏡システムにおける3次元トモグラフィ・イメージ生成のための方法と装置を提供する。
【解決手段】標本の上端表面上に少なくとも2つの縦のマークを備え、それらの間に角度を持たせる。連続するイメージ記録において、それらのマークの位置が決定され、連続するイメージ記録の間において取り出されたスライスの厚さの定量化に使用される。 (もっと読む)


【課題】 比較的簡単なソフトを用いて、電極等の尖頭部の位置を正確に検出することのできるX線透視装置を提供する。
【解決手段】 透視対象物Wを透過したX線を検出するX線検出器2の出力に基づくX線透視像を画像処理する画像処理装置7に、透視対象物Wの尖頭部の座標を計測する機能を持たせ、その機能においては、X線透視像の輝度情報から粒子解析に基づいて透視対象物の端点を検出して、尖頭部の直交座標のうちの一方の座標を決定し、その座標情報に基づくエッジ検出により、他方の座標を決定する。 (もっと読む)


【課題】X線光学素子の位置決め精度を緩和でき、可干渉性の低いX線源でもX線干渉を実現でき、一般用途への実用化が図られるX線シアリング干渉計を提供する。
【解決手段】X線シアリング干渉計は、X線を分割するX線分割光学系10と、X線分割光学系10によって分割されたX線を干渉させるX線干渉光学系20などで構成され、X線分割光学系10とX線干渉光学系20との間には物体Wが配置され、X線分割光学系10は、間隔D1で配置された一対の人工格子11,12と、人工格子12からの回折X線のうち所望の回折X線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子13を含み、X線干渉光学系20は、間隔D2で配置された一対の人工格子21,22と、人工格子22からの回折X線のうち所望の回折X線だけをブラッグ回折によって選択する結晶格子23を含む。 (もっと読む)


CSCTでは、多色性一次放射線に対して、各ボクセルの散乱機能の正確な再構築を行う方法は、知られていない。本発明の一実施例では、再構築の前に、ビーム硬化補正が行われ、等価水厚さから得られた一次放射線平均減衰データに基づいて、見かけ上正確な再構築を実施することが可能となる。等価水厚さから、エネルギーシフトが算定され、これを用いて、散乱放射線の初期の平均エネルギーが補正される。また、CT再構築は、CSCT再構築の前に実施され、ビーム硬化補正が可能となる。これにより、改良された画質を得ることができ、散乱機能の分解能が向上するという利点が得られる。
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