Fターム[2F067CC00]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 対象物(具体例) (587)
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Fターム[2F067CC00]に分類される特許
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ウェブの修正を伴ったベータ線の使用によるウェブの坪量などの特徴を測定するためのシステムおよび方法
【課題】 ウェブの修正を伴ったベータ線の使用によるウェブの坪量などの特徴を測定するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】 β線厚さ計による組成修正を複数の検出器(32)からの信号を使用して行うようにした。検出器は、その受理する放射線の割合が、放射線が検出器に到達する前に放射線が透過される物質の組成に依存するように配置されている。この放射線は検出器で測定され、受理された放射線の差を使用してβ線厚さ計の補償が行われ、組成の変動についての修正が行割れる。検出器のアレイ(A)は放射線(22b)の中央とほぼ整合した内方検出器(I)と、この内方検出器を少なくとも部分的に囲む外方検出器(O)の少なくとも1セットに分割されている。測定は、この内方検出器および少なくとも1セットの外方検出器を含むすべての含めて行われ、これら検出器による測定の差異を用いて全ての検出器によりなされたトータルの測定の補償が行われる。
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金属多層膜のX線反射率プロファイル解析方法及び記憶媒体
【課題】 磁気ヘッドなどに用いられる金属多層膜の構造評価に有効な、金属多層膜のX線反射率プロファイルの新しい解析法を提供する。
【解決手段】 金属多層膜のX線反射率プロファイルの解析のための各層の膜厚の初期値t1 i 〜t3 i として、蛍光X線測定から求めた各層の膜厚を用いるようにする。この初期値t1 i 〜t3 i としては、蛍光X線測定により得られた各層の付着量F1 〜F3 を各層の材料の理論密度ρ1 i 〜ρ3 i で割って算出した値を採用するのが有利である。
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