【課題】真空中で、移動する薄膜の堆積量を高精度に計測する装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の薄膜堆積量の製造装置は、基板４上に形成された薄膜２０の堆積量を計測する装置であって、基板４にβ線を照射するβ線源２１と、β線源２１から照射されたβ線の基板４からの後方散乱量を測定する第１放射線検出器としての後方散乱β線用放射線検出器２２と、を含む測定プローブ１０と、β線源２１から照射されたβ線の基板４からの後方散乱のうち、前記第１放射線検出器に入射せずに、測定プローブ１０と基板４との隙間を経由して測定プローブ１０外に到達する漏洩β線量を測定する第２放射線検出器としての漏洩β線用放射線検出器２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所定の設備内の監視対象について、計測センサによる測定と目視による観測（監視）を同時に行うことができる設備監視装置を提供すること。
【解決手段】設備Ｅ内の監視対象を観察する設備監視装置に、監視対象を観察するために用いられる可視光とマイクロ波との共通の経路Ｌ上に設けられ、可視光及びマイクロ波のいずれか一方を透過させると共に、他方を該透過方向とは異なる方向に向けて反射させる分離器２２と、分離器２２によるマイクロ波の透過方向又は反射方向に設けられ、マイクロ波に基づいて監視対象の状態を検出するマイクロ波検出部２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、機構部が高炉内の熱や高濃度粉塵等の影響を受けずに、高精度なプロフィル測定を行うことができる高炉内装入物のプロフィル測定装置を提供する。
【解決手段】高炉２の炉頂部に設置され、高炉内装入物４のプロフィルを測定するプロフィル測定装置１であって、マイクロ波の発信および受信が可能なマイクロ波送受信器１４と、マイクロ波を放射するアンテナ１１と、マイクロ波送受信器１４とアンテナ１１とを連結する導波管１３と、アンテナ１１から放射されたマイクロ波を高炉２の炉内に向けて反射する反射板１２と、反射板１２を駆動する反射板駆動装置１６と、反射板１２と反射板駆動装置１６とを連結する駆動軸１５と、からなる測定装置本体部１０全体が、高炉２の炉内に向けた開口部２１を有する耐圧容器内９に収納されている。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼石やコークスの堆積プロフィール測定をシュータの一旋回毎に行うことで、実際の堆積プロフィールを理論堆積プロフィールにより近づけて最適な高炉の操業を行う。
【解決手段】高炉の内部に鉄鋼石やコークス等の装入物を装入し、堆積させる方法であって、シュータの旋回中、もしくは一回の旋回毎に、検出媒体で堆積物の表面を走査して堆積プロフィールを測定しながら装入物を装入する。また、測定した堆積プロフィールを、予め求めた理論堆積プロフィールと比較し、理論堆積プロフィールからの誤差を修正するようにシュータを制御して新たな装入物を装入する。そして、このような装入方法を用いて高炉を操業する。 （もっと読む）

【課題】距離測定用の一種類の電磁波を用いて、装入物表面レベルと装入物表面の粒状体の粒径分布を同時に計測することにより高炉の生産効率化を実現すること。
【解決手段】高炉２内の粒状体３の堆積物３Ａの表面に、測定方向Ｓに沿って電磁波ビームを走査し、堆積物３Ａの表面から反射した電磁波を受信アンテナ１０３で受信し、電磁波の送信から受信までの時間差から電磁波ビームが照射された表面部分までの距離を測定すると同時に、受信アンテナ１０３で受信した電磁波の強度の強弱の繰り返し状況から堆積物３Ａの表面の粒状体３の粒径分布を推定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、機構部が高炉内の熱や高濃度粉塵等の影響を受けずに、高精度なプロフィル測定を行うことができる高炉内装入物のプロフィル測定装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波発信器１８と、マイクロ波を放射するアンテナ１１と、 マイクロ波発信器１８とアンテナ１１とを連結する導波管１７と、マイクロ波を反射する反射板１２と、反射板駆動装置２１と、反射板１２と反射板駆動装置２１とを連結する駆動軸２２と、を有し、アンテナ１１、導波管１７のアンテナ１１側の端部１７ａ、反射板１２、駆動軸２２の反射板１２側の端部２２ａが、高炉２の炉頂部に設置され高炉２の炉内に向けた開口部１３を有する耐圧容器１０内に収納され、マイクロ波発信器１８および反射板駆動装置２１が、耐圧容器１０の外側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】高炉に挿入された装入物の表面のプロファイルを面状に測定でき、プロフィール測定中でも装入操作が可能で測定したプロフィールに応じて迅速な導入操作を可能にし、更に装置全体の小型軽量化を図る。
【解決手段】マイクロ波送受信手段に連結するアンテナと、反射角度可変の反射板とを容器内に収容し、該容器を高炉上部の適所に設けた開口に気密に取り付け、アンテナから発射されたマイクロ波ビームを反射板で反射して装入物の表面を面状に走査するとともに、表面で反射されたマイクロ波をマイクロ波送受信手段で検波して走査位置に対応する距離データを求めてマップ化する。 （もっと読む）

【課題】高炉の炉内状況の推測は温度計測に依存しているのが現状で、耐火レンガの損耗を推定するのに利用された宇宙線ミュオンを用いて炉内状況の推定を行う。
【解決手段】宇宙線ミュオンを計測する計測装置により高炉を透過して飛来する高炉透過の宇宙線ミュオン強度と、該高炉透過の宇宙線ミュオンの飛来方向の判別情報と、高炉を非透過の非透過宇宙線ミュオン強度とを一定時間蓄積し、該実測による蓄積データに基づいて、高炉の状態を密度として炉底透過の宇宙線ミュオン強度と非透過宇宙線ミュオン強度との強度比で表し、特定箇所における強度比より当該箇所に存在する炉内充填物の密度を求め、該密度より炉内を構成する充填物を推定する。 （もっと読む）

【課題】電磁波を利用した高炉内原料レベル測定装置の校正を、高炉に装着したたまの状態で簡単に実施できるようにすること。
【解決手段】電磁波を発振部１から伝播管２を通して高炉Ｂ内に放射し、高炉内原料Ｃ上面からの反射波を受信することによって発振部１から高炉内原料Ｃ上面までの距離を測定する高炉内原料レベル測定装置Ａにおいて、伝播管２から高炉Ｂの途中の箇所であって、発振部１から測定不能距離Ｌ以上離れた位置に校正用反射板３ａを挿入・退避可能な機構を設ける。通常のレベル測定時には校正用反射板３ａを退避させておき、校正時に校正用反射板３ａを伝播管２から高炉Ｂの途中の箇所に挿入させて校正処理を行う。校正用反射板３ａとしては、スライド式ゲート弁３のゲート板を用いる。スライド式ゲート弁３の開閉操作は遠隔操作で行う。 （もっと読む）