Fターム[2F067EE00]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 目的 (168)
Fターム[2F067EE00]の下位に属するFターム
消費電力低減 (2)
小型化、軽量化 (5)
S/N比向上、ノイズ低減 (21)
分解能向上 (11)
操作性向上 (12)
測定系の異常検出(故障検知)
誤動作防止 (1)
処理高速化、測定の自動化 (67)
外乱成分対策 (32)
防護、保護 (9)
保守、点検の容易化 (3)
Fターム[2F067EE00]に分類される特許
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電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材、その製造方法、およびそれを用いた電子顕微鏡装置の校正方法
【課題】
コンタミネーションの付着を低減する、微細な基準寸法を有する、電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材を提供する。
【解決手段】
少なくともシリコンを含み、予めピッチ寸法が求められている回折格子の配列よりなる電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材において、寸法校正用標準部材の溝パターンの表面に1nmから5nmのシリコン酸化膜を形成することによって、電子ビーム照射によって付着するコンタミネーション量を低減する。
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荷電粒子線を用いた寸法計測方法、および寸法計測装置
【課題】本発明は、単にビーム走査範囲単位での照射量のコントロールだけでは、抑制することが困難な寸法値変動要因に依らず、高精度な寸法測定を行うことを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、以下に、ビームによるコンタミネーションの付着によって生じる正の堆積と、試料除去によって生ずる負の堆積が相殺される走査範囲内の位置を測定部位として選択、或いは走査領域内において、寸法変動の影響がない、或いは少ない部分を測定部位として選択する方法、及び装置を提案する。当該方法及び装置によれば、走査領域面内で、寸法測定を行うに当たり適正な位置を選択することが可能となる。上記構成によれば、ビーム照射によって生じる寸法値変動要因に依らず、高精度な寸法測定を行うことが可能となる。
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回転視差による材料内部変形の3次元可視化方法及び装置
【課題】 3次元的に塑性変形する複雑形状部品の加工において、加工性の検討や成形品の欠陥の原因を解明するため成形品内部変形の様子を可視化する方法及び装置を提供する。
【解決手段】 標点を埋め込んだ金属材料の変形特性と類似したモデル材料を用いて、前記モデル材料をモデル型に装填し、所定の加工量だけ工具で加圧すると同時に、単一焦点から放射線を照射することにより前記標点を放射線用TVカメラで撮像する。次に、視差を形成するために前記モデル型を放射線用TVカメラの撮像面の縦方向を軸方向とし、モデル型中心軸を軸中心として回転させ、その位置で単一焦点から放射線を照射することにより前記標点を放射線用TVカメラで撮像する。これらの操作を加圧終了まで繰り返した後、撮像画像から標点の2次元座標を演算し、これらの視差を形成する2次元座標から3次元座標を演算し、標点の3次元データとモデル型の形状データとを重ねて表示する。
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放射線透視像を用いた移動量測定装置
【課題】 外部から視認できない物体等の移動量を、放射線を用いて計測するに当たり、放射線の空間強度分布の時間的変化や、放射線検出器の感度むら並びに歪みがあっても、常に高い精度で移動量を計測することのできる放射線を用いた移動量測定装置を提供する。
【解決手段】 規定時間経過前後の被測定物の放射線透視像から、それぞれ移動量測定方向に沿ったラインプロファイルPn(y),Pn−1(y)を作成し、これらのラインプロファイルの差分値の絶対値があらかじめ設定されている値以上の領域のみを比較して被測定物Wの移動量を算出することで、放射線の空間強度分布や放射線検出器の感度むら等の影響を除外し、正確な移動量の算出を可能とする。
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イオン化放射線の走査方式の検知
対象物の画像を記録する為の走査方式の放射線検知装置であって、対象物と相互作用をした後、扇形イオン化放射線ビームに暴露される一次元検知器ユニット(41)と、前記対象物の二次元画像を作成する為に反復して検知している間、対象物に対して一次元検知器ユニット(41)及び扇形ビームを相対移動させるデバイス(87,88,89,91)と、反復検知を制御する為の制御装置を備える。一次元検知器ユニット(41)は、イオン化放射線感応厚さdtを有し、厚さdtは、一次元検知器ユニットを照射する時には、扇形ビームの厚さよりも大きい。各々の一次元画像の暴露時間を短くし、且つ二次元画像の空間分解能を高くする為に、扇形ビームの一次元画像は、前記移動のn番目の長さ単位毎に記録される。ここで、nは、この長さ単位において扇形ビームの厚さのほぼ半分よりも小さくはなく、この長さ単位において一次元検知器ユニット(41)のイオン化放射線感応厚さ(dt)より小さい。
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