本発明は、ストリップスチール表面上のコーティング膜厚の測定に関し、より詳しくは、以下のステップを有するクロムフリーコーティング膜厚の検出方法に関する：元素Ｐ、Ｃａ、Ｔｉ、ＢａまたはＳｒを含有し、クロムフリーコーティング液と反応しない２つの水溶性化学物質を選択するステップ；選択した２つの水溶性化学物質をクロムフリーコーティング液に加えて、均質になるようにそれらを攪拌した後、コーティングフィルムの基準サンプルを作るステップ；オフライン膜厚検出計測器によって発せられた光線を用いて上記２つの水溶性化学物質を励起して特性スペクトラムを得て、フィッティングにより測定膜厚と厚み補正値との間の補正関数式を得るステップ；弱い特性スペクトラムを有する上記水溶性化学物質をクロムフリーコーティング液に加え、上記補正関数式を用いて実際の膜厚を求めるステップ。オンライン検出により、膜厚を効果的にモニターでき、高精度で、かつ、コーティング膜の付着性、耐腐食性、環境パフォーマンスに悪影響を与えることなく、コーティング処理を連続的に最適化できる。
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【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線強度が弱い場合でも、正確に磁性層厚さが測定できる層厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析法を用いて非磁性支持体上に少なくとも磁性層を設けた磁気記録媒体の磁性層厚さを測定する層厚測定装置であって、該層厚測定装置は、Ｘ線の発生源であるＸ線管と、磁気記録媒体に照射されたＸ線により発生した蛍光Ｘ線を受ける検出器と、これらを含んで外気と遮断し、前記Ｘ線と前記蛍光Ｘ線を透過させるＸ線窓を有する密閉箱と、を含み、該密閉箱内は空気よりも密度の小さい気体で置換されており、前記Ｘ線窓と前記磁性層との距離が１〜５０ｍｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ（２６）を保持する保持器（２４）を担持する変位部材（２３）と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット（３５）との間に、フリーホイール機構（５１）を介在させ、測定用プローブ（２６）または保持器（２４）が測定対象（１４）に接触すると、駆動ユニット（３５）による駆動が変位部材（２３）から切り離され且つスイッチング・デバイス（５８）がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料表面の粒子の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源１３からウェハ３表面にＸ線ビームが照射され、ウェハ３表面が走査されてウェハ３表面の各粒子の蛍光Ｘ線スペクトルが測定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトル及び標準スペクトルデータベース２８１に格納されている標準スペクトルデータに基づいて粒子に含まれる元素が同定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトルから、同定元素の蛍光Ｘ線スペクトルが抽出され、面積分強度が算出される。検量線データベース２８２から同定元素に対応する検量線を読み出して面積分強度と対応する粒子径が特定される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

【課題】 ロール間を走行する磁気テープがバタツキを生じても、磁性膜の膜厚を正確に測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】磁気テープＴの表面側に配置したＸ線管球４から所定の入射角で１次Ｘ線ｘ₁ を入射させ、磁性膜３内のターケット元素から発生する蛍光Ｘ線ｆ₁ の強度を入射角に対応する反射角の方向に配置した半導体検出器１１で検出する。また、磁気テープＴの裏面側には表面側のＸ線管球４に対向させてＸ線管球５を配置して１次Ｘ線ｘ₂ を入射させ、ターケット元素から発生する蛍光Ｘ線ｆ₂ の強度を表面側の半導体検出器１１に対向させて配置した半導体検出器１２で検出する。磁気テープＴがバタツキを生じても、半導体検出器１１によって検出される蛍光Ｘ線ｆ₁ の強度のカウント値と、半導体検出器１２によって検出される蛍光Ｘ線ｆ₂ の強度のカウント値との合算値は磁性層３の正確な膜厚を与える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの膜の特性をインラインで測定して、定期的なモニタリング作業を不要にした半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に複数の膜を積層して成膜する。この基板１上に形成され上記基板１上の特定エリアを示すパターンを認識し、この特定エリアのみの上記複数の膜に、Ｘ線をマイクロ化されたスポット径で照射して、Ｘ線反射率測定によって、上記各膜の特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線によって高い空間分解能で被検体の表面形状を検査できるようにする。
【解決手段】Ｘ線検査装置に、真空容器５に収められたリング状の電子エミッタ６およびリング状のＸ線ターゲット７を備える。リング状のＸ線ターゲット７から放出されたＸ線は、すべて所定のＸ線照射領域１１に向かう。このＸ線は、被検体に照射され、被検体から放たれる散乱または蛍光Ｘ線１２は、反射Ｘ線コリメータ２を通って、Ｘ線二次検出器３によって検出される。リング状のＸ線ターゲット７から放出されるＸ線９は、すべて所定のＸ線照射領域１１に向かうため、Ｘ線ターゲット７の熱衝撃を大きくすることなく、Ｘ線強度を増加させ、検査精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 均一な膜厚組成を有する透明バリアフィルムを提供する。
【解決手段】 蒸着法により少なくとも片面に金属、あるいは無機酸化物層を積層したプラスチックフィルムを連続的に製造する際に、プラスチックフィルムの幅方向に１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であり、かつプラスチックフィルムと蒸着源との間隔が２５０ｍｍ以上の位置に少なくとも２台の蛍光Ｘ線を利用したモニターを配置し、形成した金属あるいは無機酸化物層の膜厚及び組成を測定しながら製造することを特徴とするロール状の長尺な透明ガスバリアフィルム。 （もっと読む）

【解決手段】基板に重ねられた材料の層の積重ねにおける１つの層の元素組成の面密度を確立するための方法及びコンピュータプログラムソフトウェア製品である。入射する透過性放射線は、１又は複数の元素のそれぞれに関連した複数の線の特性蛍光Ｘ線放射を励起する。連続する元素の特性蛍光の強度比に関する方程式の自己一致した解によって、連続した層の面密度が決定される。 （もっと読む）

【課題】 磁気テープに形成された複数層の磁性膜の膜厚を迅速、簡易に、かつ高い精度で測定し得る膜厚測定方法及び膜厚測定装置を提供すること
【解決手段】 Ｘ線源２１によって磁気テープ２２の磁性膜１０にＸ線を照射し、磁性膜１０とシリコンドリフト検出器（ＳＤＤ）３３との間にＴｉフィルタ２６とＡｌフィルタ２７を配置し、下層磁性膜１１、上層磁性膜１２に含まれるＦｅと、上層磁性膜１２にＦｅと共に少量含まれるＹとから放射される蛍光Ｘ線の内、Ｙからの蛍光Ｘ線の強度を相対的に強調してＳＤＤ３３に入射させる。ＳＤＤ３３よって電流パルスとして検出される蛍光Ｘ線の強度を電圧パルスに変換し、その電圧パルスの波高を計数回路３４によって蛍光Ｘ線の強度としてカウントして、小型コンピュータ２５により蛍光Ｘ線スペクトルを描かせ、ＦｅとＹについて波形分離して定量分析し、検量線に基づいて下層磁性膜１１、および磁性膜１０の膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】 高分解能のマイクロ蛍光Ｘ線測定を実行するための、改善された方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 試料の表面に適用された材料を試験する方法は、既知のビーム幅および強度断面を有する励起ビームを試料の領域に方向付けることを包含する。励起ビームに応答して領域から放射された蛍光Ｘ線の強度が測定される。測定された蛍光Ｘ線強度および励起ビームの強度断面に応答して、ビーム幅よりも微細な空間分解能で、領域内の材料の分布が概算される。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線を利用した膜厚計で内部汚染を防ぐ
【解決手段】少なくとも片面に無機物層を持つプラスチックフィルムの該無機物層の膜厚組成を真空中で蛍光Ｘ線により連続的に測定する装置にかんし、真空状態から大気圧に戻す際に蛍光Ｘ線測定経路を測定対象が有る部分より圧力を高く保持しながら大気圧に戻す機構を持つ事を特徴とする膜厚測定装置である。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドなどに用いられる金属多層膜の構造評価に有効な、金属多層膜のＸ線反射率プロファイルの新しい解析法を提供する。
【解決手段】 金属多層膜のＸ線反射率プロファイルの解析のための各層の膜厚の初期値ｔ₁ ⁱ 〜ｔ₃ ⁱ として、蛍光Ｘ線測定から求めた各層の膜厚を用いるようにする。この初期値ｔ₁ ⁱ 〜ｔ₃ ⁱ としては、蛍光Ｘ線測定により得られた各層の付着量Ｆ₁ 〜Ｆ₃ を各層の材料の理論密度ρ₁ ⁱ 〜ρ₃ ⁱ で割って算出した値を採用するのが有利である。 （もっと読む）