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Fターム[2F067KK02]の内容

波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 利用、言及された現象、測定手法 (908) | 特性X線(電子線照射による) (10)

Fターム[2F067KK02]に分類される特許

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【課題】 SOIウェーハのSOI層の膜厚が薄い場合であっても、SOI層における微小領域において、高い空間分解能でその膜厚を正確に測定することができるSOIウェーハのSOI層の膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 少なくとも、絶縁層と、該絶縁層上に形成されたシリコン単結晶からなるSOI層とを有するSOIウェーハにおける、前記SOI層の膜厚測定方法であって、
前記SOI層の表面に電子線を照射し、前記SOI層で減衰されて透過した前記電子線によって、前記絶縁層中の特定元素が励起されることによって発生する特性X線を、前記SOI層の、前記電子線を照射した表面側から検出し、前記検出された特性X線の強度に基づいて前記SOI層の膜厚を算出することを特徴とするSOIウェーハのSOI層の膜厚測定方法。 (もっと読む)


【課題】成膜した薄膜の膜厚を従来より広い範囲で測定できる膜厚測定方法と、均一な膜厚の薄膜を成膜する真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】
薄膜材料60に電子線を照射して、薄膜材料60から蒸気を放出させ、成膜対象物80を薄膜材料60に対して走行移動させながら、成膜対象物80の表面に薄膜を成膜する際に、薄膜材料60から放出され、成膜対象物80上のX線検出装置20で薄膜と成膜対象物80とを透過した透過X線の強度を検出し、あらかじめ記憶された透過X線の強度と薄膜の膜厚との対応関係から、成膜対象物80に形成された薄膜の膜厚を測定する。測定結果を基準値と比較して、比較結果から、成膜対象物80の移動速度や電子線の照射位置の移動速度を変更し、薄膜の膜厚を増減させることで、薄膜の膜厚を基準値に近づける。 (もっと読む)


【課題】無機元素を含む膜厚を精度よく測定できる有機薄膜の膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成され、無機元素を含み、密度が2g/cm以下の有機薄膜40中の無機元素の濃度Cと、標準試料による無機元素の特性X線強度Kとに基づき、有機薄膜に電子線を照射したときの特性X線強度Kを検出し、式1


(ρは有機薄膜の乾燥密度(g/cm);Eは入射電子1個のエネルギー;E(A)は無機元素のK殻の励起エネルギー;Rは無機元素の原子番号補正定数;S’は標準試料の阻止能;U=E/E(A);K=(K/R)/(K/f(x))、但し、Rは薄膜表面の特性X線の発生関数、f(x)は標準試料の吸収補正係数)によって有機薄膜の膜厚ΔZを測定する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、荷電粒子線照射による帯電の影響を回避しつつ、視野ずれの抑制を実現するのに好適な試料像形成方法,荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、試料上に荷電粒子線を走査し、試料から放出された二次信号に基づいて画像を形成する試料像形成方法において、複数回の走査で得られる複数の画像を合成して合成画像を複数形成し、当該複数の合成画像間の位置ずれを補正して画像を合成し、更なる合成画像を形成することを特徴とする試料像形成方法、及びこの方法を実現するための荷電粒子線装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】 バンプのような微小面積の領域において形成された薄膜の膜厚を簡易に精度良く測定する方法を提供する。
【解決手段】 Au薄膜5を透過してAu薄膜5下層のNiバンプ4に対して電子が侵入し得る範囲内の加速電圧の下で電子線6を照射する第1ステップと、前記電子線照射によって、バンプ4から放射されるバンプ材料の特性X線、並びにAu薄膜5から放射されるAuの特性X線を検出すると共に、両特性X線の強度比を測定する第2ステップと、評価用第1薄膜を透過して評価用バンプに電子が侵入し得る範囲内の加速電圧の下で電子線を照射したときに取得された、バンプ材料及びAuの特性X線の強度比と評価用第1薄膜の膜厚値との関係を示す情報である第1検量線、並びに、第2ステップで測定された前記バンプ材料及びAuの特性X線の強度比からAu薄膜5の膜厚値を導出する第3ステップとを有する。 (もっと読む)


【課題】シート状部材の厚さ測定精度を向上させると共に、放射線源を含む測定構成機器の耐圧防爆構造を実現する。
【解決手段】放射線を発生する放射線源と、この放射線源からの放射線の照射によって励起されて固有のエネルギーを持つ特性X線を発生する特性X線発生部材と、この特性X線発生部材から発生した特性X線の強度を検出する放射線検出器とからなる。被測定部材は前記特性X線発生部材と放射線検出器の間を走行させ、前記被測定部材を透過して前記放射線検出器に入射される特性X線強度の減衰量に基づいて上記被測定部材の厚さを演算する。 (もっと読む)


【解決手段】基板に重ねられた材料の層の積重ねにおける1つの層の元素組成の面密度を確立するための方法及びコンピュータプログラムソフトウェア製品である。入射する透過性放射線は、1又は複数の元素のそれぞれに関連した複数の線の特性蛍光X線放射を励起する。連続する元素の特性蛍光の強度比に関する方程式の自己一致した解によって、連続した層の面密度が決定される。 (もっと読む)


【課題】電子写真感光体を破壊、加工することなく、連続して検査することのできるEPMA法による検査装置および検査方法を提供することである。
【解決手段】試料に電子線を照射する電子線光学手段が接続され、所定の真空度に保持された試料室と、真空排気手段および給気手段とが接続され、前記試料室との間で試料の出し入れを行う第1開口部および外部との間で試料の出し入れを行う第2開口部を有する予備排気室と、前記第1開口部を開閉するための第1仕切り弁と、前記第2開口部を開閉するための第2仕切り弁と、試料を保持して外部と予備排気室と試料室との間を移動する試料台と、この試料台の移動に対応して、前記第1仕切り弁および第2仕切り弁の開閉、予備排気室の給・排気を行う制御手段とを備えたことを特徴とするEPMA法による検査装置である。 (もっと読む)


【課題】電子線照射による形状・寸法変化が生じる試料において、最適な測定条件を迅速にかつ簡便に決定する。
【解決手段】測定条件を変えて寸法の測定を反復する。シュリンク量と測定再現性が予め設定された基準値を見たすまで、加速電圧等の測定条件を変化させて測定を実施し、最適な測定条件を探す。 (もっと読む)


【課題】 シート状部材の厚さ測定精度を向上させると共に,放射線源を含む測定構成機器の耐圧防爆構造を実現すること,及び,成形されたシート状部材の形状にかかわらずシート成形直後におけるシート厚さの測定を可能とし,ダイの間隙の早期調整を実現すること。
【解決手段】 X線源1(放射線源)と,X線検出器2(放射線検出器)と,X線が照射された際に固有のエネルギーを持つ特性X線を発生するTi板6(特性X線発生物質)とが適宜配置されてなり,上記X線源1から出射されたX線が上記Ti板6に照射され,該照射により上記Ti板6で発生しシートS(被測定部材)を透過して上記X線検出器2に入射した特性X線の強度の減衰量に基づいて上記シートSの厚さを演算,算出するように構成する。 (もっと読む)


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