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Fターム[2F067KK05]の内容

Fターム[2F067KK05]に分類される特許

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【課題】通電時のみ放射線発生可能なX線を用いて、リチウムイオン2次電池の負極の塗工量測定を行うことで、放射性物質の取り扱い業務、管理業務などから作業者の負担を軽減ずる。
【解決手段】X線発生装置と、該X線発生装置から出射された一次X線が照射されてコンプトン散乱線を発生する被検査物と、からなり、
前記被検査物の測定に用いるX線のエネルギーを概ね40−80keVとして前記被検査物に照射して前記被検査物から生じた前記コンプトン散乱線を測定する。 (もっと読む)


【課題】検査対象パターンと基準パターンとが著しく異なる場合であっても、適切なマッチングを行う。
【解決手段】プロセスパラメータの変動に応じてその形状が基準パターンから変化した変化パターン群を作成し、該変化パターン群における形状の変化量を算出し、算出された形状の変化量を基準パターンのエッジ点の情報に付加する。 (もっと読む)


【課題】規則的な配列パターンのピッチがより微細化するフォトニック結晶やピクセルアレーなどの材料やディバイスなどにおける配列の乱れをより簡便に、正確に、短い時間で、所望の範囲にわたって検出、測定することができる、微小な規則的パターンの配列の乱れを検出測定する方法を提供する。
【解決手段】微小な規則的パターンを有する被検出対象物上に、エネルギー線を所定の走査パターンで照射し、エネルギー線を照射したときに生ずる二次電子発生量、反射粒子量、二次イオン発生量あるいはX線量の違いによりモアレ縞を形成させて、そのモアレ縞に基づいて被検出対象物が有する規則的パターンの変形の様子を一度に所定範囲で観察し、局部的な配列の乱れを検出または測定する。 (もっと読む)


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