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Fターム[2F067KK12]の内容

Fターム[2F067KK12]に分類される特許

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【課題】マイクロ波を利用し測定範囲を広げると共に、その高い周波数特性により、測定精度を上げる。
【解決手段】センサアセンブリ110を備え、センサアセンブリ110は、少なくとも1つのマイクロ波信号から、少なくとも1つの電磁場209を発生させるマイクロ波エミッタ206を備える少なくとも1つのプローブ202であって、部品が少なくとも1つの電磁場と相互作用すると、マイクロ波エミッタに負荷が生じるプローブと、マイクロ波エミッタに結合されたデータコンジット115であって、負荷を表す少なくとも1つの負荷信号が、マイクロ波エミッタからデータコンジット内に反射されるデータコンジットと、少なくとも1つの負荷信号を受信し、部品を監視するのに使用される電気出力を生成するように構成された少なくとも1つの信号処理器200とを備える、部品104の監視システム。 (もっと読む)


【課題】エミッタの散乱パラメータを安定化さすセンサアセンブリを提供する。
【解決手段】センサアセンブリ110は、所定の周波数範囲内で複数の周波数成分を含む少なくとも1つのマイクロ波信号から少なくとも1つの電磁界224を発生させるエミッタ206を備えた少なくとも1つのプローブ202であって、部品が少なくとも1つの電磁界224と相互に作用した場合にエミッタ206に負荷が誘起される、少なくとも1つのプローブ202と、エミッタと結合されたデータコンジット204であって、負荷を表す少なくとも1つの負荷信号がこのデータコンジット204内でエミッタ206から反射されるデータコンジット204と、少なくとも1つの負荷信号の受信と電気的出力の発生とを行うように構成された少なくとも1つの信号処理装置200と、を備える。 (もっと読む)


本発明は、半導体ウエハなどの基板の表面に形成された薄膜の厚みなどを測定する測定装置に関するものである。本発明の測定装置は、物質にマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段(40)と、マイクロ波照射手段(40)にマイクロ波を供給するマイクロ波源(45)と、物質から反射した、又は物質を透過したマイクロ波の振幅又は位相を検出する検出手段(47)と、検出手段(47)により検出されたマイクロ波の振幅又は位相に基づいて物質の構造を解析する解析手段(48)とを備える。
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