【課題】真空中で、移動する薄膜の堆積量を高精度に計測する装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の薄膜堆積量の製造装置は、基板４上に形成された薄膜２０の堆積量を計測する装置であって、基板４にβ線を照射するβ線源２１と、β線源２１から照射されたβ線の基板４からの後方散乱量を測定する第１放射線検出器としての後方散乱β線用放射線検出器２２と、を含む測定プローブ１０と、β線源２１から照射されたβ線の基板４からの後方散乱のうち、前記第１放射線検出器に入射せずに、測定プローブ１０と基板４との隙間を経由して測定プローブ１０外に到達する漏洩β線量を測定する第２放射線検出器としての漏洩β線用放射線検出器２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パターンのエッジの幅及び傾斜角を高精度に測定できるパターン測定装置及びパターン測定方法を提供する。
【解決手段】電子ビームを試料表面の観察領域で走査させ、電子ビームの照射によって試料の表面から放出された二次電子を、電子ビームの光軸の周りに配置された複数の電子検出器で検出するパターン測定装置において、パターン６１の延在方向に直交し、かつ光軸を挟んで対向する２方向からの画像を取得する。そして、それらの画像から、エッジと直交するライン上のプロファイルＬ６，Ｌ７を抽出し、それらの差分を取った差分プロファイルＬ８を求める。その差分プロファイルＬ８の立下り部分Ｒ２，Ｒ３に基づいてエッジ６１ａ、６１ｂの上端を検出し、ラインプロファイルＬ６、Ｌ７の立ち上がり部分Ｒ１又は立下り部分Ｒ４に基づいてエッジ６１ａ、６１ｂの下端の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線放射に対して僅かなコントラストしか生じない対象の測定を、十分な精度で迅速に行う、コンパクトな装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０及びＸ線を検出する少なくとも１個のＸ線センサ７からなる第１の感知装置としてのＸ線感知装置及び測定物に対して座標測定装置のｘ、ｙ及びｚ方向に位置決めすることができる第２の感知装置、例えば触覚式及び／又は光学式感知装置８、１１、９を有する、測定物３の測定のための座標測定装置に関する。大きなサイズの測定物も問題なく測定できるように、Ｘ線感知装置７、１０が第２の感知装置８，１１、９に対応して座標測定装置１０に位置決めされることを提案する。 （もっと読む）

【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】成膜した薄膜の膜厚を従来より広い範囲で測定できる膜厚測定方法と、均一な膜厚の薄膜を成膜する真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】
薄膜材料６０に電子線を照射して、薄膜材料６０から蒸気を放出させ、成膜対象物８０を薄膜材料６０に対して走行移動させながら、成膜対象物８０の表面に薄膜を成膜する際に、薄膜材料６０から放出され、成膜対象物８０上のＸ線検出装置２０で薄膜と成膜対象物８０とを透過した透過Ｘ線の強度を検出し、あらかじめ記憶された透過Ｘ線の強度と薄膜の膜厚との対応関係から、成膜対象物８０に形成された薄膜の膜厚を測定する。測定結果を基準値と比較して、比較結果から、成膜対象物８０の移動速度や電子線の照射位置の移動速度を変更し、薄膜の膜厚を増減させることで、薄膜の膜厚を基準値に近づける。 （もっと読む）

【課題】両眼立体視・マルチエネルギー透過画像を用いて材料を識別する方法を提供する。
【解決手段】両眼立体視・マルチエネルギー透過画像を用いて、放射線方向に重なっている物体に対して、その中で放射線吸収の主要成分である障害物を剥離し、本来放射線吸収の副次成分であるため明らかでなかった物体を明らかになるようにし、その材料属性（例えば有機物、混合物、金属等）が識別できる。本発明の方法によれば、放射線方向における非主要成分に対して材料識別ができ、これはコンテナに遮られている爆発物、麻薬等その他の有害物を自動識別することの基礎となる。 （もっと読む）

【課題】 測定面積を小さくでき、低コスト化が可能で、測定レンジの狭くないシート厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】 放射線源１から出射された放射線２の、シート状物体３を通過した透過量を放射線検出器１４で検出し、透過量に基づいてシート状物体３の物理量を測定するシート物理量測定装置において、放射線２の照射範囲を検出する放射線アレイ検出部６１，６２と、放射線アレイ検出部６１，６２から出力される信号に基づいて、放射線検出器１４と放射線源１とのアラインメントずれによって放射線検出器６１，６２の出力に生じる誤差を補正する補正手段１０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、Ｘ線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のＸ線画像を取得し、上記複数のＸ線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の検査位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】アクチグラフでは睡眠中の被験者の姿勢まで検出することができない。
【解決手段】被験者の睡眠中の姿勢をモニタする睡眠姿勢モニタシステムであって、被験者の関節位置に配置され、電源を供給されることにより識別ＩＤを発信するＲＦＩＤタグ１０２と、あらかじめ定められた計測時刻に前記ＲＦＩＤタグ１０２に電源を供給するとともに、ＲＦＩＤタグ１０２から識別ＩＤを受信する複数のアンテナ部１０１と、識別ＩＤを受信したアンテナ部１０１での受信電磁場強度を測定する電磁場強度測定部１０３と、受信された識別ＩＤと、識別ＩＤを受信したアンテナ部１０１の位置と、アンテナで測定された電磁場強度とから、関節の空間位置を算出し、算出された関節の空間位置に基づいて、被験者の睡眠中の姿勢または姿勢の変化を検出する関節位置算出部１０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】管状材の芯ぶれが発生する場合においても、システム構成の複雑化を抑制しつつ、管状材の肉厚を精度よく測定するとともに、厚肉管での測定精度の劣化を抑制する。
【解決手段】芯ぶれ算出部２１ａは、検出器１６ａ、１６ｂによる計測値を検出器１６ａ、１６ｂから受け取ると、これらの計測値の比を求め、この計測値の比に対応した芯ぶれ量Ｓを校正データから読み取ることにより、管状材１の芯ぶれ量を算出し、肉厚算出部２１ｃは、芯ぶれ算出部２１ａにて算出された管状材１の芯ぶれ量Ｓに基づいて、管状材１の芯ぶれ量Ｓがゼロの位置における放射線ビームＢ１、Ｂ２の透過長を求め、放射線ビームＢ１、Ｂ２の透過長に対応した管状材１の肉厚Ｔを換算データから読み取ることにより、管状材１の肉厚Ｔを算出する。 （もっと読む）

構造および／またはシステム内の隠れた物体を分析することによって構造および／またはシステムの変更の設計の前段階として構造および／またはシステムの物理的寸法および構成を測定する方法およびシステムが提供される。この方法は、変更の準備のために変更の前に構造および／またはシステムにアクセスするステップと、ｘ線後方散乱ユニットを用いて構造および／またはシステムを走査するステップと、ｘ線後方散乱ユニットからデータを収集し、そのデータを組合せて２Ｄ、２Ｄパノラマおよび／または３Ｄデータセットに再構築するステップと、データセットから、隠れた物体の表面および構造を生成するステップと、隠れた物体の表面および構造を構造および／またはシステムの既存の座標系に結び付けて３Ｄモデルを作成するステップとを含む。
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【課題】 高分解能のマイクロ蛍光Ｘ線測定を実行するための、改善された方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 試料の表面に適用された材料を試験する方法は、既知のビーム幅および強度断面を有する励起ビームを試料の領域に方向付けることを包含する。励起ビームに応答して領域から放射された蛍光Ｘ線の強度が測定される。測定された蛍光Ｘ線強度および励起ビームの強度断面に応答して、ビーム幅よりも微細な空間分解能で、領域内の材料の分布が概算される。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドなどに用いられる金属多層膜の構造評価に有効な、金属多層膜のＸ線反射率プロファイルの新しい解析法を提供する。
【解決手段】 金属多層膜のＸ線反射率プロファイルの解析のための各層の膜厚の初期値ｔ₁ ⁱ 〜ｔ₃ ⁱ として、蛍光Ｘ線測定から求めた各層の膜厚を用いるようにする。この初期値ｔ₁ ⁱ 〜ｔ₃ ⁱ としては、蛍光Ｘ線測定により得られた各層の付着量Ｆ₁ 〜Ｆ₃ を各層の材料の理論密度ρ₁ ⁱ 〜ρ₃ ⁱ で割って算出した値を採用するのが有利である。 （もっと読む）