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Fターム[2F067NN04]の内容

波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 走査形態 (139) | 相対移動 (137) | 対象物の移動 (92) | 回転移動 (23)

Fターム[2F067NN04]に分類される特許

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【課題】表面形状と内部構造との双方を計測する。
【解決手段】実施形態によれば、計測装置は、電磁波照射手段と検出手段とデータ処理手段と膜構造変換手段と膜構造計測手段とを持つ。電磁波照射手段は電磁波を生成して前記基体へ照射する。検出手段は、前記基体で散乱されまたは反射した電磁波の強度を測定する。データ処理手段は、前記検出手段からの信号を処理して散乱プロファイルを作成して解析し、前記周期構造の表面形状を算出する。膜構造変換手段は、前記周期構造の表面構造に関する仮想的膜構造を算出し、参照データから前記周期構造の内部構造に関する仮想的膜構造を算出する。膜構造計測手段は、前記仮想的膜構造から測定条件を設定し、該測定条件に従って前記周期構造について実測による反射率プロファイルを取得して解析し、前記周期構造を構成する各層の膜厚を算出し、算出された前記膜厚と前記仮想的膜構造とを用いて前記周期構造の形状を再構築する。 (もっと読む)


【課題】X線放射に対して僅かなコントラストしか生じない対象の測定を、十分な精度で迅速に行う、コンパクトな装置を提供する。
【解決手段】X線源10及びX線を検出する少なくとも1個のX線センサ7からなる第1の感知装置としてのX線感知装置及び測定物に対して座標測定装置のx、y及びz方向に位置決めすることができる第2の感知装置、例えば触覚式及び/又は光学式感知装置8、11、9を有する、測定物3の測定のための座標測定装置に関する。大きなサイズの測定物も問題なく測定できるように、X線感知装置7、10が第2の感知装置8,11、9に対応して座標測定装置10に位置決めされることを提案する。 (もっと読む)


【課題】容器内の液体の正確な液面高さを検出できるX線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のX線検査装置100は、X線源から照射されるX線XSを用いて、容器内の物品の検査を行うX線検査装置であって、X線源から照射され容器を透過したX線XSに基づいてX線画像を生成する画像生成部242と、生成されたX線画像における、物品の最上端面画像SZGと最下端面画像SKGとから、当該最上端面画像SZGの中心位置P1および当該最下端面画像SKGの中心位置P2を検出する中心検出部243と、検出された中心位置P1と中心位置P2との距離に基づいて、液面高さTを検出する高さ検出部244と、を備える。 (もっと読む)


【課題】十分な強度を有してタイヤに負荷を与える負荷部材によりX線が吸収され難く、負荷状態にあるタイヤの鮮明な断面画像を得ることができるタイヤ用CT装置を供する。
【解決手段】タイヤTを保持するタイヤ保持装置10と、タイヤ保持装置10により保持されたタイヤTの外周踏面に負荷部材21を押圧するタイヤ負荷装置20と、タイヤTにX線を照射し透過X線を検出してタイヤTの断面画像を得るX線CT装置30とを備えるタイヤ用CT装置において、負荷部材21は、タイヤTの外周踏面に対向して接する木板からなる踏面板22がアルミニウム製またはカーボン複合材からなる薄い板材26を加工して形成された薄板構造体25に固着されて構成されるタイヤ用CT装置。 (もっと読む)


【課題】撮像ポイントに対応する撮像領域間が重なった場合、評価ポイントについて撮像される画像の品質が低下する。
【解決手段】荷電粒子線装置における撮像範囲間の重なりの有無を、コンピュータによる演算処理を通じて判定する。この際、重なりの有無の判定は、判定対象に対応する撮像範囲を構成する4つの頂角のうち隣り合う関係にある4組の2つの頂角と、他の1つの撮像範囲を構成する4つの頂角のうちの1つの頂角とによって形成される4つの三角形の面積の総和が、判定対象に対応する撮像範囲の面積と一致する否かによって実行する。 (もっと読む)


【課題】X線反射率法を用いて積層体の層構造を正確に解析することのできる方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】このX線反射率法を用いた積層体の層構造解析方法は、例えば多層膜である試料にX線源からX線を照射する照射工程と、該試料から反射されるX線を検出器で検出する検出工程と、この検出されたX線の前記照射されたX線に対する割合であるX線反射率を測定器で測定する測定工程と、解析器で、前記試料に表面粗さ又は界面粗さがある場合において該試料の表面又は界面において該表面又は界面の凹凸により鏡面反射方向以外の方向にX線が散乱する、散漫散乱に伴う該表面又は界面での反射X線と透過X線の干渉成分の減少を加味して、前記測定されたX線反射率を解析する解析工程とを備えている。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェハが大型化した場合における、検査装置における(1)ステージの加速・減速制御の複雑化、(2)スループット低下、(3)ステージ反転動作時のステージ支持台の振動増大(分解能劣化)等の問題を解決する。
【解決手段】ウェハ6を回転させ、回転するウェハ6に対して走査型電子顕微鏡1から電子ビームを照射し、ウェハ6から放出される2次電子9を検出する。検出された2次電子9は画像処理部において、AD変換16され、画像データ並べ替部17において並べかえられ、画像演算18されて表示される。これによってステージ4をX方向、Y方向に大きく移動することなく、ウェハ6の全ダイの画像情報を取得することが出来る。 (もっと読む)


【課題】パッケージ材料で封止した部品中の単結晶基板の反りを、部品を破壊することなくパッケージ材料越しに回折X線を用いて測定する。
【解決手段】X線検出器1を固定したまま、入射X線4の波数ベクトル8の方向から測定した試料ステージ6の回転角ωを変化させると、ブラッグ条件が満たされるとき、すなわち試料30内のSiチップの照射領域の表面と入射X線4の波数ベクトル8とのなす角αがある特定の値をとるとき、X線の結晶回折が生じX線検出器1で回折X線9が検出される。ここで、試料30は、プリント基板上にSiチップが搭載され、それらがモールドにより封止した構造である。X線検出器1は、モールド越しに回折X線9を検出し、ロッキング曲線を取得することができる。このロッキング曲線に基づいて、Siチップの反り測定ができる。 (もっと読む)


【課題】対象物の断層像にアーチファクトがあっても、それに伴う誤差を生じることなく、正確にポリゴンデータを作成して対象物の3次元画像を正しく表示することのできる3次元画像化方法を提供する。
【解決手段】CT撮影等により得られた対象物の3次元濃度データを、あらかじめ設定されている一律のしきい値Stを用いてポリゴンデータを生成する前に、以下の修正を加えることで、アーチファクト等の影響をなくす。3次元濃度データから、仮のしきい値を用いて輪郭(境界)を抽出してその輪郭上の画素aを順次選択し、その画素aを通り対象物像の略法線方向の軸に沿い、その軸の周辺所定領域の画素の濃度値を積算して得られるプロファイルを作成して微分することによって当該プロファイルのピーク値を求め、そのピーク位置の濃度値Spと上記しきい値Stとの差を算出し、選択された画素aと周辺の画素の濃度値を、しきい値Stに近づくように修正する。 (もっと読む)


【課題】X線CT装置を用いることなく、X線透視を行うことにより、アルミダイキャスト部品のボイド等の欠陥をはじめとして、透視対象物内部の特異部位の3次元位置情報を正確に知ることができ、加えて3次元の概略形状を知ることのできるX線透視を用いた3次元観測方法と、その方法を用いたX線透視装置を提供する。
【解決手段】X線源1とX線検出器2の対と透視対象物Wとの相対位置を変化させ張ることにより、透視方向を少なくとも3方向に相違させた透視対象物Wの透視像を取得し、その各透視像上で特異部位の像を抽出し、各透視方向の透視像上で抽出された特異部位の像対応付けした後、各透視方向の透視像上の特異部位の像と、これらの各透視像を得たときのX線源1とX線検出器2の透視対象物Wに対する相対的な3次元位置情報を用いて、特異部位の3次元位置および/または3次元形状を算出し、表示する。 (もっと読む)


【課題】数〜数十原子層の膜厚からなる絶縁体層の膜厚に関して汎用性を損なうことなく測定精度を向上させた膜厚測定方法、及びその膜厚測定方法を用いて絶縁障壁層の膜厚を制御する磁気デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】測定対象層11と、測定対象層11と異なる電子密度を有するスペーサ層12とが基板Sの上に交互に積層された測定試料10に対してX線を照射して小角度のスキャンを行うことにより測定試料10のX線回折スペクトルを測定する。そして、X線の波長をλ、X線回折スペクトルに基づくn次の回折角をθ、X線回折スペクトルに基づくm次の回折角をθ、スペーサ層12の膜厚をスペーサ膜厚Tとするとき、測定対象層11の対象膜厚Tを式(1)に基づいて測定する。 (もっと読む)


【課題】ベルトスプライス段差の有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像された画像中のベルトコードBCが撮像されたベルトコード領域を確定するとともに、ベルトコード領域の幅寸法を互いにタイヤ周方向に間隔をおいて配置された複数の検出位置で検出し、互いにタイヤ周方向に隣り合う2つの検出位置の幅寸法検出結果の差をそれぞれ演算し、各演算結果のうち少なくとも1つ以上の演算結果が所定の基準値以上になると、ベルトスプライス段差が生じていると判定することから、例えば第2ベルト部材BE2のタイヤ周方向の両端部が互いにタイヤ幅方向にずれてスプライスされるベルトスプライス段差が生じている場合に、ベルトスプライス段差が生じていると判定される。 (もっと読む)


【課題】ベルトエッジオーバーラップの有無を正確に判定することができ、しかも検査に要する時間の短縮を図ることのできるタイヤの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像された画像から各ベルトコードBCが撮像されたベルトコード領域のうちベルト部材幅方向の両端部側の領域を抽出するとともに、その抽出画像中において第2ベルト部材BE2の各ベルトコードBC延設方向と等しい方向に延在する成分が集合している特定成分領域を確定することから、特定成分領域は第2ベルト部材BE2のみが存在する領域となる。また、特定成分領域がタイヤ周方向に不連続である場合に、その透過X線像を撮像したタイヤTにベルトエッジオーバーラップが生じていると判定される。 (もっと読む)


【課題】試料分析の精度を向上させる。
【解決手段】本発明の試料分析装置1は、基板上に薄膜が形成された試料12に、例えば、X線あるいは中性子線を照射し、薄膜の構造パラメータを解析する試料分析装置1であり、試料12を反射したX線あるいは中性子線の強度を測定する測定手段と、試料12を透過したX線あるいは中性子線の強度を測定する測定手段と、を備えたことを特徴とする。このような試料分析装置1によれば、測定データとして、試料12を反射したX線あるいは中性子線の反射率が測定されると共に、試料12を透過したX線あるいは中性子線の透過率が測定されるので、測定データの数が増加し、残差二乗和によって導出される構造パラメータの精度が向上する。 (もっと読む)


【課題】
パッケージに封入された結晶試料の形状を非破壊で評価できる技術を提供する。
【解決手段】
結晶試料の形状評価方法は、(a)仮想xyz直交座標系を有する空間の、xy面上に結晶試料を配置し、xz面に平行にX線を結晶試料上に照射し、結晶試料の所定結晶面からxz面に平行に回折されるX線を検出するように、X線ソース、X線検出器を配置し、y軸回りのωスキャンを行なって回折X線強度が最大となる角度ωを、結晶試料面内の位置の関数として検出する工程と、(b)回折X線強度が最大となる角度ωを結晶試料のx軸方向に積分し、結晶試料のx軸方向の形状を評価する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。
【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、X線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のX線画像を取得し、上記複数のX線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の検査位置を決定する。 (もっと読む)


【目的】本発明は、検出対象のパターンのパターン画像を取得するパターン画像取得方法およびパターン画像取得装置に関し、マスクなどの検出対象のパターンに対して回転させて平行とならないようにしてビームを走査しそのときの信号を検出してエッジ検出してパターン画像を取得し、迅速かつ安定かつ高精度にパターン画像を取得することを目的とする。
【構成】 検出対象のパターンと平行とならないようにビームの走査方向あるいは検出対象のパターンを回転させるステップと、検出対象のパターンと平行とならないようにビームの走査方向が回転された状態で、パターンを異なる位置で横切る複数本の走査を行ってラインプロファイルを取得するステップと、取得したラインプロファイルをもとにパターンのエッジ位置を検出するステップとを有する。 (もっと読む)


【課題】精度を維持してCT画像の合成を行うことができ、試料を部分的に拡大して撮影する場合等においても、複数の3次元画像を高い精度のもとに合成して試料全体の3次元情報を正確に得ることのできるX線CT装置を提供する。
【解決手段】回転テーブル3上に試料Wを収容する筒状の枠体20を配置し、その枠体20には、回転テーブル3上への搭載状態で回転軸Rに略直交する方向に伸びる少なくとも1本の溝を21a,21b,21cを形成しておき、各部分撮影に際しては溝21a,21b,または21cのいずれかを含む領域を各撮影領域の重複領域に収まるようにすることで、各3次元画像の合成に際しては各溝21a,21b,または21cが合致するように画像を合成することによって、合成精度を向上させることを可能とする。 (もっと読む)


本発明は、測定対象(1)に侵襲性放射が照射される、測定対象(1)を検査するための方法及び装置に関し、その際、放射線源(3)からの侵襲性放射の相互作用が、放射感受性を有するセンサ装置(6)を用いて検出され、その際、センサ装置(6)の期待検出結果が、測定対象(1)の設定形状寸法を用い、かつ材料特性を用いて算定装置(13)によって算定され、及び/又は期待検出結果が、マスタ部品を寸法測定することによって得られ、該期待検出結果が、センサ装置(6)の実際の検出結果と比較装置(11)によって比較される。
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【課題】高精度かつ高速な半田ボール接合不良検査方法を提供する。
【解決手段】BGAパッケージとプリント基板103との接合部の外観検査時に、当該プリント基板に塗布されるクリーム半田部に対して該BGAパッケージの半田ボール104により接合する際のプリント基板103との接合部分のX線検査方法において、3次元画像データを再構成して生成された3次元画像データよりX線透過率を利用して半田ボール部位の画像データを抽出し、その抽出した半田ボール部位における画像データの特徴量を抽出し、当該抽出した特徴量により半田ボール104とプリント基板103の接合状態の良否を判定する。 (もっと読む)


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