Fターム[2F067RR00]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 信号処理、電源関連 (1,540)
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Fターム[2F067RR00]に分類される特許
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物理量測定装置及びこの装置を用いた物理量測定方法
【課題】 測定範囲の全域にわたって分解能の改善を図った物理量測定装置およびこの装置を用いた物理量測定装置を提供する。
【解決手段】 放射線を含む線源から出射され、シ―ト状の被測定体を透過したエネルギーの減衰量を検出器により検出し、前記被測定体の物理量の測定を行う物理量測定装置において、前記線源と検出器の間の空気層を測定した検出器の出力信号を正規化して検量線を作成する第1検量線作成手段と、前記線源と検出器の間に標準サンプルを挿入した状態の検出器の出力信号を正規化して検量線を作成する第2検量線作成手段を備えている。
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組み合わされたX線反射率計及び回折計
【課題】 サンプルの迅速なXRR及びXRDに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。
【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってX線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したX線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したX線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも1つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したX線を検出器アレイが検知する第1の構造と、サンプルのBragg角の近傍において、表面から回折したX線を検出器アレイが検知する第2の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。
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薄膜の被覆率測定方法及び薄膜の膜厚変化検出方法
【課題】 薄膜と薄膜が形成されている基板の材料とが同じ材料を含んでいても、薄膜の微小領域における被覆率の測定を行うことができる薄膜の被覆率評価方法を提供する。
【解決手段】 検量線作成用の、シランカップリング膜2を形成したシリコン基板5をS−SIMS測定法で測定し、シランカップリング膜2に含まれる有機系のPFPEイオン強度値と、シリコンイオン強度値との検量線用イオン強度比(PFPEイオン強度値/シリコンイオン強度値)を取得する。検量線用イオン強度比を基にして被覆率を求めるための検量線を作成する。次に、実際のシランカップリング膜2が形成されたシリコン基板5をS−SIMS測定法で測定し、シランカップリング膜2に含まれるPFPEイオンの強度値とシリコンイオン強度値の試料イオン強度比を取得する。作成した検量線を用いて、試料イオン強度比から被覆率を評価する。
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電子線システムと電子線システム用基準試料
【課題】 試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の画像計測が行なえる電子線装置と電子線装置用基準試料を提供する。
【解決手段】 上記目的を達成する本発明の電子線システムは、例えば図1に示すように、電子線を射出する電子線源1と、電子線源1から射出された電子線7を収束し、試料9に照射する電子光学系2と、電子線7が照射された試料9からの電子7dを受け取る検出部4と、試料9を支持する試料支持部3と、試料支持部3で支持された試料9に照射される電子線7と試料3とを相対的に傾斜させる試料傾斜部5(5a,5b)と、前記相対的な傾斜が自在であるように試料支持部3で支持された少なくとも傾斜した2面を有する基準試料9aから電子を受け取った検出部4からの検出信号を、傾斜毎に受け取り、前記傾斜した2面の画像と基準試料9aの基準寸法とから、基準試料9aの傾斜角度を求めるデータ処理部20等とを備える。
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