説明

Fターム[2F067RR02]の内容

Fターム[2F067RR02]に分類される特許

1 - 8 / 8


【課題】本発明の目的は、異なる帯電が混在するが故に、正確な検査,測定が困難になる可能性がある点に鑑み、異なる帯電現象が含まれていたとしても、高精度な検査,測定を可能ならしめる方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、帯電条件の変化を示すフィッティング関数に基づいて、荷電粒子線照射によって得られるパターン寸法を補正する方法、及び装置を提案する。このような構成によれば、特性の異なる帯電現象が混在するような場合であっても、走査荷電粒子線装置による正確な検査,測定を行うことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】塗膜下における鋼材の腐食部分の体積を非破壊で測定することができるようにする。
【解決手段】周波数が100〔GHz〕〜10〔THz〕の範囲の電磁波を用いて被検査物の塗膜層表面の2次元的な計測位置毎に塗膜層を介在させて電磁波測定を行って反射強度の2次元分布計測値を得て、当該2次元分布計測値における計測位置毎の反射光電界を用いて〔ア〕照射光電界反射係数lを算出して計測位置毎の侵入光電界反射係数kを求めるか若しくは〔イ〕電界減衰率mを算出して計測位置毎の侵入光電界反射係数kを求め(S5)、当該侵入光電界反射係数kを用いて計測位置毎に被検査物の塗膜層下の鋼材の腐食層の厚さdRを求め(S6)、当該腐食層の厚さdRを用いて被検査物の塗膜層下の鋼材の腐食部分の体積Vを求める(S7)ようにした。 (もっと読む)


【課題】半導体回路原版として用いるマスクのパターン寸法を計測する際に、パターンの寸法とともに側壁角度も同時に計測する。
【解決手段】基板表面から放出された二次電子を計数する機構に含まれる波高弁別器9において、一定時間間隔内に検出器に入った電子の個数の計数量を制限することによって、SEM画像のパターン側壁に生じるホワイトバンドの幅とパターン側壁角度の相関関係を強調することができ、予め求めたパターン側壁角度とホワイトバンドの幅の相関関係からパターン側壁角度を非破壊で計測することができる。 (もっと読む)


【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部11、反射光受光部12及び分析部13(エリプソメータ部)と、X線源21、蛍光X線検出部22及び分析部23(X線測定部)と、レーザ光源31、ビームスプリッタ34、ラマン散乱光検出部32及び分析部33(ラマン散乱光測定部)とを備える。試料6に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光X線分析を組み合わせることにより、試料6の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料6が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 (もっと読む)


【課題】タービンや発電機等の回転体軸の軸伸び量を非接触でかつ遠方での測定が可能であり、かつ装置の信頼性と安全性が高く高精度の測定が可能となる回転体軸の軸伸び量測定装置を提供する。
【解決手段】回転体軸に放射線源を設けこれと放射線検出器を対向させて配置し、放射線検出器の検出信号に基づいて回転体軸の軸伸び量を測定する回転体軸の軸伸び量測定装置において、回転体軸1の軸長方向に沿って設けられ、回転体軸の半径方向に放射線を放射するように配置された放射線源3と、回転体軸の半径方向に放射線源と離間して対向配置され、放射線を検出する放射線検出器5と、放射線源と放射線検出器との間に配置され、回転体軸の軸伸び量がゼロの状態において放射線の放射線検出器への入射を遮蔽する遮蔽部材6とを備え、回転体軸の軸伸びに伴って放射線検出器で検出される放射線の線量率の変化に基づき、回転体軸の軸伸び量を測定する。 (もっと読む)


【課題】 ロール間を走行する磁気テープがバタツキを生じても、磁性膜の膜厚を正確に測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】磁気テープTの表面側に配置したX線管球4から所定の入射角で1次X線x1 を入射させ、磁性膜3内のターケット元素から発生する蛍光X線f1 の強度を入射角に対応する反射角の方向に配置した半導体検出器11で検出する。また、磁気テープTの裏面側には表面側のX線管球4に対向させてX線管球5を配置して1次X線x2 を入射させ、ターケット元素から発生する蛍光X線f2 の強度を表面側の半導体検出器11に対向させて配置した半導体検出器12で検出する。磁気テープTがバタツキを生じても、半導体検出器11によって検出される蛍光X線f1 の強度のカウント値と、半導体検出器12によって検出される蛍光X線f2 の強度のカウント値との合算値は磁性層3の正確な膜厚を与える。 (もっと読む)


【課題】複数の種類が既知である元素及び/又は化合物から成る被測定物中の、各元素及び/又は各化合物の厚さ、又は含有量及び密度を短時間で且つ正確に求める。
【解決手段】X線2を被測定物3に透過させ透過X線をエネルギー弁別可能な検出器4で検出し、その検出信号により所定のエネルギーにおける実測X線強度を求めてデータ処理部6に与える。被測定物3の含有元素の吸収端波長が利用できる場合、吸収端前後の波長における質量吸収係数から求まる理論的な透過X線強度比と実測の透過X線強度比等を既知とし、元素の厚さを未知の値とする連立方程式を解くことで定量する。吸収端波長が利用できない場合には直接X線の測定結果も利用し、複数の波長における質量吸収係数から求まる理論的な透過X線と直接X線との強度比、及び実測の透過X線と直接X線との強度比を既知とし、各元素及び/又は各化合物の厚さを未知の値とする連立方程式を解くことで定量する。 (もっと読む)


【課題】 磁気テープに形成された複数層の磁性膜の膜厚を迅速、簡易に、かつ高い精度で測定し得る膜厚測定方法及び膜厚測定装置を提供すること
【解決手段】 X線源21によって磁気テープ22の磁性膜10にX線を照射し、磁性膜10とシリコンドリフト検出器(SDD)33との間にTiフィルタ26とAlフィルタ27を配置し、下層磁性膜11、上層磁性膜12に含まれるFeと、上層磁性膜12にFeと共に少量含まれるYとから放射される蛍光X線の内、Yからの蛍光X線の強度を相対的に強調してSDD33に入射させる。SDD33よって電流パルスとして検出される蛍光X線の強度を電圧パルスに変換し、その電圧パルスの波高を計数回路34によって蛍光X線の強度としてカウントして、小型コンピュータ25により蛍光X線スペクトルを描かせ、FeとYについて波形分離して定量分析し、検量線に基づいて下層磁性膜11、および磁性膜10の膜厚を測定する。 (もっと読む)


1 - 8 / 8