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Fターム[2F067RR08]の内容

Fターム[2F067RR08]に分類される特許

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【課題】OPC model calibrationに要する計算時間を削減しつつ、精度を向上させる。
【解決手段】半導体の回路パターンのマスクエッジデータ、および回路パターンを撮像した画像データを記憶する記憶部と、画像データを入力として回路パターンのSEM(Scanning Electron Microscope)輪郭線を抽出し、マスクエッジデータと抽出したSEM輪郭線のデータ(SEM輪郭線データ)とに基づいて、露光シミュレーション部に予測SEM輪郭線のデータ(予測SEM輪郭線データ)を生成させるSEM輪郭線抽出部と、マスクエッジデータと、SEM輪郭線データと、予測輪郭線データとを入力として、SEM輪郭線データおよび予測SEM輪郭線データを、1次元形状の輪郭線と2次元形状の輪郭線とに分類する形状分類部と、SEM輪郭線データと予測SEM輪郭線データとを入力とし、1次元形状及び2次元形状の種類に応じて、SEM輪郭線データのサンプリングを行うSEM輪郭線サンプリング部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 高アスペクト構造であっても、パターン底部の寸法を高精度に計測できる荷電粒子線装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】 アスペクト比の高いパターンが形成された試料のパターン寸法底部を計測する方法において、試料の同一領域に荷電粒子線を第1方向及び第1方向とは逆の第2方向に走査させたときにそれぞれ発生する信号荷電粒子に基づく第1走査像と第2走査像とを比較し、走査像の信号強度が小さい方を真値とし、走査像を再構築し、再構築した走査像を用いて試料に形成されたパターン底部の寸法を計測する。また、その方法を実現する荷電粒子線装置。 (もっと読む)


【課題】検査対象パターン画像と、設計データ等の検査対象パターンを製造するために使用するデータを用いて検査対象パターンを検査するパターン検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査対象パターンを製造するために使用するデータから線分もしくは曲線で表現された基準パターンを生成する生成手段と、検査対象パターン画像を生成する生成手段と、検査対象パターンを検査する検査手段とを備え、検査手段は、検査対象パターン画像と1回目の露光の工程に関する基準パターンとをマッチングし、検査対象パターン画像と2回目の露光の工程に関する基準パターンとをマッチングして、1回目の露光の工程で形成されたパターンと2回目の露光の工程で形成されたパターンとのオーバーレイエラーを検査する。 (もっと読む)


【課題】SEMにおいて、同心円状パターンの異常、欠損等を自動で検出することができる。
【解決手段】同心円状のパターンを有する試料のSEM画像を撮像する画像撮像部と、前記画像からドット状パターンの重心点または線状パターンの中心線を求め、求めた重心点または中心線から所定の値を算出し、該所定の値と理論値との差分値を求め、該差分値と所定の閾値とを比較する位置測定部と、前記比較結果を表示装置に出力する出力部とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】鉄鋼石やコークスの堆積プロフィール測定をシュータの一旋回毎に行うことで、実際の堆積プロフィールを理論堆積プロフィールにより近づけて最適な高炉の操業を行う。
【解決手段】高炉の内部に鉄鋼石やコークス等の装入物を装入し、堆積させる方法であって、シュータの旋回中、もしくは一回の旋回毎に、検出媒体で堆積物の表面を走査して堆積プロフィールを測定しながら装入物を装入する。また、測定した堆積プロフィールを、予め求めた理論堆積プロフィールと比較し、理論堆積プロフィールからの誤差を修正するようにシュータを制御して新たな装入物を装入する。そして、このような装入方法を用いて高炉を操業する。 (もっと読む)


【課題】欠陥箇所のフレームが特定可能な、又は保存画像の圧縮率が高い、或いはシステマティックな欠陥を抽出可能な高精度で低ダメージの走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査電子顕微鏡において、パターンの検査・測長のための合成画像を構成する個々のフレーム画像やサブフレーム画像に対してパターンの有無を判定するパターン有無判定部1012や倍率補正部1014、歪曲補正部1018、画像合成部1015及びそれら画像を動画形式で圧縮保存する記憶部1111を備える。 (もっと読む)


【課題】半導体集積回路の線幅管理用に、CD−SEMが用いられているが、CD−SEMの自動測定機能は1次元対応で、2次元形状は、CD−SEMや他の顕微鏡から取得された画像を使って操作者が手動で検査しているので、この検査工程を自動化する技術を提供する。
【解決手段】「検査対象パターン画像」と検査対象パターンを製造するために使用する「設計データ」を用いるパターン検査装置であって、データから線分もしくは曲線で表現された基準パターン生成部11と、検査対象パターン画像を生成する画像生成装置7と、検査対象パターン画像のエッジを検出し、検査対象パターン画像のエッジと線分もしくは曲線で表現された基準パターンとを比較することにより、検査対象パターンの測定値を得る検査部12と、測定値の分布から、パターンの製造に関するフィードバック情報を取得する出力部13とを備えた。 (もっと読む)


【課題】ノイズの多い微細ラインパターンのSEM観察像からエッジラフネスの程度を精確かつ迅速に評価するために、計測されるエッジラフネスの指標のうち、装置のランダムノイズの寄与を1枚の画像データをもとに計算する。またエッジラフネス指標の計測値から装置起因のラフネスを差し引いて、パターンに実際に存在するラフネスの程度を計算する。
【解決手段】エッジ位置のゆらぎのうち、ランダムなノイズに起因する量(分散値)は統計的にみて、エッジ位置データをN個平均したときに1/Nに減少する。この性質を利用し、1枚の画像に対してさまざまなパラメータSの値で画像を縦方向に平均化したのち、エッジラフネス指標を求める。エッジラフネス指標のS依存性を分析し、分散値が1/Sに比例する項をノイズ起因とする。 (もっと読む)


【課題】ノイズの多い微細ラインパターンのSEM観察像からエッジラフネスの程度を精確かつ迅速に評価するために、計測されるエッジラフネスの指標のうち、装置のランダムノイズの寄与を1枚の画像データをもとに計算する。またエッジラフネス指標の計測値から装置起因のラフネスを差し引いて、パターンに実際に存在するラフネスの程度を計算する。
【解決手段】エッジ位置のゆらぎのうち、ランダムなノイズに起因する量(分散値)は統計的にみて、エッジ位置データをN個平均したときに1/Nに減少する。この性質を利用し、1枚の画像に対してさまざまなパラメータSの値で画像を縦方向に平均化したのち、エッジラフネス指標を求める。エッジラフネス指標のS依存性を分析し、分散値が1/Sに比例する項をノイズ起因とする。 (もっと読む)


【課題】線状導体の先端付近に観測空間が無くても、その先端付近における状況を把握できるような検出装置を提供する。
【解決手段】吐出針Nの先端における液体の吐出状況を検出する検出装置100において、空胴共振器11にマイクロ波周波数の電磁波の定在波をTM01モードで励起し、このTM01モードの回転磁界の中心に沿って配置された吐出針Nに電磁誘導によってマイクロ波周波数の交流電流Iを流す励振部10と、交流電流Iが流れることによって吐出針Nから放射される電磁波を受信する受信部20と、受信部20の受信した電磁波に基づいて吐出針Nの先端における吐出の有無や吐出量を検出する検出部30を備える。 (もっと読む)


【課題】耐ノイズ性が高く,僅かな解像力の差異が抽出可能な静電潜像評価方法、静電潜像評価装置、画像形成装置を得る。
【解決手段】静電潜像パターンが形成された光導電性試料の面を荷電粒子ビームにより走査し,パターンによる電気的影響を受けた荷電粒子を捕獲して強度信号を検出し,強度信号から潜像パターンを含む断面プロファイルを抽出し,露光部,非露光部の強度信号から基準量,特徴量を抽出し,光導電性試料の潜像解像力を算出する。空間周波数の異なる複数の静電潜像パターンを光導電性試料の面に形成し,それらの断面プロファイルにおける露光部,非露光部の強度信号のうち,最も空間周波数の低いパターンの露光部における強度信号値,パターン外の非露光部における強度信号値を基準量として,各空間周波数において潜像の解像力を算出し,潜像のレスポンス関数を算出する。 (もっと読む)


【課題】従来技術では極めて困難であった、感光体の表面に生じている電荷分布あるいは電位分布をミクロンオーダーで高分解能の計測を可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】感光体試料17に対して、荷電粒子ビームを照射する照射手段2と、該照射によって得られる荷電粒子の信号を検出する検出手段5と、感光体試料17の電荷分布の状態を測定する測定手段としての画像処理手段51と、感光体試料17に複数の潜像パターンを形成するための露光手段3と、露光手段3の光源の発光を制御する発光制御手段としてのLD駆動部21及び制御手段20と、を有している。 (もっと読む)


【課題】検査対象物内の液体の流れを停止させないで保温材内の水の存在位置を精度良く測定できる水分検出装置を提供する。
【解決手段】配管検査装置15の中性子発生管1及び中性子検出器を有する。中性子発生管2は単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子20を発生し、保温材12に照射する。高速中性子20は保温材12内に存在する水14及び配管11内を流れる液体10によって減速されて熱中性子21となる。高速中性子20の照射方向とは逆方向に進行する熱中性子21はHe比例計数管2で検出される。この計数管2からの出力信号は多チャンネル波高分析器8を経てデータ処理装置9に達する。データ処理装置9は高速中性子の発生時刻を基準とする熱中性子検出率の分布情報を算出し、さらに、この分布情報を用いて、保温材12内に水14が存在する場合の水14の位置及び水14の量を求める。 (もっと読む)


【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるX線検査装置を提供する。
【解決手段】 X線画像に基づいてワークの体積を測定するX線検査装置であって、その処理ユニット6が、各透過領域のX線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部62と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部63と、X線透過量相当のデータを処理して、ワークにX線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようX線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部61とを含み、ゼロ点補正部61が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 (もっと読む)


【課題】走査型電子顕微鏡の撮像画像の画質を向上させる。
【解決手段】1次電子ビーム108を試料ウェハ106に照射する電子源101、加速電極102、集束レンズ103、偏向器104、対物レンズ105等と、試料ウェハ106から発生する放出電子信号109をサンプリングしてデジタル画像を取得する検出器110、デジタル化手段111等と、取得した前記デジタル画像の記憶、表示もしくは処理を行う画像メモリ116、入出力部118、画像生成部115、画像処理部114等とを備えた走査型電子顕微鏡に、前記記憶、表示もしくは処理されるデジタル画像の画素サイズよりも細かい間隔で放出電子信号109をサンプリングするサンプリング手段と、サンプリングされた放出電子信号109を元に画素サイズを大きくしてデジタル画像を生成する画像生成処理手段とを設ける。 (もっと読む)


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