Fターム[2F067RR22]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 信号処理、電源関連 (1,540) | 信号の特定値、特定位置の値をみるもの (21) | 変曲点 (1)
Fターム[2F067RR22]に分類される特許
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パターン測定装置及びパターン測定方法
【課題】パターンの線幅を精度よく測定できるパターン測定装置及びパターン測定方法を提供する。
【解決手段】試料の設計データ30を参照して、設計データ30上のパターンのエッジの段差がない部分に測定領域35を設定するとともに、その設計データ30から特徴部としてエッジ36c、36dを検出する。また、二次電子像40から、設計データ30の特徴部に対応する特徴部としてエッジ46c、46dを検出する。そして、設計データ30のエッジ36c、36dと、二次電子像のエッジ46c、46dとの位置関係に基づいて測定領域35を二次電子像40上に位置合わせして配置する。このようにして配置された測定領域45内のエッジ間の距離に基づいてパターンの幅を測定する。
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