流体機械における回転部品と静止部品との間の半径方向隙間（１８）の隙間寸法を検出する方法において、回転部品の表面に配置された送信装置（２２）から放射された原始信号が、静止部品上に配置された受信装置（２４）により変化して受信され、評価装置（４８）に伝えられ、この評価装置（４８）が受信信号から、回転送信装置（２２）の軌道曲線のパラメータの検出によって（軌道検出）、半径方向隙間（１８）の隙間寸法を検出し表示する。
（もっと読む）

【課題】 試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の画像計測が行なえる電子線装置と電子線装置用基準試料を提供する。
【解決手段】 上記目的を達成する本発明の電子線システムは、例えば図１に示すように、電子線を射出する電子線源１と、電子線源１から射出された電子線７を収束し、試料９に照射する電子光学系２と、電子線７が照射された試料９からの電子７ｄを受け取る検出部４と、試料９を支持する試料支持部３と、試料支持部３で支持された試料９に照射される電子線７と試料３とを相対的に傾斜させる試料傾斜部５（５ａ，５ｂ）と、前記相対的な傾斜が自在であるように試料支持部３で支持された少なくとも傾斜した２面を有する基準試料９ａから電子を受け取った検出部４からの検出信号を、傾斜毎に受け取り、前記傾斜した２面の画像と基準試料９ａの基準寸法とから、基準試料９ａの傾斜角度を求めるデータ処理部２０等とを備える。 （もっと読む）