Fターム[2F067TT03]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 対象物、標準物への処理、操作に言及 (35) | 熱的(加熱、冷却) (1)
Fターム[2F067TT03]に分類される特許
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荷電粒子線装置
【課題】本発明は、観察対象である試料の伸縮の変化を抑えることにより、観察対象の位置ずれを解消し、大幅なスループット向上を図った荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を保持する試料保持手段と、前記試料の温度の調整が可能な温度調節手段と、各種条件に基づき前記温度調節手段の制御が可能な温度調整手段制御手段を有することを特徴とする。
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