Fターム[2F067UU00]の内容
波動性又は粒子性放射線を用いた測長装置 (9,092) | 機能要素、技術事項、マイクロ波回路 (144)
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開口手段 (34)
測定器の位置決め、調整 (2)
装置の冷却 (4)
遠隔測定(無線、有線) (10)
マイクロ波回路素子 (38)
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Fターム[2F067UU00]に分類される特許
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放射線応用計測方法,放射線応用計測装置及び放射線応用計測装置用断熱材
【課題】酸・アルカリや有機溶剤などの環境下で使用でき,さらに検出部と線源との間に介在する水分による検出精度の低下を生じない放射線応用測定装置及びコンパクトにして放射線源と検出器が簡単に同一光軸上に設置できるような構造を持つ放射線応用測定装置を提供すること。
【解決手段】放射線源部3と該放射線源部3に対向して配置された放射線検出部5との間に検出対象空洞1を挟んで配置し,放射線源部3から放出され検出対象空洞1を通過した放射線を放射線検出部5で検出することにより検出対象空洞内1の検出対象物の特性を計測する放射線応用計測方法において,放射線検出部5と検出対象空洞1との間に,非吸水性で且つ熱伝導度が0.1W/m・K以下,望ましくは0.1W/m・K以下の部材11を介在させて放射線を検出する。
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基板検査装置、基板検査方法および半導体装置の製造方法
【課題】 基板の欠陥を高感度で検出する。
【解決手段】 二次電子ビームの焦点面に、検査対象部位に応じた形状およびサイズの複数の開口絞りが設けられた可動絞り板81を設置し、任意の検査対象部位から高い二次電子放出比で放出される二次電子ビームが可動絞り板81を通過してMCP検出器31の検出面で結像するように絞り81Bα〜81Bγ,81Dα〜81Dγを選択する。
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マイクロ波画像のバックグラウンドノイズを最小にするシステムおよび方法
【課題】プログラム可能な反射板アレイを使用して捕捉されたマイクロ波画像のバックグラウンドノイズを最少にするシステムを提供すること。
【解決手段】マイクロ波源と、マイクロ波受信器と、各アンテナ素子が、ターゲットにマイクロ波放射を反射し、前記ターゲットから反射されたマイクロ波照明を前記マイクロ波受信器の方に反射するように位相ずれをプログラムされた反射板アンテナアレイと、前記複数のアンテナ素子に第1の位相ずれと第2の位相ずれをプログラムすることができ、前記それぞれの複数のアンテナ素子の前記第1の位相ずれと前記第2の位相ずれが180度異なるプロセッサとを具備し、前記プロセッサが、さらに、前記第1のマイクロ波画像と前記第2のマイクロ波画像の組み合わせからノイズを最小にするように動作可能である、マイクロ波画像形成システム。
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