【課題】
各種のパターンに対応する計測方法については開示されておらず、特に計測対象パターンの両辺が直線乃至は曲線で構成され、両辺が非平行なパターンの計測方法についての開示はない。
【解決手段】
半導体ウェーハ上に形成されたパターンを撮像し、撮像画像に基づいてパターン寸法を計測する方法であって、画像上のパターンの両側のエッジ位置を特定するステップと、パターンの第１のエッジ上にある第１の点と、その反対側のエッジである第２のエッジ上にある第２の点において、該第１の点と該第２の点を結ぶ線分と、該第１の点における該第１エッジの第１の接線と、該第２の点における該第２エッジの第２の接線に基づいて計測を行うステップと、該線分の距離を計測するステップを有することを特徴とする半導体パターン計測方法である。 （もっと読む）

【課題】無線装置に電波を放射した際に、より大きい発熱量を急峻に得られるようにする。
【解決手段】ＩＣタグ１００において、比較器１３６は、受信電力が所定の大きさ以上であると判定すると、アンテナ１０１とコンデンサ１２１とを接続するようにスイッチ１０２を制御する。この状態において、アンテナ１０１がＩＣタグリーダから送信される電波を受信することで、アンテナ１０１が発熱する。この状態では、ＲＦ回路１１１がアンテナ１０１から切り離されているので、ＩＣタグリーダが強い電波を送信してアンテナ１０１の発熱量を大きくすることができ、より大きい発熱量を急峻に得られる。 （もっと読む）

【課題】センサ組み立て体内の電磁放射を低下させ、信号強度の低下を防止する。
【解決手段】センサ組立体１１０内で使用するセンサプローブ２０２は、少なくとも１つのマイクロ波信号から少なくとも１つの前方伝播電磁場２２４を生成し、少なくとも１つの後方伝播電磁場２２８を生成するように構成された放射体２０６と、放射体に結合されたデータ管路２０４からなり、データ管路２０４周りにほぼ円周方向に延び、センサ組立体内の電磁放射を大幅に低下させるように構成された接地導体を設ける。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波を利用し測定範囲を広げると共に、その高い周波数特性により、測定精度を上げる。
【解決手段】センサアセンブリ１１０を備え、センサアセンブリ１１０は、少なくとも１つのマイクロ波信号から、少なくとも１つの電磁場２０９を発生させるマイクロ波エミッタ２０６を備える少なくとも１つのプローブ２０２であって、部品が少なくとも１つの電磁場と相互作用すると、マイクロ波エミッタに負荷が生じるプローブと、マイクロ波エミッタに結合されたデータコンジット１１５であって、負荷を表す少なくとも１つの負荷信号が、マイクロ波エミッタからデータコンジット内に反射されるデータコンジットと、少なくとも１つの負荷信号を受信し、部品を監視するのに使用される電気出力を生成するように構成された少なくとも１つの信号処理器２００とを備える、部品１０４の監視システム。 （もっと読む）

【課題】近接度応答の線形範囲を拡大する。
【解決手段】マイクロ波センサ組立体１１０は、あるパターンの周波数を含む少なくとも１つのピンクノイズ系マイクロ波信号を生成するための信号処理デバイス２００と、前記信号処理デバイスに結合された少なくとも１つのプローブ２０２と、を含む。プローブは、少なくとも１つのピンクノイズ系マイクロ波信号から電磁場２２４を生成するように構成された放射源２０６を含み、放射源２０６から前記信号処理デバイスに負荷信号が反射するように物体が前記電磁場内に配置されたとき、前記放射源は離調する。 （もっと読む）

【課題】エミッタの散乱パラメータを安定化さすセンサアセンブリを提供する。
【解決手段】センサアセンブリ１１０は、所定の周波数範囲内で複数の周波数成分を含む少なくとも１つのマイクロ波信号から少なくとも１つの電磁界２２４を発生させるエミッタ２０６を備えた少なくとも１つのプローブ２０２であって、部品が少なくとも１つの電磁界２２４と相互に作用した場合にエミッタ２０６に負荷が誘起される、少なくとも１つのプローブ２０２と、エミッタと結合されたデータコンジット２０４であって、負荷を表す少なくとも１つの負荷信号がこのデータコンジット２０４内でエミッタ２０６から反射されるデータコンジット２０４と、少なくとも１つの負荷信号の受信と電気的出力の発生とを行うように構成された少なくとも１つの信号処理装置２００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電磁場に対して、大きな電磁エネルギー量を放射するエミッタを有すセンサ組立体を提供する。
【解決手段】マイクロ波エミッタ２０６は、エミッタ本体３００から半径方向外向きに延びる第１のアーム３１０を含む。第１のアーム３１０は、少なくとも部分的に非線形であり、かつ少なくとも１つのピーク３３４及び少なくとも１つのトラフ３３６を有する。本マイクロ波エミッタ２０６はまた、エミッタ本体３００から半径方向外向きに延びる第２のアーム３１２を含む。第２のアーム３１２は、少なくとも１つのピーク３３４及び少なくとも１つのトラフ３３６を有する。第１のアーム３１０及び第２のアーム３１２は、少なくとも１つのマイクロ波信号を受信した時に電磁場を発生する。 （もっと読む）

【課題】稼働中の駆動軸との近接度を、測定範囲の広いセンサーで検出し、データを送信する。
【解決手段】機械構成部品１０４をモニタするうえで使用するためのセンサ組立体１１０は信号処理デバイス２００と、少なくとも１つのプローブ２０２と、を含む。少なくとも１つのプローブは、少なくとも１つのマイクロ波信号から電磁場が生成されるように構成された放射源２０６を含み、負荷信号が生成されるように電磁場内に機械構成部品が配置されたとき、放射源は、離調する。少なくとも１つのプローブは、放射源に結合され、負荷信号を信号処理デバイスに無線で送信するように構成された送信機２１０も含む。 （もっと読む）

【課題】アクチグラフでは睡眠中の被験者の姿勢まで検出することができない。
【解決手段】被験者の睡眠中の姿勢をモニタする睡眠姿勢モニタシステムであって、被験者の関節位置に配置され、電源を供給されることにより識別ＩＤを発信するＲＦＩＤタグ１０２と、あらかじめ定められた計測時刻に前記ＲＦＩＤタグ１０２に電源を供給するとともに、ＲＦＩＤタグ１０２から識別ＩＤを受信する複数のアンテナ部１０１と、識別ＩＤを受信したアンテナ部１０１での受信電磁場強度を測定する電磁場強度測定部１０３と、受信された識別ＩＤと、識別ＩＤを受信したアンテナ部１０１の位置と、アンテナで測定された電磁場強度とから、関節の空間位置を算出し、算出された関節の空間位置に基づいて、被験者の睡眠中の姿勢または姿勢の変化を検出する関節位置算出部１０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉炭化室のような高温の炉内における高温の耐火物の厚みを、高温の炉内側から測定するための耐火物厚み測定方法及び耐火物厚み測定装置を提供する。
【解決手段】 高温の炉内にマイクロ波送信機受信機２を挿入し、高温の耐火物表面に向かってマイクロ波を送信し、耐火物２１の表面２２で反射して返ってきた表面反射波２５及び耐火物２１の裏面２３で反射して返ってき裏面反射波２６を受信し、表面反射波２５と裏面反射波２６とがそれぞれ送信から受信までに要した時間の差を算出し、この時間差及び耐火物の屈折率に基づいて耐火物の厚みを算出し、前記マイクロ波送信機受信機２は冷却箱１中に収納し、冷却箱７壁面のマイクロ波通過窓６についてはマイクロ波を透過しかつ耐熱性を有する材料で構成することを特徴とする耐火物厚み測定方法及び厚み測定装置である。 （もっと読む）