【課題】化学反応性の高いアルカリ金属、アルカリ土類金属等からなる薄膜であっても、簡便かつ高い精度で膜厚を測定できる膜厚測定方法、膜厚測定システムおよび膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る膜厚測定方法は、成膜室２内のステージ２２に設置された測定用基板１０上に複数配置された振動子１１に、アルカリ金属またはアルカリ土類金属からなる薄膜を形成することを含む。上記測定用基板１０は、外部より低湿度に調節された測定室３の内部へ搬送される。測定室３内で、振動子１１を検出ユニット３２に接続し発振させることで、薄膜の膜厚が測定される。 （もっと読む）

【課題】温度の急上昇や他の原因によって共振周波数の測定値が急変したときにも正常な膜厚値を求める。
【構成】成膜開始時に、符号Ｌ₁で示すように、共振周波数の測定値が急変したとき、所定の回復時間まで測定値を異常値とし、回復時間後、最小個数の正常な測定値から、時間と共振周波数との間に成立する一次式の“傾きａ”と“ｙ切片ｂ”とを算出し、算出した一次式から、回復時間間に成長した薄膜の膜厚を求め、回復時間後の測定値から求めた膜厚に加算する。異常値が出力されている間の膜厚値が加算されるので、実際より小さい値の膜厚値を出力することが無くなる。正常状態から異常値が得られた場合も、異常値が出力されている間の膜厚は、一次式から求め、正常な測定値から求めた膜厚に加算する。 （もっと読む）

【課題】精度よく、成膜対象物に均一な膜を成膜することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜材料を加熱し、前記成膜材料の蒸気を放出させるための成膜源と、前記成膜源を、所定の成膜待機位置と成膜位置との間で成膜対象物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記成膜源から放出される前記成膜材料の放出量を測定するための測定用水晶振動子と、前記測定用水晶振動子を校正するための前記校正用水晶振動子と、を備える成膜装置であって、前記測定用水晶振動子は、前記移動手段内に設けられ、前記校正用水晶振動子は、前記移動手段が前記成膜待機位置にあるときの前記移動手段の上方に設けられることを特徴とする成膜装置、及びこの成膜装置を用いた成膜方法。 （もっと読む）

【課題】モデル基礎の共振条件式からずれた実基礎であっても、埋設部の寸法を精度よく測定する方法を実現する。
【解決手段】共振条件式には、基礎の各部の寸法が、ａ／ｂ、Ｂ／ｂ等の比の形で入っており、これらの比を２つの次数ｉ、ｊの共振振動数の比（ｆｉ／ｆｊ）で表せる。そこで、複数のサンプル基礎について実測したデータに基づいて、（ａ／ｂ）又は（Ｂ／ｂ）等の比と（ｆｉ／ｆｊ）との近似多項式で表すことにより、測定対象の実基礎について測定した２つの共振振動数（ｆｉ／ｆｊ）と、ａ、ｂ等の寸法をその近似多項式に代入して、未知寸法Ｂ，ｔを求めるようにした。つまり、軸対称の基礎について理論的に求めた捻れ振動の共振条件式を直接用いる代わりに、複数のサンプル実基礎について実測したデータに基づいて得られる埋設部の未知寸法を含む複数の近似多項式を用いて、その未知寸法を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波素子の所要のレベル得るための出力を短時間で決定できるようにする。
【解決手段】超音波発信素子を駆動して超音波発信が開始されると（Ｓ２０１）、周波数変調回路から出力される駆動周波数（発信信号）と周波数認識回路から入力される最終受信信号の周波数との差の絶対値と、予め設定された許容誤差αとを比較し（Ｓ２０２）、周波数の差が許容誤差α以上の場合、駆動周波数と最終受信信号周波数とを比較し（Ｓ２０３）、駆動周波数が最終受信信号周波数より小さい場合、駆動周波数をΔｆ上げ（Ｓ２０４）、駆動周波数が最終受信信号周波数以上の場合、駆動周波数をΔｆ下げ（Ｓ２０５）、さらに、駆動周波数と最終受信信号周波数を比較し、両者の差の絶対値が許容誤差αより小さくなったときに、重送検知を行う（Ｓ２０６）。 （もっと読む）

【課題】探知対象物の位置を正確に把握することができる探知方法およびその探知方法を行うことができる非接触音響探知システムの提供。
【解決手段】探知対象物を内部に含む被照射体の表面に音波を照射し、その表面の複数の測定個所において振動速度を測定し、得られた情報から前記探知対象物の位置を特定する音波を用いた探知方法。 （もっと読む）

【課題】探知対象物の位置を正確に把握することができる探知方法およびその探知方法を行うことができる非接触音響探知システムの提供。
【解決手段】探知対象物を内部に含む被照射体の表面に音波を照射し、その表面の複数の測定個所において振動速度を測定し、得られた振動速度分布図から前記探知対象物の位置を特定する音波を用いた探知方法であって、音波発信源から音波を照射し、前記被照射体の表面を振動させる工程と、前記被照射体の表面のn箇所（n≧２）の測定個所を、各々、Ｐ₁、Ｐ₂・・・Ｐ_x・・Ｐ_n（xは１〜nの整数）とし、それらの測定箇所の各々において、照射した音波の周波数がωである場合の前記被照射体の表面の振動速度を測定し、Ｐ_xにおける前記振動速度をＥ_x（ω）とする工程と、特定の情報処理を行う工程とを備える探知方法。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の減肉量及び／又は減肉速度を算出し得る超音波検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子と、信号解析部と、減肉量算出部とを備える超音波検査装置であって、
信号解析部は、多重底面反射エコーのうちＮ回目及び（Ｎ＋１）回目の底面反射エコーから、Ｎ回目の底面反射エコーの第１信号を含む第１データ長（ΔＮ１）と、（Ｎ＋１）回目の底面反射エコーの第２信号を含む第２データ長（ΔＮ２）とを取得し、第１データ長（ΔＮ）及び第２データ長（ΔＮ）を相互相関演算で処理してピーク値（Ｎｋ）の位置を求め、
減肉量算出部は、ピーク値（Ｎｋ）と既知の計測対象物の音速（ｖ）とを用いて計測対象物の肉厚を計測し、更に時間経過に伴って計測対象物の肉厚を再度計測し、時間経過に伴う複数の肉厚の値から減肉量及び／又は減肉速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】複合構造体に用いられる減衰材の肉厚を適切に計測し得る減衰材の肉厚算出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】金属材１と減衰材２を備える複合構造体３に対して超音波を発信する超音波探触子４ａ，４ｂと、超音波探触子４ａ，４ｂからの信号を処理する信号演算部７と、信号演算部７からのデータを処理する肉厚算出部８とを備える減衰材の肉厚算出装置であって、
超音波探触子４ａ，４ｂは、金属材１からの多重反射が低減する周波数以下で超音波を発振し、
信号演算部７は、減衰材２の肉厚を測定する際に、超音波による反射エコーの信号をウェーブレット解析して特定周波数成分を抽出し、
肉厚算出部８は、特定周波数成分での信号に基づいて減衰材２の肉厚を算出するように構成される。 （もっと読む）

本発明は、ノイズフットプリントの複数の基本周波数成分を含むノイズフットプリントを放出する１組の少なくとも１つの摩耗警報ブザー（１８）を有するタイヤ（１０）の摩耗を検出する方法に関し、ノイズフットプリントの音を含みがちな音響信号を収集し（１００）、音響信号は、周波数領域に収集された複数の基本周波数成分を含み；基本周波数成分の複数のシリーズを列挙し（２０６）、各列挙シリーズは、ノイズフットプリントの基本周波数成分の一部分を形成しがちであり；組に属するノイズフットプリントの一シリーズを列挙シリーズの中から選択し（３０２）；ノイズフットプリントシリーズのローカル信頼性指標を求め（３０６）；ローカル信頼性指標に基づいて求められた信頼性指標所定のしきい値よりも高い場合、タイヤ（１０）の摩耗に関する警報を出す。
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【課題】冷媒配管長を正確に測定するための準備が容易となる配管長測定システムを提供する。
【解決手段】周波数測定装置１０は、空調機における室外機５０と室内機６０とを接続する冷媒配管７０の室外機５０側の末端近傍に配置され、冷媒配管７０の周波数特性を測定する。フィルタ３０は、周波数特性測定装置１０の端子１１の接続箇所よりも室外機５０側に、冷媒配管７０を包むようにして取り付けられている。配管長算出装置２０は、周波数測定装置１０とインタフェースケーブル４０を介して接続し、周波数測定装置１０が測定した周波数特性をインタフェースケーブル４０を介して取得する。配管長算出装置２０は、取得した周波数特性から最小の反共振周波数を抽出し、該抽出した最小の反共振周波数に基づいて冷媒配管７０の長さを算出する。 （もっと読む）

【課題】構造物内部状態計測において、超音波を用いてさらに精度よく、測定対象である構造物の内部状態を計測することである。
【解決手段】構造物内部状態計測システム２０は、構造物１０に超音波を印加供給する超音波供給部３０と、構造物１０の内部を伝播する超音波振動１８を検出して超音波検出信号を出力する超音波検出部４０と、構造物１０を移動可能に支持する試料保持部４４と、試料保持部４４を移動させる走査機構部４６と、超音波検出部４０からの超音波検出信号を受け取り、これに周波数解析を行い、得られるスペクトル分布に基いて計測を行う内部計測部５０を含んで構成される。 （もっと読む）

対象物（１４）の変形可能なタッチ面（１８）上で局地的に変形する接触位置を特定する本位置特定装置（１０）は、少なくとも１つの発信トランスデューサ（Ｅ１、Ｅ２）および受信トランスデューサ（Ｒ１、Ｒ２）を有し、それぞれを対象物の変形可能なタッチ面上で伝搬する機械的弾性波を発信し、捕捉するように設計する。本装置はさらに、発信トランスデューサおよび受信トランスデューサ（Ｅ１、Ｅ２、Ｒ１、Ｒ２）に接続する中央電子装置（１２）を有し、この中央電子装置（１２）を、局地的に変形する接触があることにより、タッチ面に発信される波の伝搬によって生じるタッチ面（１８）の共振振動の少なくとも１つの固有モードの周波数シフトを検出し、周波数シフトを解析することによって局地的に変形する接触位置を特定するようにプログラムする（２６、２８）。 （もっと読む）

【課題】アンカボルトの長手方向側面に腐食があっても、中心周波数ｆ_Ｋを徐々に小さくし、アンカボルトの腐食進行の度合や形状（湾曲、先端先鋭）による超音波伝達経緯中の減衰の影響を受けにくい相対的に低い周波数に基づいて時系列波を求め、反射波の起生を確保することができ、アンカボルトの形状探査に寄与するアンカボルトの形状探査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】アンカボルト端面より広帯域超音波を発信Ｓ１し、同一端面で広帯域超音波を受信Ｓ２し、受信した広帯域受信波からフーリエ変換にて広帯域受信波スペクトルＳ３を求める第１演算機能と、広帯域受信波スペクトルＳ３より中心周波数をｆ_Ｋとする狭帯域スペクトルを抽出して、フーリエ逆変換にて狭帯域スペクトルの時系列波Ｓ５を、中心周波数ｆ_Ｋを徐々に小さくしていく経緯の中で順次求める第２演算機能と、を備えた演算手段を設け、時系列波よりアンカボルト先端からの反射波の起生を求めるＳ６ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下地上に形成された被膜の厚さを測定する膜厚測定方法及び測定装置において、特に袋内構造における内面被膜の厚さを該袋内構造の外側から非破壊的に測定する。
【解決手段】下地部材２０の外面または内面に形成された被膜２１，２２の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、前記下地部材の外面側から所定の周波数帯域を有する超音波を入射し、該入射した超音波の測定対象である被膜に対する共鳴する共鳴周波数ｆ_R（Ｈｚ）を求め、前記測定対象の被膜における膜内音速をＣ（ｍ／ｓ）とすると、該被膜の膜厚ｄ（ｍ）は、ｄ＝Ｃ／４ｆ_Rにより求められる。 （もっと読む）

【課題】溶接部等の探査対象領域を探査し、該探査対象領域の断面画像を正確かつ安定して得られる超音波探査方法および超音波探査装置を提案する。
【解決手段】超音波を送受信する送受波位置を所定ピッチ間隔で位置変換する探査作動を、複数の入射角毎に行うと共に、反射波の高調波から取得したエコー信号を表示する非線形画像を、各入射角毎に生成し、探査対象領域の断面形状に合わせて各非線形画像をフレーム変換画像に夫々変換し、配向欠陥で発生したエコー信号を除去するための信号強度閾値を予め定めて、該信号強度閾値以上のエコー信号４１ａのみによる各フレーム変換画像を重ね合わせることにより非線形探査画像３５を生成する。溶接部２３を探査した場合には、溶接部２３の界面２５の形状を正確かつ明確化した非線形探査画像３５を安定して得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 信号検知部に内蔵される部品数の削減による小型で電源を要しない、位置検知装置および防犯センサを提供すること。
【解決手段】 圧電材料から成る片持ち梁構造体１４の主面上の表面弾性波共振子１５および反射器１６と、裏面上の磁性薄膜１８と、表面弾性波共振子１５に接続されたアンテナ１３から成る信号検知部１０と、信号検知部１０に近接して移動可能な物体上の磁性体１２と、表面弾性波共振子１５の共振周波数と同一の周波数成分のパルス波状の送信電磁波を信号検知部１０に送信する機能と、信号検知部１０からの返信電磁波を受信する機能と、返信電磁波の位相を解析する機能とを備えた質問器１１からなり、片持ち梁構造体１４の歪みにより生ずる表面弾性波共振子１５と反射器１６間の距離の変化に応じた位相の変化を時間軸で解析することにより磁性体１２と信号検知部１０の相対的な位置情報を検知する。 （もっと読む）

【課題】被検出対象面を人間がなでたときの手触りを示す触覚情報を簡易的な手法で精度よく検出することができる触覚情報検出装置を提供する。
【解決手段】被検出対象面と接触する接触子１１と、接触子１１が被検出対象面と接触した状態で移動したときに発生する摩擦音を検出する摩擦音検出用マイクロホン１２と、少なくとも１種類の被接触面に対して、接触子１１を接触させた状態で移動させたときに発生される摩擦音情報と、この被接触面の触覚情報とが対応付けて記憶されている情報記憶部１７と、摩擦音検出用マイクロホン１２により検出した摩擦音情報と、情報記憶部１７に記憶されている摩擦音情報との相関値を算出して、当該相関値が所定値よりも高い摩擦音情報に対応付けられた触覚情報を、情報記憶部１７から読み出して被検出対象面の触覚情報として出力する解析部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】信号強度のピーク値を適切に特定し、配管の肉厚を好適に測定し得る超音波肉厚算出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】計測対象物１からの多重底面反射エコーに対し、Ｎ回目及び（Ｎ＋１）回目の底面反射エコーを時間ゲート（ｔ０−ｔ１）の間に位置させるように第１設定値（ｔ０）と第２設定値（ｔ１）を配置し、更に分割設定値（ｔｘ）を配置し、多重底面反射エコーの信号を、第１設定値（ｔ０）から分割設定値（ｔｘ）までの第１信号と、分割設定値（ｔｘ）から第２設定値（ｔ１）までの第２信号とに分離し、第１信号と第２信号の一方に補正値を追加し、データ長を一致させた第１データ長（ΔＮ）及び第２データ長（ΔＮ）を相互相関演算で処理してピーク値（Ｎｋ）の位置を求め、ピーク値（Ｎｋ）と既知の計測対象物１の音速（ｖ）とを用いて計測対象物１の肉厚を算出する。 （もっと読む）

【課題】車輪用転がり軸受装置の組立て前後の固有値周波数を測定し、この固有値周波数の変化量から転動体の予圧すきまの変化量を精度良く求めることにある。
【解決手段】車輪用転がり軸受装置のハブユニット１０は外輪部１８と内輪部２０との間にボール２２が配され、内輪部１８がハブ軸部１４の端部のかしめ加工により固定されて組付けられている。その予圧すきま測定方法は、予め、当該車輪用転がり軸受装置がとる構造形態におけるボール２２の予圧すきま量の変化量に対する固有値周波数の変化量の固有特性を求めておき、測定対象の個々の車輪用転がり軸受装置について、前記ハブ軸部１４の端部のかしめ加工前と加工後の固有値周波数を測定し、このかしめ加工前後の固有値周波数の変化量から前記予め求めた固有特性に基づいて転動体のかしめ加工前後の予圧すきまの変化量を測定する。 （もっと読む）