【課題】 様々な表面形状に対して比較的に容易に適用可能な特徴形状抽出演算方法及び表面形状補正演算方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この方法は、表面形状測定装置によって測定された被測定物の表面形状を表わす表面形状測定データ点群から、該被測定物の表面形状の所要の特徴形状を表わす特徴形状データ点群を抽出する特徴形状抽出演算方法であって、前記表面形状測定データ点群によって構成される仮想表面に接触可能な二次元もしくは三次元の形状を有する仮想接触子を想定し、前記仮想表面における複数の異なる位置において該仮想接触子を該仮想表面に接触させたことを仮想したときに、各位置において該仮想接触子が接触する前記仮想表面上の１以上の接触点における前記表面形状測定データ点群の中のデータ点を抽出して前記特徴形状データ点群とする特徴形状抽出演算方法である。 （もっと読む）

【課題】
非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。
【解決手段】
直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。 （もっと読む）

【課題】被計測面の表面形状の計測において、部分領域の計測データのつなぎ合わせ（スティッチ）に要する計算負荷の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面２の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面２に対して、前記被計測面２の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域８を設定する第１ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域８のそれぞれについて計測データを取得する第２ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面２の表面形状を算出する第３ステップと、を有し、前記平行四辺形は、１２０度と６０度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。 （もっと読む）

【課題】単純な機構を用いて、単一の動力装置により稼働することで、小型で汎用性が高く、死角や遅延を抑制することができる三次元走査機構を提供する。
【解決手段】動力装置からの動力が下部フランジ６，１０に伝達されることで、当該下部フランジ６，１０がスタッドボルト４の周囲を軸回りに回転し、当該下部フランジ６，１０の軸回りの回転力がリンク機構１，５を介して上部フランジ２，３に伝達されることで当該上部フランジ２，３はスタッドボルト４の外周面を軸回りに螺旋状に回転しながら上下方向に移動可能な構成となっている。 （もっと読む）

【課題】隠れ点を計測できるという有関節ＣＭＭの便利さと、より広い空間を計測できるというレーザトラッカの利点とを併せ実現する有関節座標計測機再配置方法を提供する。
【解決手段】本システム１００では有関節座標計測機（ＣＭＭ）２００及びレーザトラッカ４００を使用し、そのＣＭＭ２００上にはレーザトラッカ４００と対をなすレトロリフレクタを配置する。共通の基準座標系による座標値にＣＭＭ２００による計測値及びレーザトラッカ４００による計測値を変換できるためＣＭＭ２００を移動させることができる。更に、レーザトラッカ４００では計測できない隠れ点を有関節ＣＭＭ２００等で計測することができる。 （もっと読む）

【課題】共通基準システム（４）上に振動隔離機構（２、３、５）を介して搭載され、該共通基準システムに対して変動する位置をとる、リソグラフィ・デバイス（１）及びワークステーション・デバイス（６）を含む装置において、両デバイス間の相対位置の変動を監視して該装置が誤動作しないように調整する。
【解決手段】前記共通基準システムに対する前記リソグラフィ・デバイス及び前記ワークステーション・デバイスの個々の位置を測定する手段と、測定された両デバイスの個々の位置から算出される両デバイス間の相対位置（ｄ、７ｂ）が所定の公差範囲内（７ａ−７ｃ）にあるかどうかを評価する手段を含む装置。 （もっと読む）

【課題】隠れ点を計測できるという有関節ＣＭＭの便利さと、より広い空間を計測できるというレーザトラッカの利点とを併せ実現することを目的とする。
【解決手段】対象物の周囲での再配置を容易化する計測装置、システム及び方法を提供する。本システムでは有関節座標計測機（ＣＭＭ）（２００）及びレーザトラッカ（４００）を使用し、そのＣＭＭ上にはレーザトラッカと対をなすレトロリフレクタ（３１０，３１２）を配置する。共通の基準座標系による座標値にＣＭＭによる計測値及びレーザトラッカによる計測値を変換できるためＣＭＭを移動させることができる。更に、レーザトラッカでは計測できない隠れ点を有関節ＣＭＭ等で計測することができる。 （もっと読む）

【課題】スタイラスの変位を正確に測定すること。
【解決手段】位置測定装置に用いる表面検出装置は、測定すべきワークピースの表面を走査するためのチップ８２をもつ長いスタイラス７４を有する。スタイラスチップの横変位は、光源６６から逆反射体（ｒetroreflector）７８にスタイラスに沿って通過するライトビームによって測定される。これは、ビームを反射して、ブームスプリッタ７０を介して位置高感度検出器７６に戻す。スタイラスは、キャリッジ７２に縦変位のために設置される。その縦変位は、ビームスプリッタ７０によって、第２の位置高感度検出器８４に投光される他のライトビームによって測定される。 （もっと読む）

【課題】関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品を提供する。
【解決手段】座標位置決め機械のアームに関節プローブヘッドが取り付けられたときに前記関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品１００であって、前記関節プローブヘッドを前記座標位置決め機械の前記アームに対し関節動作させることによりスキャンされることが可能な、異なる寸法の複数の輪郭１０２、１０４、１０６と、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６を、前記座標位置決め機械の異なる方向に沿って向けることができるよう、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６の向きを変えるための割り出し装置と、を備える被較正疑似品１００。 （もっと読む）

【課題】多関節型測定アームに測定誤差要因となるストレスがかからない測定姿勢を維持させる。
【解決手段】測定アームの各関節の角度に基づき、１）測定アームの第１リンクと第２リンクがなす角度が所定値を超えて１８０°に近づいた、２）手首関節からアーム支点への距離が所定値を超えて遠くなった、３）バランサーにより発生される力に基づいて定められる所定範囲を超えて第２リンクが曲げられた、のいずれかの条件が成立した場合、ユーザへの警告を行ない、専用プロセッサからの空間座標値の出力を中止する。 （もっと読む）

【課題】タービンロータやタービンケーシングの寸法を、短時間に、高精度で、特別な能力を有することなく測定することが可能な寸法測定方法を提供する。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、計測対象を、円筒、平面、および、曲面形状に分割し、円筒、平面、および、曲面形状を含む全体形状をレーザ式３Ｄ計測機で、円筒、および、平面形状をレーザ追尾式ハンディー接触式計測機で、また、局所的な曲面形状をレーザ追尾式ハンディー非接触式計測機により用いて計測する。この際、円筒、および、平面形状は、Ｎ点計測した結果から求めることで、少量の取得データから形状を測定することが可能となり、データ取得時間のみならずデータ処理時間も大幅に短縮する。 （もっと読む）

【課題】定形体群の立体的な配置を高精度に把握することができ、これにより定形体群の断面解析、時差比較解析などを高精度に行える定形体群の立体配置状況解析方法を提供する。
【解決手段】定形体群へ測定波を発し、３次元多点群と多数の３次元ポイントデータとを取得し、次に、３次元多点群を構成する３次元ポイントデータの中から定形体と推定される領域を順次抽出し、その後、あらかじめ取得した３次元定形体モデルを、抽出した定形体の推定領域に、画像サイズと位置とを３次元的に一致させて順次挿入する。全挿入後、定形体群の３次元ＣＧを３Ｄディスプレイまたは２Ｄディスプレイに立体表示するので、定形体群の立体的な配置を測定誤差の影響を小さくして高精度に把握でき、定形体群の断面解析、時差比較解析などを高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】三次元計測器によって計測した点群データから計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを生成する。
【解決手段】計測点群データに基づいて計測対象物の表面形状を表すサーフェイスを陰関数として作成する工程と、サーフェイスが存在する計測領域全体を三次元ドロネー図による分割処理により隙間なく、重複なく埋め尽くされた四面体の小領域（以下、セルという）に分割する工程と、セルの各頂点をサーフェイスの内側に存在する内点５と、外側に存在する外点６とに分類する工程と、境界セルを抽出する工程と、境界セルとサーフェイスとの交点７を計算する工程と、各境界セルが持つ交点７を繋ぎ合わせることにより三角形又は四角形の面を求める工程と、全ての面を結合する工程とを含むので、計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを自動的に作成することができる。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の形状を高精度で測定する３次元測定方法を提供する。
【解決手段】 ウエーハ上のアライメントマーク２９の高さに合わせて、カメラ８のフォーカス高さをＺ２軸ステージ９により調整する。このフォーカス高さに合わせて校正用アライメントマーク１０の高さをＺ３軸ステージ１１により調整する。この状態で、校正用アライメントマーク１０の中心位置を、カメラ８とプローブ１にて測定し、この２つのカメラ８とプローブ９の距離オフセット（Ｘｏ，Ｙｏ）を高精度に求める。このオフセットを用いて、カメラ８で測定したウエーハ上のアライメントマーク２９の座標を、プローブ１の座標系に高精度に変換する。プローブ９でウエーハ上のレンズを測定すれば、ウエーハ上のアライメントマーク２９位置を基準で高精度にレンズ中心を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】高い正確度、高い信頼性および耐久性、相当な使い易さ、ならびに低コストを有す座標計測装置（ＣＭＭ）を提供すること。
【解決手段】関節式アームＣＭＭは、複数の伝達部材２０と、少なくとも２つの伝達部材を互いに接続する複数の関節部材３５と、遠端における座標取得部材と、近端におけるベースとを備える。関節部材の少なくとも２つは、少なくとも１つのエンコーダを備えることが可能であり、少なくとも２つのエンコーダは、ともに、単一のモノブロックハウジング内に収容されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】より単純およびよりコンパクトであり、さらにデバイスのレギュレーション工程のより良い動的管理を与える測定機を提供する。
【解決手段】座標位置決め装置または座標測定機（ＣＭＭ）は、ＴＣＰ／ＩＰインタフェース２７０上の外部デバイス６００の接続を許容する個別の軸ドライバおよびプロキシモジュール２７５を駆動するように配置されたマイクロプロセッサ制御ユニット２１０を有する。外部デバイス６００は、マイクロプロセッサ制御ユニット２１０に埋め込まれたｈｔｔｐサーバ２７８によってユーザ相互作用に、または動的パラメータの調整および較正を含む高度なタスクに用いられる。 （もっと読む）

【課題】高い正確度、高い信頼性および耐久性、相当な
使い易さ、ならびに低コストを有する間接式アームを提供する。
【解決手段】関節式アームＣＭＭ１は、複数の伝達部材２０と、少なくとも２つの伝達部材２０を互いに接続する複数の関節部材３０〜３６と、遠端における座標取得部材５０と、近端におけるベース１０とを備える。関節部材３０〜３６の少なくとも２つは、少なくとも１つのエンコーダを備えることが可能であり、少なくとも２つのエンコーダは、ともに、単一のモノブロックハウジング内に収容されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】製品の設計形状を表現するための設計座標系と、当該製品又はその模型の形状の測定結果を表現するための測定座標系との整合精度の向上を図りうる方法を提供する。
【解決手段】設計座標系における設計にしたがって目標形状を有するように基体が作成される。また、当該基体に対して固定されている模型が作成される。第ｋ種測定平面要素（ｋ＝１〜３）のそれぞれを表現する測定点群の座標値に基づき、最小二乗法にしたがって、設計座標系における第ｋ種測定平面要素の姿勢が決定される。当該姿勢に応じた方向に当該測定点群を並進させた結果として、設計座標系における第ｋ姿勢基準点群の座標値が決定される。さらに、第ｋ姿勢基準点群に基づき、最小二乗法にしたがって決定された第ｋ姿勢基準平面に基づいて回転演算子及び並進演算子が決定される。 （もっと読む）