【課題】共通基準システム（４）上に振動隔離機構（２、３、５）を介して搭載され、該共通基準システムに対して変動する位置をとる、リソグラフィ・デバイス（１）及びワークステーション・デバイス（６）を含む装置において、両デバイス間の相対位置の変動を監視して該装置が誤動作しないように調整する。
【解決手段】前記共通基準システムに対する前記リソグラフィ・デバイス及び前記ワークステーション・デバイスの個々の位置を測定する手段と、測定された両デバイスの個々の位置から算出される両デバイス間の相対位置（ｄ、７ｂ）が所定の公差範囲内（７ａ−７ｃ）にあるかどうかを評価する手段を含む装置。 （もっと読む）

【課題】レールの上下方向及び左右方向の偏位を一人で測定できるとともに、曲線状のレール部分においても測定することができるレール測定器具及びレール測定方法を提供する。
【解決手段】レール測定器具１は、レールＲの上にレールＲの延在する方向に離間して固定される一対のレール固定部材２と、一対のレール固定部材２を互いに引張状態で連結する測定部材３とを備え、レール固定部材２は、一方の端部と他方の端部とが端部間方向に向けて配置され、測定部材係止用の溝部２１又は孔部が設けられた基台１１と、基台１１をレールＲに固定する固定手段３１とを有し、測定部材３は、溝部２１又は孔部に挿入され、且つ挿入された位置への係止部７１を有する一対のピン６１と、これら一対のピン６１間に連結された線状体８１とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】巻きずれの検査のばらつきを抑制でき、また、迅速に検査できるフィルムの巻きずれ検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のフィルムの巻きずれ検査装置１０は、巻き取り用ロール２０に巻き取られる連続フィルム１の幅方向の両端部１ａ，１ａ又は片端部１ａの位置を測定する測定部１１と、測定部１１によって測定された端部１ａの位置に基づいて巻きずれを判定する判定部１２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】バックラッシに起因する位置決め精度の低下を抑えることのできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置のコントローラは、正方向用の補正マップと逆方向用の補正マップ、及び、移動台を移動させる際の基準位置を記憶している。コントローラは、以下の処理、即ち、（１）移動台が基準位置から既定の閾値以上離れた位置に移動した場合に移動先の位置を新たな基準位置に設定する更新処理、（２）基準位置と目標位置との間の距離が閾値以上の場合には、現在位置から目標位置への移動方向と同一方向用の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正し、基準位置と目標位置との間の距離が閾値未満であり、かつ、最新の基準位置が設定されてから１回は移動方向が反転している場合には、両方向の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正する補正処理、（３）補正後の位置計測値を目標位置に一致させる制御処理と、を実行する。 （もっと読む）

【課題】筒状体の軸方向及び周方向の全面の外径と肉厚を同時に測定し、その内径および内外径中心線のずれである位置度を測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】筒状体形状測定装置１０は、筒状体１の外面を軸方向および周方向に三次元座標を測定するための三次元測定用プローブと、この三次元測定用プローブと所定の距離を隔てて配置され、筒状体１の厚さを測定するための探触子と、この三次元測定用プローブおよび探触子を搭載したプローブユニット１２を走査させる走査手段１３，１４と、走査手段１３，１４を制御して前記筒状体の軸方向および周方向にわたる外面を走査し、前記筒状体の周方向および軸方向の外径と肉厚とを計測し、この計測結果に基づいて前記筒状体の周方向および軸方向の内径と、前記筒状体の内外径中心線のずれである位置度を算出する三次元・厚さ測定器１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】積層鉄心の積みズレ測定方法及び測定装置において、積層鉄心の積層面における積みズレの測定を高精度且つ迅速に行う。
【解決方法】積層鉄心の積みズレ測定方法は、積層方向に沿って、積層鉄心（１）の積層面のプロファイルを取得する工程と、プロファイルのうち傾きの絶対値が所定の閾値を超える領域を鉄心間の谷間であると特定する工程と、プロファイルを特定された谷間を境界としてサブプロファイルに分割する工程と、サブプロファイル毎に波形の極大値を算出する工程と、算出された極大値のうち、最大のものと最小のものとの差異を積みズレとして算出する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工装置の回転装置の回転角度を容易に精度よく測定することができるとともに、測定時間の短縮と作業コストの削減を可能にする回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法を提供することを目的としている。
【解決手段】回転角度測定装置１は、加工装置のテーブル２の上に設けられたエンコーダ取付台３と、このエンコーダ取付台３に載置されたエンコーダ４と、エンコーダ４に取り付けられたＶブロック取付台５上に載置されたＶブロック６と、回転装置７に取り付けられたボールプランジャ取付台８に設置されたボールプランジャ９、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１と、回転角度指令装置１２（加工機の制御装置）から回転装置７に指令された回転角度を検出する検出部１３と、エンコーダ４、偏芯変位計１０、偏角変位計１１及び検出部１３からの出力信号を処理する演算装置１４とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】２つのセンサを設けずにクラッチを組み付けた状態で駆動軸と被駆動軸の芯ずれを測定することができるとともに、作業性を向上することができる回転軸の測定装置を提供する。
【解決手段】回転軸の測定装置１０は、駆動軸と被駆動軸の芯ずれをフライホイール６１上で測定するセンサヘッド２０と、センサヘッド２０の測定データを処理するデータ処理装置４０と、を備え、センサヘッド２０は、被駆動軸に設けられたスプライン軸部の外周の周方向変位を検出する平面コイルを有する変位センサ２１を備え、変位センサ２１は、平面コイルからスプライン軸部の外周までの距離に起因する第１信号成分と、スプライン軸部の外周の凹凸形状に起因する第２信号成分とが重畳された電気信号を出力し、データ処理装置４０は、第１信号成分および第２信号成分に基づいて芯ずれ量および芯ずれ位相の情報を取得する構成を有する。 （もっと読む）

【課題】備える機能素子を直接測定することなく、機能素子の寸法を精度よく測定することにより、機能素子の状態が把握されることができる電子装置を提供すること。
【解決手段】電子装置１は、基板２と、基板２上に配置され、固定電極３１および固定電極３１と空隙を隔てて対向配置された可動板３２２を備える可動電極３２を有する機能素子３と、基板２上に設けられ、機能素子３が配置された空洞部６を画成する素子周囲構造体５と、基板２上の空洞部６の外部に設けられ、固定電極３１に対応する第１の検査用膜４１と、可動電極３２に対応する第２の検査用膜４２とを有する検査体４とを有し、検査体４は、所定の部位の寸法が測定されることにより、機能素子３の所定の部位の寸法を求めるために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クラッチ嵌合時の２つの軸の軸ずれを測定する軸ずれ測定装置及びこの軸ずれ測定装置を備えた一軸コンバインドプラントを提供することを目的とする。
【解決手段】制御装置１０において、ガスタービン３の軸３ａと蒸気タービン５の軸５ａとの軸ずれ量を測定し、測定した軸ずれ量に応じて蒸気タービン５の回転速度の昇速率及びヒートソーク時間を設定し、クラッチ７が軸３ａ，５ａを結合するときの軸ずれ量が許容範囲内に収まるようにする。 （もっと読む）

【課題】演算負荷が増大せず、且つ低速域でも所望の波長帯域が得られる軌道狂い検測技術を提供すること。
【解決手段】車両の水平方向の加速度に、所望の軌道狂い弦長、車両の走行速度およびサンプリング時間に応じたデータ数ずつ遅らせた各地点での車両の水平方向の加速度を順次加算して車両の水平方向の速度とする。続いて、演算後の車両の水平方向の速度に、所望の軌道狂い弦長、車両の走行速度およびサンプリング時間に応じたデータ数ずつ遅らせた各地点での車両の水平方向の速度を順次加算して車両の水平方向の位置とし、サンプリング時間に基づく係数を乗算した後に別途測定した加速度計とレールとの間の相対変位を加算して通り狂い量とする。同様に、車両の水平方向の加速度から高低狂い量を算出する。また、等時間サンプリングの代わりに等距離サンプリングでも本方法で軌道狂いを計算できる。 （もっと読む）

【課題】自動調芯嵌合クラッチにおける軸ズレ量の検知を簡単な構成で、運転中に正確に行うことができる、自動調芯嵌合クラッチを用いた駆動力伝達機構における軸ズレ量検知方法を提供することが課題である。
【解決手段】自動調芯嵌合クラッチを介し、第１の駆動源の回転軸と第２の駆動源の回転軸とを結合させて被駆動体に駆動力を伝達するようにした駆動力伝達機構において、第１の駆動源の回転軸と第２の駆動源の回転軸のそれぞれにおける軸位置変動量を非接触センサで計測し、自動調芯嵌合クラッチによる前記第１の駆動源の回転軸と第２の駆動源の回転軸の結合時におけるそれぞれの回転軸の軸位置変動量測定結果により、前記第１の駆動源の回転軸に対する第２の駆動源の回転軸の相対的軸ズレ量を検知するようにした。 （もっと読む）

【課題】車輪が未装着の車輪取付部に取り付けるだけで車輪のアライメントを精度よく測定することができ、自動車車体を組み立てる組立ラインにて車輪アライメントを測定する際に好適に用いることができる車輪模擬装置を提供する。
【解決手段】自動車の車輪アライメントを測定する際に用いられ、車輪が未装着の車輪取付部３に取り付けて、車輪取付部３に車輪が取り付けられた状態を模擬的に形成する車輪模擬装置１であって、車輪取付部３に連結する連結部１０と、車輪取付部３の測定箇所を露出させる開放部１１と、車輪取付部３の下方に所定距離を存して設けられた接地部１２とを備える。連結部１０に、車輪取付部３の軸端に取り付ける取付部材１３と、取付部材１３に着脱自在に連結する連結手段１４とを設ける。 （もっと読む）

【課題】測定試料を変えるたびごとに測定点の位置補正を行う必要がなく、更に、測定試料上の同一点についての複数種類の特性の測定を、同一検査装置を用いて行なうことができる検査装置を提供する。
【解決手段】試料を載置するためのステージ３と、１又は複数の検査機器６、７を支持可能な検査機器支持用ヘッド５と、ステージ及び／又は検査機器支持用ヘッドを支持している移動機構２３、４３と、ステージ上の基準点の実座標と目標座標との偏差を格納する偏差格納部と、複数の検査機器の測定点間のオフセット値を格納するオフセット値格納部と、格納された偏差及びオフセット値を参照して、複数の検査機器のうちのいずれか１つの検査機器の測定点と他の検査機器の測定点とが一致するように、ステージ及び／又は前記検査機器支持用ヘッドを移動させる位置制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】支持ピン３の位置再現性を向上させること、及び載置板２と支持ピン３間の移載において基板Ｗの水平方向のずれを防止することである。
【解決手段】基板Ｗの反りを測定する反り測定系７、及び当該基板Ｗの反り以外の物理量又は化学量を測定する通常測定系６に用いられる基板測定用ステージ１であって、前記通常測定系６の通常測定位置Ｐ１、及びその通常測定位置Ｐ１から下方に離間した退避位置Ｐ２の間を移動可能な載置板２と、前記載置板２に設けられた貫通孔２１に挿通可能であり、前記反り測定系７の反り測定位置Ｐ３に固定された複数の支持ピン３と、前記載置板２を前記通常測定位置Ｐ１及び前記退避位置Ｐ２の間で昇降移動させる駆動機構と、を備え、前記反り測定位置Ｐ３が、前記通常測定位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２の間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】使用する場所を問わず物体の位置を正確に測位する。
【解決手段】物体に装着されたセンシング装置１は、センサ１０同士の通信により、他のセンシング装置１が一定距離以下に接近したことを感知する。制御部１３は、物体上のセンサ１０の位置を示す座標データを記憶する記憶部１１から自装置のセンサ１０と他のセンシング装置１のセンサ１０の座標データを取得し、自装置が装着された物体の原点から見た、他のセンシング装置１が装着された物体の原点の位置を求め、物体の形状データと計算した原点の位置に基づいて、自装置が装着された物体から見た、他のセンシング装置１が装着された物体の相対的な位置と向きを計算する。 （もっと読む）

【課題】レンズ単体で直線性、フォーカスずれ量等の長尺レンズの特性を評価するレンズの評価方法の提供。
【解決手段】レンズ測定面のＸＹＺ測定データ点列とレンズ設計式の座標ずれ量から得たＸＹＺ位置のずれ量と各ＸＹＺ軸周りの回転方向の各ＡＢＣ方向の各チルトずれ量のうちの所定断面内での平行移動２方向とチルトの計３方向の位置ずれ量以外はレンズ全面での各位置と各チルトずれ量を用い、レンズ所定断面の測定データを所定ピッチで順次抽出した測定データを用いて計算してレンズ全面での各断面の平行移動量とチルトを求め、レンズ特性を評価する。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、パーツ上に偏差の画像を表示する方法に関する。当該パーツはスキャンすることができる。当該パーツ上の偏差の位置が特定される。偏差の画像を当該パーツ上に表示することができる。他の実施形態では、一以上の表面上にパーツの偏差の画像が表示されるパーツが提供される。
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【課題】実際にダイスとパンチとが鍛造加工を行う位置で芯ずれ量を精度良く求めることができるとともに、芯出し作業の作業性を格段に改善した鍛造機の芯出し方法を提供する。
【解決手段】基台と、該基台に設けられたダイスホルダと、該ダイスホルダに交換可能に装着されたダイスと、前記基台に対して往復動するラムと、該ラムに設けられたパンチホルダと、該パンチホルダに交換可能に装着されて前記ダイスとの間で鍛造加工を行うパンチと、を備える鍛造機において、前記ダイス及び前記パンチの一方に代えて距離検出手段（距離検出用治具１）を装着するとともに、他方に代えて被検出部材（被検出用治具５）を装着し、前記ラムを動作させ、該距離検出手段（垂直用距離センサ３１）と該被検出部材（被検出部材６）との距離を検出することにより芯ずれ量を求め、該芯ずれ量を基にして前記ダイスホルダ及び前記パンチホルダの少なくとも一方で位置調整を行う。 （もっと読む）

【課題】ステージの左右の歪みを短時間で補正する。
【解決手段】互いに平行となるように離間配置し、移動体２の対向する面に配された一対のガイド軸２２，３２と、ガイド軸２２，３２のうち一方のガイド軸２２に設けられ移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って移動させる第１の搬送機構２０と、ガイド軸２２，３２のうち他方のガイド軸３２に設けられ移動体２の他側部２ｂを他方のガイド軸３２に沿って移動させる第２の搬送機構３０と、移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って基準位置まで移動させたとき、移動体２の他側部２ｂの所定位置からのずれ量を検出する検出部４０とを備える。 （もっと読む）