【課題】金属コイルを固縛するバンドに跨って印字することなく、固縛後の金属コイルの表面に対して、印字レイアウトの制約を遵守しつつ情報を的確に印字できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる印字装置１は、バンド１６によって固縛された金属コイル１５に印字する装置であり、検出部２および印字レイアウト決定部８を備える。検出部２は、金属コイル１５の印字対象領域の中から、バンド１６の位置等を含む印字不可領域と、この印字不可領域以外の印字可能領域とを検出する。印字レイアウト決定部８は、指示された制約を加味した印字レイアウトと印字可能領域との適合度を所定の評価関数によって評価して、この制約を遵守しつつ印字可能領域に文字群を印字できる印字レイアウトの候補を複数選出し、選出した複数の候補のうち、文字群の印字面積が最大となる候補を印字レイアウトとして決定する。 （もっと読む）

【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】路面の凹凸評価或いはそれに必要な計測を行うことが出来、路面の凹凸評価或いはそれに必要な計測を行う車両の走行速度の変動に対処することが出来る路面凹凸評価システムの提供。
【解決手段】車両（１）に搭載された路面凹凸評価装置（１０）と、当該車両（１）の車速を計測する速度センサ（４）と、当該車両（１）の垂直方向（上下方向）加速度を計測する加速度センサ（６）と、衛星（７）からの信号に基づいて当該車両の現在位置の情報（位置情報）を取得する装置（ＧＰＳレシーバー８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】容易に、かつ迅速に設計データと計測データとの位置合わせを実施する位置合わせ装置、欠陥検出装置、および位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置は、記憶部１３からＣＡＤデータを取得する設計データ取得手段１４１、三次元測定装置２から計測データを取得する計測データ取得手段１４２、概略位置合わせを行う第一位置合わせ手段１４３、計測データから複数の分割領域を取得する分割領域取得手段１５１、分割領域から第一計測点を取得して第一計測面を算出する第一計測面算出手段１５２、残計測点を取得する残計測点取得手段１５３、残計測点から第二計測点を抽出する第二計測点取得手段１５４、第二計測点に基づいて第二計測面を算出する第二計測面算出手段１５５、特徴点を算出する特徴点算出手段１５６、ＣＡＤデータおよび計測データの位置合わせを実施する位置合わせ手段１５７を備えた。 （もっと読む）

【課題】センサシステムを構成するアンプユニットから時系列的に得られる計測データに対して所望の解析処理を適用し、その解析結果に対応する出力を生成することが可能なセンサシステムに適用される拡張ユニットを提供すること。
【解決手段】アンプユニットに連装される拡張ユニットには、計測データ蓄積メモリと、伝送ラインを介して到来する計測データを取得して前記メモリに蓄積する計測データ取得手段と、蓄積された一連の計測データを所定のアルゴリズムに従って解析するデータ解析手段と、データ解析結果を判定する判定手段と、判定結果に対応する制御信号を外部へと出力する出力手段とを具備する。計測アルゴリズムが部品化された複数の処理プログラムが拡張ユニットに組み込まれており、パソコンからの指示に従って、処理プログラムが選択され、選択された処理プログラムが所定の順序で実行される。 （もっと読む）

【課題】 汎用性が大で簡単な構造で球体を満遍なく回転させることができるようにする。
【解決手段】 球体１を回転自在に受持する一対のローラ３，４と、この一対のローラ３，４をそれぞれ回転駆動するサーボモータ２７，２８と、前記両サーボモータ２７，２８を制御して前記球体１の１回転中に一対のローラ３，４の角速度を高低変化させながら一方のローラ３，４が高角速度のときに他方が低角速度となるように回転させる制御手段７とを備えている。また、前記制御手段７は、一対のローラ３，４を角速度高低変化させながら回転する途中に、球体１の少なくとも１回転における高角速度の時間長さを長短変更する回動制御機能４３を有している。 （もっと読む）

【課題】段差や凹凸という路面状態を高い精度をもって測定できるようにすること。
【解決手段】荷重センサ１１１に所定重量の錘１１３で荷重をかけた状態のセンシング装置１１２を搭載した車両を走行させ、所定のサンプリング間隔毎に荷重センサ１１１の出力を記録し、これに対応させてその記録位置の位置情報を記録する。錘１１３の重力による荷重のみがかけられた状態の荷重センサ１１１の出力を静止荷重と観念し、車両走行中の荷重センサ１１１の出力を衝撃荷重と観念し、静止荷重に対する衝撃荷重の値の変化を求め、これを位置情報に関連付けて表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】積層鉄心の積みズレ測定方法及び測定装置において、積層鉄心の積層面における積みズレの測定を高精度且つ迅速に行う。
【解決方法】積層鉄心の積みズレ測定方法は、積層方向に沿って、積層鉄心（１）の積層面のプロファイルを取得する工程と、プロファイルのうち傾きの絶対値が所定の閾値を超える領域を鉄心間の谷間であると特定する工程と、プロファイルを特定された谷間を境界としてサブプロファイルに分割する工程と、サブプロファイル毎に波形の極大値を算出する工程と、算出された極大値のうち、最大のものと最小のものとの差異を積みズレとして算出する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体が所定の形状および寸法よりもわずかでも小さい場合には寸法不足を確実に検出して欠陥であると判定できる形状検査装置および形状検査方法を提供すること。
【解決手段】被検査体であるスパイダの素形材２の突起部２２，２３の形状を測定してその断面形状を示す「形状データ」を作成し、作成した「形状データ」からスパイダの素形材２の突起部２２，２３の軸線方向の全長にわたって最も外側に位置する部分の抽出することにより得られる形状を「基準形状」としてこの「基準形状」をデータ化した「基準形状データ」を作成し、「基準形状データ」と「形状データ」との差分を算出し、算出した差分に基づいてスパイダの素形材２の突起部２２，２３に欠陥があるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】 一体構造の装置で任意の形状の軸体の各部の諸元，精度等を効率的に、かつ高精度に測定できる軸体測定装置及びそれによる軸体の諸元及び精度の測定方法を提供する。
【解決手段】 軸体測定装置１００は軸体２００の外径，真円度，振れ，偏芯，キズ等を測定する光学式測定機構部１と、軸体２００の幅寸法や振れ等を測定するタッチプローブ型測定機構部２と、軸体２００を支持する軸体支持機構部３と、これ等の制御部４等を一体構造に配置したものからなる。また、タッチプローブ型測定機構部２の接触子２ａ等の位置調整等を行う接触子補正具７が設けられている。また、測定方法の１つとして外径寸法は軸体２００に光学式測定機構部１の投光部１ａから光線を当てて通過光線を受光部１ｂで測定することにより容易に求められる。 （もっと読む）

【課題】レールＲの長手方向の曲がり（上下変位と左右変位）などを安定して測定、検査できる、レールの検査装置１００を提供する。
【解決手段】レールＲの側面と接触しながら転動する車輪１２の中心軸Ｐを、レールの検査装置１００の走行方向に傾斜させ、その傾斜の向きを、車輪１２が、レールＲの側面と接触しながら転動する際に、車輪１２に下向きの力が作用する向きとする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で凹凸が検出された位置を的確に呈示することができる凹凸検出位置呈示装置および凹凸検出位置呈示方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の凹凸検出位置呈示装置は、物体の表面との相対移動により変形を生じることで該物体の表面の凹凸を検出する複数の検出部を有するシート状検出部材と、該シート状検出部材の片面側に位置し複数の発光体を有するシート状呈示部材と、からなる検出呈示本体と、前記シート状検出部材の検出結果に応じて前記発光体を発光させる演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】一度に広範囲の被検査物表面形状を検査できる表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物５の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅部材１と、凹凸形状増幅部材１の下面を被検査物５の表面に沿わせるように当接させる透明板２と、被検査物５の表面の検査対象部分を凹凸形状増幅部材１に対して相対的に移動させる回転機構７と、凹凸形状増幅部材１によって増幅された被検査物５の表面の凹凸を光学的に検出するカメラ３及びコンピュータ４とを有する。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で高精度に被測定物体の表面形状を測定する表面形状測定装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置は、光源からの白色光をモスアイ形状の反射防止部を有するプリズムを用いて基板と参照面に８０度以上の入射角で入射させ、白色干渉光を得る。波長選択が可能な光学フィルターを用いて白色干渉光を複数の単一光による干渉光に分解する。その複数の干渉光に対して高速フーリエ変換を行いパワースペクトル分布を求め、スペクトルのピーク位置情報を用いて基板の表面形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】
CD-SEM画像からパターンのエッジを抽出する際にパターン上における高さ（基板からの距離を表す値）を指定してエッジ点を抽出する。あるいは、それを行って得られるLER値やLERのフーリエスペクトルを得る。
【解決手段】
あらかじめ同じサンプルをAFMとCD-SEMとで観察しておき(601)、AFM観察結果から、高さを指定して得られるLERの大きさやLERの自己相関距離あるいはスペクトルという指標を求め、さらにCD-SEM観察結果からは、エッジ点を検出する画像処理条件を指定して得られるこれらの指標を求め(602)、値が一致するときにその値を与える高さと画像処理条件とが対応していると判断し（603）、以降、AFM観察の代わりにCD-SEM画像からこの画像処理条件を用いてエッジ点を抽出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、燃料電池用に用いられるセルおよび／またはハーフセルにおいて重大な欠陥を選定し、かつ各種の測定装置のうち製造工程に合致したものを選定することで、燃料電池材料製造工程において、欠陥検出を一連の工程の下に簡便かつ容易に検出することができることで、製造工程をコンパクト化、スピードアップ化を図ることにある。
【解決手段】本発明は、ＣＣＤカメラ、レーザー式反射検出機および／または接触式変位検出機により、燃料電池用のセルおよび／またはハーフセルの欠陥を検出することを特徴とする燃料電池材料の欠陥検出方法である。 （もっと読む）

【課題】被測定物が非球面形状であっても、極めて高精度に測定データを取得することができる三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸方向に駆動される移動体においてＺ軸方向に移動自在に支持されたプローブを、被測定物の測定面に、所定の経路に沿って走査させて前記被測定物の形状を測定する三次元形状測定方法であって、測定時にＸ−Ｙ方向に移動する移動体の移動量を基準として測定データを取得するサンプリングピッチを、被測定物の既得形状情報から得られる走査上の各位置における被測定物の測定面の法線方向に引いた直線と、被測定物の中心線と、が交わる点を中心として、前記表面上の位置で被測定物の表面形状と接する円を近似円とし、その近似円の半径から算出する。これにより、被測定物の表面形状に沿う方向に対して一定のピッチで測定データを取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】光ビームの照射領域に対して糸を正確に位置決めする必要のないドップラー干渉に基づいた糸の速度を測定する装置を提供する。
【解決手段】課題は、第１及び第２コヒーレント光波６ａ、６ｂを干渉させる、糸５の速度測定方法であって、ここで、第１光波６ａは、糸５によって散乱させられた光を含み、そして、糸５に投射される第１光ビーム４ａから生じた光波であるものとし、第２光波６ｂは、第２光ビーム４ｂから生じた光波であるものとし、そして、糸５の速度を光検出器８において光波６ａ、６ｂ間のドップラー干渉から求めるものとする、前記方法において、糸５と接触させることなく、第２光ビーム４ｂを光検出器８へ導入させ、前記方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】容易に実施が可能であり、従来以上に確実にトピードカーの耐火物ライニングの厚さを検知して、耐火物ライニングの溶損度合いを判定できる、トピードカー内部の耐火物ライニングの溶損度合いの判定方法を提供すること。
【解決手段】トピードカー内部の耐火物ライニングの厚さの判定方法であって、トピードカー内に溶銑を充填してからｔ１（時間）後、ｔ２（時間）後（ただしｔ１＜ｔ２）にトピードカーの外壁温度Ｔ１（℃）、Ｔ２（℃）を測定し、該Ｔ１（℃）、Ｔ２（℃）の平均値であるＴ（℃）と、外壁温度の時間変化δＴ（℃／時間）＝（Ｔ２−Ｔ１）／（ｔ２−ｔ１）の絶対値である|δＴ|（℃／時間）が、それぞれ所定の値以下の場合を、トピードカー内部の耐火物ライニングの厚さが所定値以上であると判定することを特徴とするトピードカー内部の耐火物ライニングの溶損度合いの判定方法を用いる。 （もっと読む）