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Fターム[2F069AA61]の内容

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【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ50のビア孔51の検査方法は、有底のビア孔51が表面に形成されたウエハ50に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔51内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ50から離型させることでビア孔51がビア像71として転写されてなる被転写体70を形成する転写工程と、ビア像71の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像71の画像データに基づいてビア像71の形状を評価し、ビア孔51内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】金属コイルを固縛するバンドに跨って印字することなく、固縛後の金属コイルの表面に対して、印字レイアウトの制約を遵守しつつ情報を的確に印字できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる印字装置1は、バンド16によって固縛された金属コイル15に印字する装置であり、検出部2および印字レイアウト決定部8を備える。検出部2は、金属コイル15の印字対象領域の中から、バンド16の位置等を含む印字不可領域と、この印字不可領域以外の印字可能領域とを検出する。印字レイアウト決定部8は、指示された制約を加味した印字レイアウトと印字可能領域との適合度を所定の評価関数によって評価して、この制約を遵守しつつ印字可能領域に文字群を印字できる印字レイアウトの候補を複数選出し、選出した複数の候補のうち、文字群の印字面積が最大となる候補を印字レイアウトとして決定する。 (もっと読む)


【課題】単孔用ツールと複孔用ツールを併用し、多数の箇所を最短時間又はこれに近い短時間で検査することができる多点検査装置と方法を提供する。
【解決手段】単孔用ツール14aと、複孔用ツール14bと、ツールのいずれかを孔2に対して位置決めする位置決め装置12と、各孔2の中心位置と干渉物4の位置とを記憶する記憶装置18とを備える。(A)各孔2の中心位置と干渉物位置を表示し、(B)指定した孔2の検査順が干渉物位置を通過する場合に、その前後を別の列として扱い、(C)検査順の各列に含まれる孔数mが、複孔用ツール14bで同時に検査する孔数kより小さい場合に、単孔用ツール14aの使用と、検査順に基づく孔2の順を決定し、(D)m≧kの場合に、複孔用ツール14bの使用と、検査順に基づくk個毎の孔2の順を決定し、かつkより少ない最後の1又は複数の孔を複孔用ツール14bで同時に検査する孔を決定する。 (もっと読む)


【課題】被計測面の表面形状の計測において、部分領域の計測データのつなぎ合わせ(スティッチ)に要する計算負荷の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面2の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面2に対して、前記被計測面2の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域8を設定する第1ステップと、前記複数の部分領域8のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域8のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、前記複数の部分領域8のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面2の表面形状を算出する第3ステップと、を有し、前記平行四辺形は、120度と60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。 (もっと読む)


【課題】異常データの影響を低減して、測定領域全体の形状データを高精度に得ることができる情報処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の情報処理装置は、形状測定装置により所定領域単位でワークの形状を測定して得られた複数の形状データを取得するデータ取得部と、ワークと形状測定装置との位置姿勢関係を示す位置姿勢情報を取得する情報取得部と、位置姿勢情報に基づいて、各形状データの座標系を共通の座標系に変換する変換部と、共通の座標系における一の形状データの座標を補正して当該形状データが示す領域に隣接する領域の形状データにつなぎ合わせるステッチング処理を行うための補正量を、一の形状データが示す領域と隣接する領域との間で重複する領域の形状データを用いて算出する補正量算出部と、補正量または補正量による補正後の形状データに基づいて、ステッチング処理の信頼度を算出する信頼度算出部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】輪帯面と壁面とが交互に連続して形成された被測定面であっても、フィッティング精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】複数の点データを列毎にグループ化して複数の点列データを生成する(S102)。点列データ毎に走査軌跡面関数をそれぞれ求める(S103)。複数の点データの中から各輪帯面のデータと見做せる点データを各輪帯面に対応して抽出し、得られた抽出データ毎に、その抽出データを関数近似して輪帯面を示す輪帯面関数をそれぞれ求める(S104)。設計データに基づいて壁面関数をそれぞれ求める(S105)。各面関数が交差する各々の交点データを求める(S106)。参照データと交点データとをフィッティングさせる座標変換パラメータを求める(S107)。座標変換パラメータで各点データを座標変換する(S108)。座標変換した点データと被測定面の設計データとの差分を求める(S110)。 (もっと読む)


【課題】被測定面の形状測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】円形外形の被測定面の形状を測定する測定方法であって、被測定面を保持するステージをステージ回転軸を中心として回転させ被測定面の複数の部分領域のそれぞれを測定装置の視野に位置決めし(S304)、部分領域のそれぞれを測定して形状データを取得する取得ステップ(S306)と、部分領域のそれぞれの形状データから被測定面の形状を算出する算出ステップとを有し、輪郭部分領域のそれぞれについて被測定面の中心の位置を求める第1ステップと、被測定面の複数の中心の位置から回転する被測定面の回転の中心である回転軸の位置を求める第2ステップと、第2ステップで求めた回転軸の位置及び複数の部分領域のそれぞれを位置決めする際のステージの回転角度を用いて、複数の部分領域のそれぞれの形状データをつなぎ合わせて被測定面の形状を求める第3ステップ(S314)とを有する。 (もっと読む)


【課題】足底圧の計測において荷重が検出されない欠損部分がある場合でも足底の重心バランスの偏りを常に精度よく判定できる足の診断装置およびそれを用いた靴またはインソールのフィッティング・ナビゲーション・システムを提供する。
【解決手段】足底圧の圧力分布を計測する足底圧計測センサ20、足を撮像するテレビカメラ30、処理装置40を備え、足底圧データ取得部41により足底圧データを取得し、足画像取得部42により足画像を取得し、足外形寸法演算部44により足の外形位置を検出して足の外形寸法を演算し、足底重心位置演算部43により、検出された足の外形位置を基準とした足底重心位置を演算し、重心バランス判定部45により足底重心位置と足外形寸法とに基づいて重心バランスの偏りを判定する。また、足の症状判定部46により足の症状を判定し、選定部47により重心バランスの偏りと足の症状に基づいて靴またはインソールを選定する。 (もっと読む)


【課題】被測定物を取り付けるための回転テーブルの中心位置に測定子の中心が届かなくても、その被測定物の形状を測定する測定子を、高精度に校正することができる形状測定用測定子の校正方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル11上のワークの形状を測定する測定子22の校正方法において、校正用の基準円筒30を、軸間距離Lに位置するテーブル回転軸C周りに旋回可能に設け、測定子22の半径r、基準円筒30の半径R及び旋回角度αtに基づいて、測定子22の理論中心位置OL,ORを設定し、この理論中心位置OL,ORに位置決めした測定子22と、旋回角度αtに旋回させた基準円筒30とが接触する理論接触位置及び実接触位置を求め、これらの間の旋回角度誤差、軸間距離L、測定子22の半径r、基準円筒30の半径Rに基づいて求めた位置誤差に応じて、測定子22を校正する。 (もっと読む)


【課題】三次元計測器によって計測した点群データから計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを生成する。
【解決手段】計測点群データに基づいて計測対象物の表面形状を表すサーフェイスを陰関数として作成する工程と、サーフェイスが存在する計測領域全体を三次元ドロネー図による分割処理により隙間なく、重複なく埋め尽くされた四面体の小領域(以下、セルという)に分割する工程と、セルの各頂点をサーフェイスの内側に存在する内点5と、外側に存在する外点6とに分類する工程と、境界セルを抽出する工程と、境界セルとサーフェイスとの交点7を計算する工程と、各境界セルが持つ交点7を繋ぎ合わせることにより三角形又は四角形の面を求める工程と、全ての面を結合する工程とを含むので、計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを自動的に作成することができる。 (もっと読む)


【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材2及び探針16を支持する第二支持部材15を収容する収容ケース1を設け、ケース本体1aと、蓋部材1bとから成り、前記ケース本体1aに、2つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材1bにおける、ケース本体1aに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材1bをケース本体1aに装着した時に、ケース本体1aの周囲壁と前記蓋部材1bの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 (もっと読む)


【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ20の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ20の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の15Hz程度よりも高くする。 (もっと読む)


【課題】表面形状の設計値が複数の関数によって定義される場合にも、測定データのアライメント補正を行った上で被測定体の表面形状の設計値からのずれ量として測定することができるようにする。
【解決手段】表面形状の設計値を複数の関数で定義する形状定義工程(S1)と、表面形状の測定データを取得するデータ取得工程(S2)と、測定データを関数の定義域ごとの部分群に区画するデータ区画工程(S3)と、部分群による表面形状の設計値からのずれ量を表す移動パラメータを推定する解析工程(S4、S7、S11)と、この移動パラメータを用いて測定データのアライメント補正を行って、補正済測定データを生成するアライメント補正工程(S5、S8、S12)と、補正済測定データと複数の関数との偏差を形状誤差として算出する形状誤差算出工程(S13)と、を備える形状測定方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の歪曲を適切に補償した検査領域の設定方法を提供する。
【解決手段】ステージに測定対象物を配置し、測定対象物に対する第1特徴オブジェクトを含む基準データを呼び出しS120、測定対象物に対する測定データを獲得しS130、測定データのうち、第1特徴オブジェクトと対応する第2特徴オブジェクトを抽出し、第1特徴オブジェクトの平面的形状と前記抽出された第2特徴オブジェクトの平面的形状とを比較して幾何学的変形を確認しS140、S150、幾何学的変形を定量化して前記測定対象物の垂直方向の変化量を算出しS160、変化量に基づいて検査領域を設定するS170。 (もっと読む)


【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Wを載置する回転テーブル20と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段30と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構40と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置60とを備える。検出手段は、複数の検出器31,32を含んで構成される。処理装置60は、複数の検出器31,32からの信号を順番に取り込んで処理する。 (もっと読む)


【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル22により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ23で測定し、測定子3をXYZテーブル12により、XYZ方向に移動自在に支持するとともに、測定子3がボールねじナットの方向に移動するX軸方向の変位をリニアゲージ13により測定し、測定子3が上下に移動するZ軸方向の変位をダイヤルゲージ14により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子3の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 (もっと読む)


【課題】容易に、かつ迅速に設計データと計測データとの位置合わせを実施する位置合わせ装置、欠陥検出装置、および位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置は、記憶部13からCADデータを取得する設計データ取得手段141、三次元測定装置2から計測データを取得する計測データ取得手段142、概略位置合わせを行う第一位置合わせ手段143、計測データから複数の分割領域を取得する分割領域取得手段151、分割領域から第一計測点を取得して第一計測面を算出する第一計測面算出手段152、残計測点を取得する残計測点取得手段153、残計測点から第二計測点を抽出する第二計測点取得手段154、第二計測点に基づいて第二計測面を算出する第二計測面算出手段155、特徴点を算出する特徴点算出手段156、CADデータおよび計測データの位置合わせを実施する位置合わせ手段157を備えた。 (もっと読む)


【課題】座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法
【解決手段】本発明は座標測定装置(10)を用いて加工物の幾何形状を測定する方法およびこの装置自体に関する。本発明によれば、測定作業は異なる種類の装置を必要とすることなく最適に実行され、これにより関連作業に対して最適利用である1つまたは複数のセンサを使用できる。 (もっと読む)


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