【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】単孔用ツールと複孔用ツールを併用し、多数の箇所を最短時間又はこれに近い短時間で検査することができる多点検査装置と方法を提供する。
【解決手段】単孔用ツール１４ａと、複孔用ツール１４ｂと、ツールのいずれかを孔２に対して位置決めする位置決め装置１２と、各孔２の中心位置と干渉物４の位置とを記憶する記憶装置１８とを備える。（Ａ）各孔２の中心位置と干渉物位置を表示し、（Ｂ）指定した孔２の検査順が干渉物位置を通過する場合に、その前後を別の列として扱い、（Ｃ）検査順の各列に含まれる孔数ｍが、複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔数ｋより小さい場合に、単孔用ツール１４ａの使用と、検査順に基づく孔２の順を決定し、（Ｄ）ｍ≧ｋの場合に、複孔用ツール１４ｂの使用と、検査順に基づくｋ個毎の孔２の順を決定し、かつｋより少ない最後の１又は複数の孔を複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔を決定する。 （もっと読む）

【課題】関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品を提供する。
【解決手段】座標位置決め機械のアームに関節プローブヘッドが取り付けられたときに前記関節プローブヘッドを較正するための被較正疑似品１００であって、前記関節プローブヘッドを前記座標位置決め機械の前記アームに対し関節動作させることによりスキャンされることが可能な、異なる寸法の複数の輪郭１０２、１０４、１０６と、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６を、前記座標位置決め機械の異なる方向に沿って向けることができるよう、前記複数の輪郭１０２、１０４、１０６の向きを変えるための割り出し装置と、を備える被較正疑似品１００。 （もっと読む）

【課題】テープギャップの手動測定は労働集約的であるため、構造物の大きな領域にわたる複数のテープギャップの測定を正確かつ効率的に実行し、しかもオペレーターの技能に大きく依存しないテープギャップの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面を構成する複合テープの細片間のギャップはゲージによって測定される。表面に沿ってゲージを移動するにつれて隣接するテープ細片のエッジの位置は検出され、隣接する細片間のギャップは検出したエッジの位置に基づいて計算される。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数のセンサの各出力に対し、各センサの線形動特性の逆伝達関数を用いて補償すると共に、この逆伝達関数に対応したフィルタを施し、最終的に姿勢変換を行うようにして、姿勢推定を適切且つ高精度に行える姿勢推定装置を提供する。
【解決手段】 角速度センサ１０と傾斜計２０の各逆モデルを動特性補償部分と姿勢変換部分とに分け、センサ動特性については近似線形特性として伝達関数を同定し、その逆伝達関数を用いて特性を補償すると共に、逆伝達関数に対応してフィルタを設計し、且つ出力信号への姿勢変換演算の前にフィルタを施すようにすることから、逆伝達関数を用いた特性補償で、有効周波数領域の拡大を図りつつ、逆伝達関数とフィルタの伝達関数の積についてはプロパーな伝達関数とすることができ、確実な演算処理で姿勢推定が実行でき、複数のセンサを用いる相補フィルタの手法で精度のよい姿勢推定を行える。 （もっと読む）

【課題】センサシステムを構成するアンプユニットから時系列的に得られる計測データに対して所望の解析処理を適用し、その解析結果に対応する出力を生成することが可能なセンサシステムに適用される拡張ユニットを提供すること。
【解決手段】アンプユニットに連装される拡張ユニットには、計測データ蓄積メモリと、伝送ラインを介して到来する計測データを取得して前記メモリに蓄積する計測データ取得手段と、蓄積された一連の計測データを所定のアルゴリズムに従って解析するデータ解析手段と、データ解析結果を判定する判定手段と、判定結果に対応する制御信号を外部へと出力する出力手段とを具備する。計測アルゴリズムが部品化された複数の処理プログラムが拡張ユニットに組み込まれており、パソコンからの指示に従って、処理プログラムが選択され、選択された処理プログラムが所定の順序で実行される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】筒状体の軸方向及び周方向の全面の外径と肉厚を同時に測定し、その内径および内外径中心線のずれである位置度を測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】筒状体形状測定装置１０は、筒状体１の外面を軸方向および周方向に三次元座標を測定するための三次元測定用プローブと、この三次元測定用プローブと所定の距離を隔てて配置され、筒状体１の厚さを測定するための探触子と、この三次元測定用プローブおよび探触子を搭載したプローブユニット１２を走査させる走査手段１３，１４と、走査手段１３，１４を制御して前記筒状体の軸方向および周方向にわたる外面を走査し、前記筒状体の周方向および軸方向の外径と肉厚とを計測し、この計測結果に基づいて前記筒状体の周方向および軸方向の内径と、前記筒状体の内外径中心線のずれである位置度を算出する三次元・厚さ測定器１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】３次元座標測定システムのコントローラで使用するプログラムを顧客にネットワークを介して配信する方法を提供する。
【解決手段】顧客から実行可能プログラムの作成要求を受信するステップと、顧客のプログラム実行に係わる経験レベル等の情報を入力するステップとを具備する。作成される実行可能プログラムは３次元座標測定システムで実行される多数の測定ステップをオペレータに示すものである。実行可能プログラムはネットワークを介して顧客に配達される。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

可搬型の関節アーム座標測定機の実装が、機能を実行する第１の要求を受信するステップを含む。可搬型のＡＡＣＭＭは、反対側にある第１の端部および第２の端部を有する手動で位置付けることが可能な関節アーム部であって、複数の接続されたアームセグメントを含み、各アームセグメントが位置信号を生成するための少なくとも１つの位置トランスデューサを含む、関節アーム部と、ＡＡＣＭＭの第１の端部に装着された測定デバイスと、トランスデューサからの位置信号を受信し、測定デバイスの位置に対応するデータを提供する電子回路とを含む。可搬型の関節アーム座標測定機の実装は、第１の要求が受信される送信元デバイスを特定するステップと、第１の要求に従って機能を実施するステップと、第１のポートおよび第２のポートのうちのどちらから第１の要求が受信されるかを特定することによって、送信先デバイスを第１の要求の送信元デバイスとして選択するステップと、機能を実施することにより得られた情報を送信先デバイスに送信するステップとをさらに含む。
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本発明は、座標測定装置内のワークピースの構造および／または形状を、触覚光学式の測定法によって決定するための方法であって、少なくとも１つの方向における接触型プローブ要素の位置を、光学的に横方向に測定する方法で、第１のセンサによって決定し、かつ、少なくとも１つの第２の方向における接触型プローブ要素の位置を、少なくとも１つの距離センサによって決定する方法に関する。複数のセンサによる接触型プローブ要素の誤りのない検出を可能にするために、接触型プローブ要素を保持手段に取り付けるために、第１のセンサの光路によってビーム方向に貫通される少なくとも１つの柔軟な接続要素を使用し、該接続要素は透明であり、および／または第１のセンサに対し大幅に焦点を外して設けられることが提案される。 （もっと読む）

【課題】軸を中心として回転対称な非球面部材における非球面の輪郭形状の測定において、軸を挟んだ対称な有効径の範囲全体を対象とすることなく、短い時間で輪郭形状の誤差を高精度に測定可能な面形状測定機、測定方法及び面形状の測定値の解析方法を提供する。
【解決手段】軸Ａを挟んだ非対称な範囲Ｍにおいて、軸Ａの一方の側の所定位置から他方の側の別の所定位置までの非球面の輪郭形状を測定し、範囲Ｍにおける非球面の輪郭形状の測定値を用いて、測定値を得ていない軸Ａを挟んだ他方の側の所定範囲に仮測定値として補完し、次いで、軸Ａを挟んだ非対称な範囲と仮測定値を補完された範囲とを合わせた範囲において、測定値と仮測定値と非球面の輪郭形状の設計値とを用いて、所定の収束条件を満たすまで収束計算を行なうことにより、非球面の輪郭形状の誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測器を用いて車両に対するエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定できるエンジンマウント変位測定方法を提供する。
【解決手段】車両１を定盤１１の上に配置して、車両１の車軸方向に基づいて車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）を決定し、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）における計測器２１、５１の原点位置と、計測器基準の座標系Ｑ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置とを用いて所定の座標変換行列式により、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置を算出する。これにより、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】セット時間の短縮化を図ることができるステアリング角度測定装置及びそのセット方法を提供する。
【解決手段】測定器本体２に第１、第２アーム１４，１５を設け、第１アーム１４は測定器本体２に移動可能とし、第１アーム１４をその先端側が測定器本体２から遠ざかる方向に弾性力を発揮するばね２３を設けた。第１、第２アーム１４，１５の先端側にはステアリングホイール５０の円弧状空隙７に沿って回動して測定器本体２を案内するローラを設け、バッテリ箱２４を含む測定器本体２の重心を、第１、第２アーム１４，１５の軸心１７より下方に設定した。仮に、第１、第２アーム１４，１５の軸心１７が水平でなく、測定器本体２が傾斜して配置された場合でも、測定器本体２にかかる重力の影響を受けて、測定器本体２が円弧状空隙壁部８に沿って回動して、所定の位置に保持される。 （もっと読む）

【課題】測定試料を変えるたびごとに測定点の位置補正を行う必要がなく、更に、測定試料上の同一点についての複数種類の特性の測定を、同一検査装置を用いて行なうことができる検査装置を提供する。
【解決手段】試料を載置するためのステージ３と、１又は複数の検査機器６、７を支持可能な検査機器支持用ヘッド５と、ステージ及び／又は検査機器支持用ヘッドを支持している移動機構２３、４３と、ステージ上の基準点の実座標と目標座標との偏差を格納する偏差格納部と、複数の検査機器の測定点間のオフセット値を格納するオフセット値格納部と、格納された偏差及びオフセット値を参照して、複数の検査機器のうちのいずれか１つの検査機器の測定点と他の検査機器の測定点とが一致するように、ステージ及び／又は前記検査機器支持用ヘッドを移動させる位置制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】関節部を介して回動自在に支持されたリンクの原点位置を設定するのに好適な原点位置設定装置、原点位置設定方法、リンク機構及び脚車輪型ロボットを提供する。
【解決手段】脚車輪型ロボット１００は、回転関節１４の回転軸周りに脚部１２と共に回動する第１ドグ２００及び第２ドグ２０２と、脚部１２の基準回転角度位置へと回動した第１ドグ２００を検出する基準位置検出センサ２１０と、脚部１２の一方の回動方向の限界回転角度位置へと回動した第２ドグ２０２を検出する限界位置検出センサとを備え、回転関節１４を回転して脚部１２をその初期位置から最初に限界位置検出センサの配設位置方向に回動させると共に、仮の原点位置を検出する際の第１ドグ２００の基準位置検出センサ２１０の検出位置への進入方向を揃え、更に、仮の原点位置と、その検出範囲と、エンコーダの発生するパルス信号とに基づき原点位置を設定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ベルマウス模型の３次元計測を用いることによって、ベルマウス図面の精密な製作と同時に図面製作時間の短縮を可能にするベルマウス模型を用いたベルマウス図面製作方法を提供する。
【解決手段】実際のベルマウスの模型の３次元計測を用いることによって実際のベルマウスの図面を製作する方法であって、実際のベルマウスから縮尺したベルマウス模型を複数の断面に分割するステップと、縮尺したベルマウス模型の複数の断面を複数の曲線で表示するステップと、複数の曲線の座標を計測するステップと、計測された座標を利用してベルマウス模型の複数の断面図を形成するステップと、断面図を拡大することによって実際のベルマウスの図面を製作するステップとを含む方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）